用于传感器的传感器组件、传感器和由此形成的测量系统的制作方法

文档序号:11236421阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种传感器组件(11)包括:碗形,即,至少部分地凹形的膜(111),具有弯曲的表面(111+)和相反放置的表面(111#);以及从膜的表面(111+)延伸的传感器叶片(112)。膜(11)被形成为使得表面(111+)的邻接传感器叶片的至少一个区域为凸形。一种传感器,该传感器由这种传感器组件和与之耦合的换能器元件(12)形成并且用来生成表示传感器叶片的随时间变化的运动和/或膜的随时间变化的变形的传感器信号;或者一种测量系统,由传感器和与之连接的测量电子设备形成,能被用来记录流动流体,诸如400C热蒸汽中的压力波动,以便测量流体的流参数。

技术研发人员:克里斯蒂安·莱斯;安德烈亚斯·施特鲁布;多米尼克·维德克尔
受保护的技术使用者:恩德斯+豪斯流量技术股份有限公司
技术研发日:2015.08.19
技术公布日:2017.09.08
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