微机械超小型压阻式压力传感器及其制造方法与流程

技术总结
本发明提供了在硅晶片制造一个或多个超小型压阻式压力传感器的方法。压阻式压力传感器的膜片是熔融粘结形成。压阻式压力传感器可以由硅沉积、光刻和蚀刻工艺形成。

技术研发人员：漆斌
受保护的技术使用者：苏州亘科医疗科技有限公司
文档号码：201510073360
技术研发日：2015.02.11
技术公布日：2018.01.12