一种硅微机械谐振压力传感器的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种硅微机械谐振压力传感器，包括传感器装置，所述传感器装置的左端设有螺纹管接头，且螺纹管接头的右端与传感器装置的相交处活动套设有螺栓紧固件，所述传感器装置的内腔从左到右依次固定安装有谐振元件、VCA放大器、输出缓冲器和压力传感器，所述谐振元件电性连接VCA放大器，所述VCA放大器电性连接输出缓冲器，所述输出缓冲器电性连接压力传感器，本实用新型结构通过在传感器装置的内部设置谐振元件，利用谐振元件与压力传感器的相互配合能够实现将被测压力转换成频率信号，这样便于观察压力传感器所检测的压力的变化，便于后期的分析与计算，同时谐振元件通过VCA放大器连接压力传感器能够得到更精确的频率数值。
【专利说明】
一种硅微机械谐振压力传感器
技术领域
[0001]本实用新型涉及硅微机械相关设备技术领域，具体为一种硅微机械谐振压力传感器。
【背景技术】
[0002]对于传统的压力传感器，由于膜片的迟滞问题，难以确定测得的电压信号是否对应真实的压力值，这就造成所测量的膜片形变对应的压力与实际压力有偏差，采集到的压力信号精度不高。即在测量高精度压力时，由于机械的迟滞特性，传感器的膜片载荷的加载线与卸载线不完全重合。另外，控制压电执行器的元件以独立的模块使用，导致传感器的体积较大，功耗较多，不适于微型化集成，为此我们提出一种硅微机械谐振压力传感器用于解决上述问题。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于提供一种硅微机械谐振压力传感器，以解决上述【背景技术】中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案:一种硅微机械谐振压力传感器，包括传感器装置，所述传感器装置的左端设有螺纹管接头，且螺纹管接头的右端与传感器装置的相交处活动套设有螺栓紧固件，所述传感器装置的右端固定安装有电源输出件，且电源输出件的下端电性连接外接电源线，所述传感器装置的内腔从左到右依次固定安装有谐振元件、VCA放大器、输出缓冲器和压力传感器，所述谐振元件电性连接VCA放大器，所述VCA放大器电性连接输出缓冲器，所述输出缓冲器电性连接压力传感器。
[0005]优选的，所述谐振元件包括设置在谐振元件内部的谐振器，所述VCA放大器内设有VCA放大模块，且VCA放大器为可变增益放大器，所述输出缓冲器为用于弥补不同数据处理速率速度差距的存储装置。
[0006]优选的，所述电源输出件和外接电源线的外壳均被软弹性绝缘橡胶包裹。
[0007]与现有技术相比，本实用新型的有益效果是:本实用新型结构通过在传感器装置的内部设置谐振元件，利用谐振元件与压力传感器的相互配合能够实现将被测压力转换成频率信号，这样便于观察压力传感器所检测的压力的变化，便于后期的分析与计算，同时谐振元件通过VCA放大器连接压力传感器能够得到更精确的频率数值。
【附图说明】
[0008]图1为本实用新型结构不意图；
[0009]图2为本实用新型结构电路原理图。
[0010]图中:I传感器装置、2电源输出件、3外接电源线、4螺纹管接头、5螺栓紧固件、6谐振元件、7 VCA放大器、8输出缓冲器、9压力传感器。
【具体实施方式】
[0011]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0012]请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案:一种硅微机械谐振压力传感器，包括传感器装置I，传感器装置I的左端设有螺纹管接头4，且螺纹管接头4的右端与传感器装置I的相交处活动套设有螺栓紧固件5，传感器装置I的右端固定安装有电源输出件2，且电源输出件2的下端电性连接外接电源线3，传感器装置I的内腔从左到右依次固定安装有谐振元件6、VCA放大器7、输出缓冲器8和压力传感器9，谐振元件6电性连接VCA放大器7，VCA放大器7电性连接输出缓冲器8，输出缓冲器8电性连接压力传感器9。
[0013]谐振元件6包括设置在谐振元件6内部的谐振器，VCA放大器7内设有VCA放大模块，且VCA放大器7为可变增益放大器，输出缓冲器8为用于弥补不同数据处理速率速度差距的存储装置，电源输出件2和外接电源线3的外壳均被软弹性绝缘橡胶包裹。
[0014]本实用新型结构通过在传感器装置I的内部设置谐振元件6，利用谐振元件6与压力传感器9的相互配合能够实现将被测压力转换成频率信号，这样便于观察压力传感器9所检测的压力的变化，便于后期的分析与计算，同时谐振元件6通过VCA放大器7连接压力传感器9能够得到更精确的频率数值。
[0015]尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
【主权项】
1.一种硅微机械谐振压力传感器，包括传感器装置(I)，其特征在于:所述传感器装置(1)的左端设有螺纹管接头(4)，且螺纹管接头(4)的右端与传感器装置(I)的相交处活动套设有螺栓紧固件(5)，所述传感器装置(I)的右端固定安装有电源输出件(2)，且电源输出件(2)的下端电性连接外接电源线(3)，所述传感器装置(I)的内腔从左到右依次固定安装有谐振元件(6)、VCA放大器(7)、输出缓冲器(8)和压力传感器(9)，所述谐振元件(6)电性连接VCA放大器(7 )，所述VCA放大器(7 )电性连接输出缓冲器(8 )，所述输出缓冲器(8 )电性连接压力传感器(9)。2.根据权利要求1所述的一种硅微机械谐振压力传感器，其特征在于:所述谐振元件(6)包括设置在谐振元件(6)内部的谐振器，所述VCA放大器(7)内设有VCA放大模块，且VCA放大器(7)为可变增益放大器，所述输出缓冲器(8)为用于弥补不同数据处理速率速度差距的存储装置。3.根据权利要求1所述的一种硅微机械谐振压力传感器，其特征在于:所述电源输出件(2 )和外接电源线(3 )的外壳均被软弹性绝缘橡胶包裹。
【文档编号】G01L1/10GK205607566SQ201620414514
【公开日】2016年9月28日
【申请日】2016年5月10日
【发明人】方道德
【申请人】温州中业文化创意发展有限公司