技术总结
本实用新型公开了一种多层介质‑金属‑介质波导温湿度表面等离子共振传感装置，其特征是，包括顺序叠接的底层二氧化硅层、第一金层、玻璃层、第二金层和顶层铌酸锂层，入射光由玻璃层侧面以大于表面等离子产生共振的角度入射，所述的玻璃层与二氧化硅层、第一金层构成二氧化硅‑金‑玻璃的介质‑金属‑介质波导的表面等离子共振结构；玻璃层与第二金层、铌酸锂层构成玻璃‑金‑铌酸锂的介质‑金属‑介质波导的表面等离子共振结构。这种装置能够实现单一芯片的温度和湿度的多功能检测，不仅可以改善传统传感器的精度低、稳定性差、反应时间长的不足，还能利用光学传感器的特点实现如远距离传输传感、复杂温度环境特殊条件下的应用。
技术研发人员：朱君;徐汶菊;秦柳丽;傅得立;朱勇建;宋树祥
受保护的技术使用者：广西师范大学
文档号码：201620424528
技术研发日：2016.05.11
技术公布日：2016.11.30