技术总结
本发明提供了一种厚度检测装置及方法，其中，该装置包括：公共电极100、检测电极200和控制部300；控制部300，与公共电极100连接，用于根据待测膜的检测信息控制加载在公共电极100的电压的电压信息，并产生电压信息对应的电压，其中，检测信息用于指示待测膜的特征，电压信息用于指示加载在公共电极100上的电压的特征；公共电极100，用于加载电压信息对应的电压；检测电极200，与公共电极100对应且相互间隔的设置，检测电极200与公共电极100之间形成检测通道，检测电极200用于根据公共电极100上加载的电压检测待测膜的厚度，解决了相关技术中厚度检测的准确性低的问题，提高了厚度检测的准确性。
技术研发人员：姜利;林永辉
受保护的技术使用者：威海华菱光电股份有限公司
文档号码：201610781129
技术研发日：2016.08.31
技术公布日：2017.02.22