微小电子元件测试分光设备的制作方法

文档序号:11104185阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种微小电子元件测试分光设备,包括机架(1)、设置在机架(1)上的上料模块(2)、设置在上料模块(2)后的转盘模块(3)、对转盘模块(3)上的电子元件进行测试的测试模块(4),以及落料模块(5),其特征在于,

转盘模块(3)包括数个侧吸附式吸嘴(30),侧吸附式吸嘴(30)包括吸嘴本体(302)和用于放置被检测元件的吸嘴托板(303),所述吸嘴本体(302)设置在所述吸嘴托板(303)的上表面,且所述吸嘴托板(303)部分伸出于所述吸嘴本体(302)的前端,所述吸嘴本体(302)内设有用于与气源相接的气体通道(321),所述气体通道(321)的被测元件接触端(3210)所在的平面与吸嘴托板(303)相垂直,所述吸嘴托板(303)的至少与被检测元件接触的部位是由透光材料制成的;

测试模块(4)包括两两垂直的X轴驱动单元、Y轴驱动单元和Z轴驱动单元(41),以及设在Z轴驱动单元上的探针检测组件(40),所述探针检测组件(40)包括探针固定件(402)、数根探针(401),以及供探针固定件(402)移动的滑轨(403),数根所述探针(401)的下端面在同一水平面上且与待测试样品上的铜箔点相吻合;所述Z轴驱动单元(41)工作时,带动探针(401)沿滑轨(403)移动从而接触或者远离待测试样品。

2.根据权利要求1所述的微小电子元件测试分光设备,其特征在于:在气体通道的端口(3211)的一侧设有用于限定被测元件的位置的挡块(6)。

3.根据权利要求1所述的微小电子元件测试分光设备,其特征在于:所述吸嘴本体(302)通过第一螺钉(71)固定在所述吸嘴托板(303)上。

4.根据权利要求1、2或3所述的微小电子元件测试分光设备,其特征在于:所述吸嘴托板(303)包括底板(3031)、垫圈(3033)和用于与被检测元件接触的接触板(3032),所述底板(3031)上设有与所述接触板(3032)相吻合的容置部(310),所述接触板(3032)通过所述垫圈(3033)设置在所述容置部(310)内。

5.根据权利要求4所述的微小电子元件测试分光设备,其特征在于:所述接触板(3032)是由透光材料制成的。

6.根据权利要求4所述的微小电子元件测试分光设备,其特征在于:所述底板(3031)是由陶瓷材料制成的。

7.根据权利要求4所述的微小电子元件测试分光设备,其特征在于:所述底板(3031)和接触板(3032)上分别设有销孔,所述接触板(3032)通过插销固定在所述底板(3031)的容置部(310)内。

8.根据权利要求1、2或3所述的微小电子元件测试分光设备,其特征在于:所述Z轴驱动单元(41)包括伺服电机(411)和与伺服电机(411)的输出轴连接的凸轮结构(412),所述凸轮结构(412)在伺服电机(411)的驱动下带动探针(401)沿滑轨(403)移动。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1