1.一种多层介质-金属-介质波导温湿度表面等离子共振传感装置，其特征是，包括顺序叠接的底层二氧化硅层、第一金层、玻璃层、第二金层和顶层铌酸锂层，入射光由玻璃层侧面以大于表面等离子产生共振的角度入射。
2.根据权利要求1所述的多层介质-金属-介质波导温湿度表面等离子共振传感装置，其特征是，所述的玻璃层与二氧化硅层、第一金层构成二氧化硅-金-玻璃的介质-金属-介质波导的表面等离子共振结构；玻璃层与第二金层、铌酸锂层构成玻璃-金-铌酸锂的介质-金属-介质波导的表面等离子共振结构。