技术总结
本发明公开了一种基于偏轴型位相波带片干涉显微检测装置，包括13.5nm极紫外光源、聚焦波带片、五维精密微调整台、偏轴型波带片、光纤点衍射装置和极紫外亮暗场CCD。偏轴型波带片采用镂空位相型结构，对+1级衍射光实现调制，当光入射到样品表面，散射与反射同时发生，偏轴型波带片对反射光和散射光作用，反射光调制成轴向聚焦，散射光由偏轴型波带片反射到暗场CCD；光纤点衍射装置是为测试光提供参考光，并且参考光与测试光实现干涉，干涉图进入亮场CCD，通过计算机解读干涉图还原被测样品轮廓信息。本发明结构简单，抗振性好，精度高，系统成本低，并能同时对亮暗场分析，对位相缺陷及时定位和分析，并获取缺陷轮廓信息。
技术研发人员：高志山;窦健泰;赵彦;刘志颖;杨忠明;袁群;王帅;成金龙;朱丹
受保护的技术使用者：南京理工大学
文档号码：201510348552
技术研发日：2015.06.23
技术公布日：2017.01.11