技术总结
一种基于MXT9030的薄膜厚度测量系统，涉及一种薄膜厚度测量系统。本发明包括电容传感器、MXT9030电容‑电压转换器电路、PIC单片机、LED显示单元和工作指示灯；电容传感器与MXT9030电容‑电压转换器电路、PIC单片机依次连接，PIC单片机的输出端连接有LED显示单元和工作指示灯。本发明利用电容传感器精度高、能量损耗小、无接触磨损的特点，制作了符合薄膜厚度测量要求的传感器探头，MXT9030实现对电容传感器的信号检测，通过PIC单片机的控制，调节MXT9030电路的内部参数，使薄膜测量系统具有良好的线性度及灵敏度。本发明满足大范围内的电容差分信号输入，并具有良好的检测灵敏度和线性度。
技术研发人员：王健;丁喜波;李博宸;蔡庆瑶
受保护的技术使用者：哈尔滨理工大学
文档号码：201610873171
技术研发日：2016.09.30
技术公布日：2017.01.25