流量测量装置和流量控制装置的制作方法

技术特征：

1.一种流量测量装置，其特征在于,

所述流量测量装置具备模拟转换部，所述模拟转换部将表示测量流量的值的数字流量信号转换为表示所述测量流量的值的模拟流量信号，

所述模拟转换部包括：

PWM信号生成电路，能输出预定的三个以上的规定电压电平，根据所述数字流量信号表示的测量流量的值，从所述三个以上的规定电压电平中选择两个规定电压电平，另一方面根据所述数字流量信号表示的测量流量的值，设定占空比，并生成使所述两个规定电压电平分别成为高电平和低电平的PWM信号；以及

转换电路，使从所述PWM信号生成电路输出的PWM信号平滑化并转换为所述模拟流量信号。

2.根据权利要求1所述的流量测量装置，其特征在于，所述PWM信号生成电路选择相邻的两个规定电压电平。

3.根据权利要求2所述的流量测量装置，其特征在于，所述相邻的规定电压电平被设定为全部大体相等。

4.根据权利要求1所述的流量测量装置，其特征在于，

所述PWM信号生成电路包括：

一次PWM信号生成电路，根据所述数字流量信号的值，生成一次PWM信号，并且从所述三个以上的规定电压电平中选择两个规定电压电平；以及

二次PWM信号生成电路，能输出所述三个以上的规定电压电平，并生成二次PWM信号，所述二次PWM信号是将所述一次PWM信号的高电平和低电平分别转换为所述两个规定电压电平而得到的所述PWM信号。

5.根据权利要求1所述的流量测量装置，其特征在于，所述PWM信号生成电路将用于所述转换电路的平滑化的时间常数的变动作为参数设定占空比。

6.根据权利要求1所述的流量测量装置，其特征在于，

所述PWM信号生成电路

对所述数字流量信号的值q与所述规定电压电平V₀、V₁···、V_k···V_n进行比较，检索使V_j≥s·q＞V_j-1的j，并输出占空比成为(s·q－V_j-1)/(V_j－V_j-1)、低电平成为V_j-1、以及高电平成为V_j的PWM信号，

n是2以上的整数，V_k＞V_k-1，j是1以上n以下的整数，s是规定的系数。

7.根据权利要求6所述的流量测量装置，其特征在于，所述PWM信号生成电路根据所述PWM信号生成电路的输出阻抗与所述转换电路的输入阻抗的平衡，将所述PWM信号的占空比设定为从所述(s·q－V_j-1)/(V_j－V_j-1)离开了的值。

8.一种流量控制装置，其特征在于包括：

权利要求1至7中任意一项所述的流量测量装置；

流量调节阀；以及

控制部，以使通过所述流量测量装置测量到的测量流量接近规定的目标流量的方式控制所述流量调节阀。