X射线管真空度的检测方法与流程

文档序号:12589762阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种X射线管真空度的检测方法,其特征在于,包括以下步骤:

步骤1,将电流表与钛泵串联后与电源连接,该钛泵的排气管与待检测的X射线管管内真空空间连通;

步骤2,将所述电流表的档位调节为μA档,将所述电源的输出电压调节至2-4kV,读取所述电流表的读数I0,得到所述X射线管的本底电流I0;以及

步骤3,在所述钛泵两侧标记位置分别设置磁片,将所述电流表的档位调节为mA档,将所述电源的输出电压调节至3.8-4.2kV,读取所述电流表的读数Ii,若Ii-I0=0时,则P≤3×10-5Pa;

其中,P为X射线管的真空度,单位为Pa;Ii为离子电流,单位为μA。

2.根据权利要求1所述的X射线管真空度的检测方法,其特征在于,所述步骤3中,若Ii-I0>0时,根据公式Ii-I0=K(P-3×10-5)得到P>3×10-5Pa,其中,K为正的常数。

3.根据权利要求1或2所述的X射线管真空度的检测方法,其特征在于,所述步骤3中,若所述电流表的读数Ii<0.1mA,则将该电流表的档位调至μA档。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1