专利名称：无尘输送系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及适合于显示器装置的制造等的必须清洁环境的工序的输送系统。
背景技术：
液晶显示器(LCD)、等离子显示器(PDP)、电致发光显示器(ELD)等的显示器装置 的制造，需要避免微小的灰尘或附着水分，需要清洁环境。不仅在各工序中，即使在连接各 工序之间的输送装置中，也希望实现清洁环境。 通常，为了实现这种清洁环境，利用无尘室。无尘室典型的是具备顶棚，具有内部
能够流通空气的室；具有相同室的地板；连通两个室并使空气回流、关闭的管道。而且，无
尘室具备利用了从空气除去微细的尘埃及其他污染物质的特殊过滤器的送风装置，典型的
是该送风装置设置于顶棚上。被净化了的空气通过送风装置从顶棚流下，因而，在内部实现
清洁环境。为了维持较高的清洁度，为了防止过滤器的劣化，清洁空气不向外部流出而是被
地板的室收集，通过上述管道回流到顶棚的室，反复通过送风装置的过滤器。 无尘室由于具有这种特殊结构，所以不能容易地构筑。另外，由于顶棚以及地板的
室，需要不能设置装置的很大的静区。为了在无尘室收纳制造显示器装置那样的长大的工
程装置以及其间的所有的输送装置，也考虑静区，无尘室不得不变成极大规模。 提出了用于在输送装置上分别实现清洁环境的技术方案。相关技术在日本特开
2006-24841号公开。 根据上述相关技术，虽然通过了过滤器的空气提高装置周围的清洁度，但由于空 气向外部流出而不回流，所以取得的清洁度有限，也不能忽视过滤器的劣化。若附加使空气 回流并关闭的装置，则装置整体变得复杂，另外其规模有可能变得过大。
发明内容
本发明是鉴于上述课题而提出的技术方案，其目的是提供一种通过直接设置在地 板面上而能够简单地构筑，并能够回流清洁空气的无尘输送系统。 根据本发明的一个方案，输送系统设置于地板面上来输送对象物。上述输送系统 具备外壳，构成为具有可操作地封闭的第一开口 、和可操作地封闭的第二开口 ，设置于上 述地板面上，若封闭上述第一开口和上述第二开口，则在内部包围密闭空间；输送装置，构 成为设置于上述外壳内，且从上述第一开口朝向上述第二开口输送上述对象物；以及送风 装置，设置于上述外壳内，净化上述密闭空间内的空气，并供给被净化了的空气。
优选上述送风装置从上述输送装置的下侧朝向上侧输送上述被净化了的空气。优 选还具备构成为使流体向上方喷出而使上述对象物悬浮的悬浮装置。更优选上述送风装置 从上述悬浮装置的下侧朝向上侧输送上述被净化了的空气。进一步优选上述悬浮装置将从 上述送风装置供给的上述被净化了的空气作为上述流体而喷出。
图1是本发明一实施方式的无尘输送系统的横剖视图。
图2是上述无尘输送系统的俯视剖视图。 图3是上述无尘输送系统的纵剖视图，在图中I-I线是表示采取了图1的剖面线，
II-II线表示采取了图2的剖面图。 图4是基于变形例的无尘输送系统的剖视图。
具体实施例方式
以下，参照
本发明的实施方式。通过本说明书、权利要求书及附图，前方、 后方、左方及右方在图中分别定义为以FF、FR、L及R标记的方向。这种定义是为了便于说 明，本发明并不限定于此。以下，作为输送的对象，虽然以显示器装置的原材料即玻璃基板 为例进行说明，但本发明的实施不限于此。另外，密闭空间的内部也可以不是空气，而是充 满其他气体例如氮气。 根据本发明实施方式的无尘输送系统，如图1至图3所示，设置于地板面上来利 用。为了防止发生尘埃，地板面优选例如在沙浆上涂敷了由聚氨基甲酸乙酯树脂等构成的 涂料，但不限于此。 无尘输送系统1具备包围其内部的壳体3。壳体3具有前面板5、后面板7、左面 板9、右面板ll，从前后左右遮蔽其内部。各面板5、7、9、11相互气密地连接，而且，在各面 板5、7、9U1的上端气密地覆盖有顶棚面板13。另外，各面板5、7、9、11的下端构成为相对 地板面气密地连接。或者，外壳3的地板面侧也可以不开放，通过底板封闭。各面板相互的 连接不需要永久，也可以能够拆卸。特别地，顶棚面板13优选能够拆卸。
后面板7、前面板5分别具有用于搬入和搬出玻璃基板W的开口 15、21。外壳3还 具备用于分别封闭开口 15、 21的后闸门17和前闸门23，分别通过气缸19、 25沿上下方向的 驱动能够开闭操作。另外，闸门17、23取代上下方向的可动性，也可以具有左右方向的可动 性。闸门17、23构成为在位于关闭位置时，气密地封闭开口 15、21。 S卩，外壳3在设置于地板面上并通过闸门17、23封闭各开口 15、21时，在其内部包 围密闭空间。再者，如上所述在具有底板的情况下，也可以仅通过面板包围密闭空间，地板 面不加入包围密闭空间的构成要件。 在上述外壳3内设置有从用于搬入的开口 15向用于搬出的开口 21延伸的支撑架 27。在支撑架27上设有沿着支撑架成列，且包含多个悬浮装置47的输送装置29。多个悬 浮装置47沿前后方向及左右方向这两方构成列。 输送装置29在支撑架27上的左端及右端附近，具有沿玻璃基板W的输送方向分 别构成列的多个辊31。各辊31分别通过旋转轴与蜗轮35 —体地连接，通过托架33旋转 自如地支撑。以沿前后方向贯穿支撑架27的方式具备一对驱动轴37，各驱动轴37具备可 驱动地与各蜗轮35啮合的蜗杆39。在各驱动轴37的前端，通过联轴器等可驱动地连接有 马达41的输出轴。由此，各辊31受到马达41的驱动力，以相同的旋转速度进行旋转。如 图l所示，上述各辊31的上端部配置成比上述悬浮装置47的上表面稍微向上方突出而在 单一的面上对齐。玻璃基板W即使在通过悬浮装置47悬浮的状态下，如图l所示，也能够 与辊31接触，以便受到驱动力。
马达41不需要一对，两驱动轴37也可以通过链子等适当的结合机构连接于单一的 马达。另外，也可以取代辊，将可驱动的夹持器或带输送机等输送机构应用于输送装置29。
在支撑架27上，在左右端附近的辊31之间设置具有多个贯通孔45的板43。各悬 浮装置47分别以对应贯通孔45的方式设置于板43上，各贯通孔45分别与悬浮装置47的 内部连通。悬浮装置47分别具备在上表面贯通的喷出孔49。 S卩，从贯通孔45流入的空气 经由悬浮装置47的内部能够从喷出孔49喷出。 喷出孔49在从如图2的上方看时，优选为看起来为矩形环状的形状，但不限于此。 也可以适用于椭圆形的环状、封闭环的一部分的形状等、其他各种形状。为了使喷出孔的宽 度均匀，也可以在喷出孔内安装部件或突起。另外，喷出孔49在悬浮装置47的至少上表面 附近，也可以具有向内侧例如45度的倾斜。 在板43的下方具备向上方供给清洁空气的多个送风装置51。各个送风装置51具 备从空气除去微细的尘埃和其他污染物的过滤器、和输送被净化了的空气的鼓风机。多个 送风装置51，相互隔开间隔或邻接地沿悬浮装置47(因而沿输送装置29)排列，通过托架 53固定在支撑架27上。通过这种结构，送风装置51吸入外壳3所包围的密闭空间的内部 的空气，通过过滤器进行净化后向上方、即向输送装置29及悬浮装置47供给。悬浮装置47 通过贯通孔45输入被净化了的空气，从喷出孔49向上方喷出。 送风装置也可以如图4所示那样变形。即、过滤器55通过托架57固定在支撑架 27上。鼓风机59固定在过滤器55的下方，吸入密闭空间的内部的空气，向过滤器55输送。
悬浮装置47为了增大给予玻璃基板W的浮力，也可以在送风装置51与悬浮装置 47之间设置增加的送风装置等的加压机构。另外，也可以按浮力控制等的目的在无尘输送 系统1上增加静或动地控制送风装置能力的控制机构。 无尘输送系统1也可以在内部的密闭空间具备用于给予若干压力的加压机构。通 过加压，从而防止外部的尘埃侵入。在能够恰当地管理尘埃的侵入的情况下，也可以降低外 壳3的气密程度。 本实施方式的无尘输送系统1如下进行动作。 首先，通过闸门17、23封闭用于搬入和搬出的开口 15、21。接着，使送风装置51工 作，吸入外壳3所包围的密闭空间内的空气，净化后向上方供给。已经净化了的空气通过悬 浮装置47被供给到密闭空间内。密闭空间内的被净化了的空气回流并输入送风装置51，进 一步被净化，因此，密闭空间内的空气的洁净度逐渐上升。优选洁净度充分地上升，另外如 果可能，则优选使输送系统所连接的前后装置内部的洁净度与其等同。
若是洁净度充分地上升，则通过气缸19驱动后闸门17，打开用于搬入的开口 15。 在输送的流程中，玻璃基板W被从上游侧的装置搬入至无尘输送系统1内，位于输送装置29 上的区域A。由于空气从悬浮装置47喷出，所以玻璃基板W成为悬浮的状态。如果需要的 话，尽量在短时间驱动后闸门17封闭开口 15。 通过马达41驱动，驱动轴37同步旋转。通过蜗轮35与蜗杆39啮合，驱动轴37 的旋转传递给各辊31。玻璃基板W通过与旋转的辊31接触，从而在悬浮的状态下，向用于 搬出的开口 21输送。 玻璃基板W若接近用于搬出的开口 21 ，则通过缸25驱动前闸门23，打开用于搬出 的开口 21。玻璃基板W向无尘输送系统1外搬出，如果需要的话，尽量在短时间驱动后闸门23封闭开口 21。 根据本实施方式，即使是在具备室的顶棚和地板那样的无尘室没有特有的构造的 房间，也能够简单地实现限定于无尘输送系统内的清洁环境。由于能够节省由室引起的静 区，所以对装置的设计提供了很大的自由度。由于不会使净化了的空气向外部流出，所以能 够追求很高的清洁度，并且根据节能的观点也是有利用的。由于不需要附加用于回流空气 的装置，所以能使装置的整体规模变小。另外，在运转时间的大部分期间，由于洁净度很高 的空气回流，所以能抑制过滤器的劣化。 参照优选的实施方式说明了本发明，但本发明不限定于上述实施方式。根据上述
公开的内容，本领域技术人员根据实施方式的修正或变形能够实施本发明。 产业上的可利用性 提供一种通过直接设置在地板面上而能够简单地构筑，并能够洁净空气回流的无 尘输送系统。
权利要求
一种输送系统，用于设置在地板面上来输送对象物，其特征在于，具备外壳，构成为具有可操作地封闭的第一开口、和可操作地封闭的第二开口，设置于上述地板面上，若封闭上述第一开口和上述第二开口，则在内部包围密闭空间；输送装置，构成为设置于上述外壳内，且从上述第一开口朝向上述第二开口输送上述对象物；以及送风装置，设置于上述外壳内，净化上述密闭空间内的空气，并供给被净化了的空气。
2. 根据权利要求l所述的输送系统，其特征在于，上述送风装置从上述输送装置的下侧朝向上侧输送上述被净化了的空气。
3. 根据权利要求l所述的输送系统，其特征在于，还具备悬浮装置，该悬浮装置构成为使流体向上方喷出而使上述对象物悬浮。
4. 根据权利要求3所述的输送系统，其特征在于，上述送风装置从上述悬浮装置的下侧朝向上侧输送上述被净化了的空气。
5. 根据权利要求3所述的输送系统，其特征在于，上述悬浮装置将从上述送风装置供给的上述被净化了的空气作为上述流体而喷出。
全文摘要
本发明的输送系统设置于地板面上来输送对象物。上述输送系统具备外壳，构成为具有可操作地封闭的第一开口、和可操作地封闭的第二开口，设置于上述地板面上，若封闭上述第一开口和上述第二开口，则在内部包围密闭空间；输送装置，构成为设置于上述外壳内，并从上述第一开口朝向上述第二开口输送上述对象物；以及送风装置，设置于上述外壳内，净化上述密闭空间内的空气，并供给被净化了的空气。
文档编号H01L21/677GK101796625SQ20088010525
公开日2010年8月4日 申请日期2008年8月22日 优先权日2007年9月5日
发明者和田芳幸, 平田贤辅, 村山晋, 田中刈入 申请人:株式会社Ihi