厚度检测装置及方法与流程

文档序号:12265076阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种厚度检测装置,其特征在于,包括:

公共电极(100)、检测电极(200)和控制部(300);

所述控制部(300),与所述公共电极(100)连接,用于根据待测膜的检测信息控制加载在所述公共电极(100)的电压的电压信息,并产生所述电压信息对应的电压,其中,所述检测信息用于指示所述待测膜的特征,所述电压信息用于指示加载在所述公共电极(100)上的电压的特征;

所述公共电极(100),用于加载所述电压信息对应的电压;

所述检测电极(200),与所述公共电极(100)对应且相互间隔的设置,所述检测电极(200)与所述公共电极(100)之间形成检测通道,所述检测电极(200)用于根据所述公共电极(100)上加载的电压检测所述待测膜的厚度。

2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述控制部(300)包括:电压时序控制部(302)和电压产生部(304),其中,

所述电压时序控制部(302),用于根据所述待测膜的所述检测信息控制所述电压信息,其中,所述电压信息包括以下至少之一:电压值、电压时序;

所述电压产生部(304),与所述电压时序控制部(302)连接,用于产生所述电压信息对应的电压。

3.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,所述电压时序控制部(304)包括:检测信息获取部(3042)和电压控制部(3044),其中,

所述检测信息获取部(3042),用于获取所述检测信息,其中,所述检测信息包括以下至少之一:所述待测膜的材质信息、所述待测膜的电容量;

所述电压控制部(3044),与所述检测信息获取部(3042)连接,用于确定所述检测信息对应的所述电压信息。

4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述检测电极(200)包括:信号处理部(202),其中,

所述信号处理部(202),用于根据所述公共电极(100)上加载的电压获取有效信号,根据所述有效信号确定所述待测膜的厚度。

5.根据权利要求4所述的装置,其特征在于,所述信号处理部(202)包括:有效信号电压转送时序电路(2021)、复位电压产生电路(2022)、复位电压时序控制电路(2023)、复位电压转送时序电路(2024)、移位时序控制电路(2025)和差分放大电路(2026),其中,

所述有效信号电压转送时序电路(2021),用于转送所述检测电极(200)上产生的有效信号;

所述复位电压产生电路(2022),用于产生复位电压对所述检测电极(200)进行复位;

所述复位电压时序控制电路(2023),与所述复位电压产生电路(2022)连接,用于对所述复位电压产生电路(2022)的时序进行控制;

所述复位电压转送时序电路(2024),用于转送所述复位电压产生电路(2022)对所述检测电极(200)进行复位后的所述检测电极(200)上的电压;

所述移位时序控制电路(2025),与所述有效信号电压转送时序电路(2021)和所述复位电压转送时序电路(2024)连接,所述移位时序控制电路(2025)用于将所述有效信号和所述复位电压传输至所述差分放大电路(2026);

所述差分放大电路(2026),与所述移位时序控制电路(2025)连接,用于将接收到的所述有效信号和所述复位电压差分放大后进行输出得到差分信号,根据所述差分信号确定所述待测膜的厚度。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的装置,其特征在于,所述厚度检测装置还包括:公共电极基板(10)和检测电极基板(20),其中,

所述公共电极(100)设置在所述公共电极基板(10)的第一表面;

所述检测电极(200)设置在所述检测电极基板(20)的第二表面;

所述第一表面和所述第二表面与所述待测膜的移动方向垂直。

7.根据权利要求6所述的装置,其特征在于,所述厚度检测装置还包括:公共电极框体(11)与检测电极框体(21),其中,

所述公共电极基板(10)设置在所述公共电极框体(11)上,所述检测电极基板(20)设置在所述检测电极框体(21)上;

所述检测电极框体(11)与所述公共电极框体(21)在所述待测膜的所述移动方向上间隔设置。

8.根据权利要求1至5中任一项所述的装置,其特征在于,所述厚度检测装置还包括:公共电极保护层(13)与检测电极保护层(23),其中,

所述公共电极保护层(13)设置在所述公共电极(100)的表面上;所述检测电极保护层(23)设置在所述检测电极(200)的表面上。

9.根据权利要求8所述的装置,其特征在于,所述厚度检测装置还包括:公共电极导电薄膜(14)与检测电极导电薄膜(24),其中,

所述公共电极导电薄膜(14)设置在所述公共电极(100)与所述公共电极保护层(13)之间;

所述检测电极导电薄膜(24)设置在所有检测电极(200)与所述检测电极保护层(23)之间。

10.根据权利要求1至5中任一项所述的装置,其特征在于,

所述公共电极(100)包括:一个或者多个第一电极(100-2);

所述检测电极(200)包括:多个第二电极(200-2);

所述一个或者多个第一电极(100-2)与所述多个第二电极(200-2)形成预设数量的厚度检测对;

所述控制部(300)用于控制每个所述厚度检测对对应的加载在公共电极上的电压。

11.一种厚度检测方法,其特征在于,包括:

根据待测膜的检测信息控制加载在公共电极的电压的电压信息,其中,所述检测信息用于指示所述待测膜的特征,所述电压信息用于指示加载在所述公共电极上的电压的特征;

将所述电压信息对应的电压加载在所述公共电极上;

根据所述加载在所述公共电极上的电压检测所述待测膜的厚度。

12.根据权利要求11所述的方法,其特征在于,根据所述待测膜的所述检测信息控制所述加载在所述公共电极的电压的所述电压信息包括:

根据所述检测信息控制所述电压信息;

生成所述电压信息对应的电压。

13.根据权利要求12所述的方法,其特征在于,根据所述检测信息控制所述电压信息包括:

获取所述检测信息,其中,所述检测信息包括以下至少之一:所述待测膜的材质信息、所述待测膜的电容量,所述材质信息用于携带指示所述待测膜材质特性的信息;

确定所述检测信息对应的所述电压信息,其中,所述电压信息包括以下至少之一:电压值、电压时序。

14.根据权利要求13所述的方法,其特征在于,获取所述检测信息包括以下至少之一:

检测所述待测膜的材质,并获取所述待测膜的材质对应的所述材质信息;

测量所述待测膜的电容量。

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