一种晶圆测试系统的制作方法

本发明涉及半导体领域，尤其涉及一种晶圆测试系统。

背景技术：

集成电路在晶圆测试时，工作站、测试机和探针台是一个整体，工作站、测试机和探针台之间需要接收对方发来的指令并且还需发送指令给对方，它们之间需要通过各自的连线达到通讯的目的，工作站和测试机之间需要通过PCI接口相互连接，工作站和探针台之间需要通过GPIO接口相互连接，它们都是通过实体的线在两者之间连接，实体线必然会受到线本身长度的影响，太短可能无法接上相应的接口，太长又容易被外力影响导致松动等问题，并且需要考虑生产车间的实际布局需求。

现有技术一：工作站和测试机通过PCI接口连接

参考图1，工作站全程控制测试程序的运作，测试机进行测试并且返还给工作站检测的结果，所以它们之间需要通讯。测试机上都有一块专门的硬件板是负责通讯的，上面有PCI接口，通过实体线连接到工作站上，达到两者之间的通讯。一旦在测试工程中这个线脱落了或损坏了，操作人员很难发现问题，造成测试时间的浪费，并且线的长度决定了两者的空间布局。

现有技术二：工作站和探针台通过GPIO接口连接

继续参考图1，工作站需要控制探针台的移动，并且探针台也需要告诉工作站测试的芯片坐标，来完成数据，所以它们之间需要通过GPIB线来达到通讯的目的。GPIB线不宜过长，不宜弯曲，否则会导致通讯不上的问题，一旦损坏，更换比较麻烦，因为探针台的GPIB接口是比较隐蔽的。

技术实现要素：

为解决上述技术问题，本发明提供了一种晶圆测试系统，节省空间和降低了布线难度。

一种晶圆测试系统，包括：探针台，用于得到当前位置坐标，并将测试结果进行显示；工作站，用于将所述当前位置坐标和开始测试指令发送给测试机，并接收测试机的测试结果；测试机，用于根据当前位置坐标开始测试；探针台接收器，用于接收测试结果；探针台发送器，用于向工作站发送位置坐标；工作站接收器，用于接收探针台的位置坐标和测试机的测试结果；工作站发送器，用于向测试机发送位置坐标，向测试机发送测试开始指令以及向探针台发送测试结果；测试机发送器，用于向工作站发送测试结果；测试机接收器，用于接收位置坐标和测试开始指令。

本发明的与现有技术相比，优点在于：

本发明通过在工作站、测试机和探针台上各安装一个无线接收器和无线发送器来达到无线通讯的目的，就可以避免实体线所带来的不便，并且方便生产车间的布局，达到节省空间和降低布线难度的目的。

附图说明

本发明的下列附图在此作为本发明的一部分用于理解本发明。附图中示出了本发明的实施例及其描述，用来解释本发明的原理。

图1为现有技术的工作站、测试机和探针台的连接方式；

图2为本发明的晶圆测试系统通过用无线接收器和无线发送器替换实体线的示意图；

图3为本发明的晶圆测试系统各设备之间的交互关系。

具体实施方式

在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本发明更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本发明可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中，为了避免与本发明发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。

应当理解的是，本发明能够以不同形式实施，而不应当解释为局限于这里提出的实施例。相反地，提供这些实施例将使公开彻底和完全，并且将本发明的范围完全地传递给本领域技术人员。在附图中，为了清楚，层和区的尺寸以及相对尺寸可能被夸大。自始至终相同附图标记表示相同的元件。

集成电路在晶圆测试时，工作站、测试机和探针台是一个整体，工作站、测试机和探针台之间需要接收对方发来的指令并且还需发送指令给对方，它们之间需要通过各自的连线达到通讯的目的，工作站和测试机之间需要通过PCI接口相互连接，工作站和探针台之间需要通过GPIO接口相互连接，它们都是通过实体的线在两者之间连接，实体线必然会受到线本身长度的影响，太短可能无法接上相应的接口，太长又容易被外力影响导致松动等问题，并且需要考虑生产车间的实际布局需求。

本发明是为了解决集成电路在晶圆测试时工作站、测试机和探针台之间使用实体线通讯所造成各种不便的问题，因此提供了一种晶圆测试系统，包括探针台，用于得到当前位置坐标，并将测试结果进行显示；工作站，用于将所述当前位置坐标和开始测试指令发送给测试机，并接收测试机的测试结果；测试机，用于根据当前位置坐标开始测试；探针台接收器，用于接收测试结果；探针台发送器，用于向工作站发送位置坐标；工作站接收器，用于接收探针台的位置坐标和测试机的测试结果；工作站发送器，用于向测试机发送位置坐标，向测试机发送测试开始指令以及向探针台发送测试结果；探针台接收器，接收测试结果。

在工作站、测试机和探针台各安装一个无线接收器和无线发送器，它们之间通过无线传送的方式进行通讯，每个无线接收器只接受与自己绑定的无线发送器发送的指令，互不干扰。在没有了实体线的约束后，车间里的设备布局可以更灵活，例如可以将工作站排成一排，方便技术人员查看数据，也不必担心人员的走动会将某一根线给扯掉或松动，一旦量产起来线的连接性不好会造成测试上的问题，也不易被发现，而无线接收器和无线发送器本身有对信号的检测功能，一旦出现问题能比较快的发现，从而节省了很多排查故障的时间，提高了测试效率。

图1为现有技术的工作站、测试机和探针台的连接方式，工作站通过PCI接口连线到测试机达到通讯目的，同时工作站通过GPIB接口连线到探针台达到通讯目的，两者都为实体线连接。

图2为本发明通过用无线接收器和无线发送器替换实体线的示意图，在工作站、测试机和探针台上各安装一个无线接收器和无线发送器，通过无线通讯达到交互效果。

图3为本发明各设备之间的交互关系，工作站的无线接收器1用来接收测试机的无线发送器2和探针台的无线发送器3发送的指令，测试机的无线接收器2和探针台的无线接收器3用来接收工作站的无线发送器1发送的指令。

下面结合附图进行详细说明。

如图2所示，本发明提供一种晶圆测试系统，包括探针台101，用于得到当前位置坐标，并将测试结果进行显示；工作站100，用于将所述当前位置坐标和开始测试指令发送给测试机102，并接收测试机102的测试结果；测试机102，用于根据当前位置坐标开始测试；探针台发送器101a，用于向工作站发送位置坐标；探针台接收器101b，用于接收探针台的位置坐标和测试机的测试结果；工作站发送器100a，用于向测试机102发送位置坐标，向测试机发送测试开始指令以及向探针台发送测试结果；工作站接收器100b，用于接收探针台的位置坐标和测试机的测试结果；测试机发送器102a，用于向工作站发送测试结果；测试机接收器102b，用于接收所述工作站发出的所述位置坐标。

具体的，晶圆测试以及最后测试通常是利用探针台101和测试机102进行测试，所述探针台可以为现有技术中的探针台，例如，利用一个具有若干探针的探针卡，将探针与固定在承载台上的晶圆的集成电路进行接触，向所述集成电路施加测试信号，以判断其电学性能是否良好。

探针台101可以为现有技术中的探针台，探针台包括承载台(chuck)与探针卡，探针卡上设置有若干个探针，测试过程中将探针卡固定在一水平平台上，保持探针卡不动；承载台上放置晶圆(wafer)，承载台可以沿X、Y、Z方向移动，使得晶圆与探针卡下方的探针相接触。

所述测试机102可以为现有技术中的测试机，用于控制探针台101对晶圆进行测试。

并且，所述探针台101还包括显示器，用于显示测试结果。

所述探针台发送器101a，为射频发送器，用于发送位置坐标给工作站。

所述探针台接收器101b，为射频接收器，用于接收测试结果。

所述工作站接收器100b，用于接收探针台发送的位置坐标，以及接收测试机返回的测试结果。

工作站100，用于根据位置坐标向测试机102发出测试开始指令，例如工作站100可以为处理器。

工作站发送器100a，用于向测试机102发出测试开始指令，并向探针台101发出工作指令。

测试机接收器102b，用于接收测试开始指令以及测试指令，从而和探针台101配合开始测试。

测试机102，用于根据工作站100的测试指令开始控制探针台101开始测试。

测试机发送器102a，用于将测试结果发送给工作站100。

工作站、测试机和探针台是一个整体，它们之间需要不断相互通讯来完成整个测试，所以需要无线接收器和无线发送器这两个设备来完成。

在本实施例中，每个设备都有自己的MAC地址，可以预先在无线接收器里设备需要接收的无线发送器的MAC地址，保证只接受指定的设备指令，工作站需要接收测试机和探针台的指令，所以绑定两个MAC地址，而测试机和探针台只接收工作站的指令，因此只需各绑定一个MAC地址即可，这样在工作站、测试机和探针台两两之间达到了绝对的一对一通讯。

参考图3，首先探针台通过探针台发送器101a发送给工作站接收器100b指令告诉工作站当前的坐标，工作站收到指令后通过工作站发送器100a发送指令给测试机接收器102b开始测试，测试完成后测试机通过测试机发送器102a发送指令给工作站接收器100b，告诉测试结果，然后工作站再通过工作站发送器100a发给探针台接收器101b测试结果，探针台收到指令后在自己的显示屏上显示出结果，供人工查看，并开始移到下一个晶圆位置上，重复之前的动作。

显然，本领域的技术人员可以对发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。