1.一种三氟化氮泄漏浓度检测装置,包括喷头(1),其特征在于:所述喷头(1)包括主体(101),所述主体(101)内部开有中心通道(105)和弧形通道(102),且中心通道(105)和弧形通道(102)连通,所述中心通道(105)和弧形通道(102)内腔表面粘附催化剂层(103),所述主体(101)内部加装加热杆(104),且主体(101)外侧加装温度检测装置(106),所述喷头(1)外侧加装催化剂支架(2),且喷头(1)左端通过导管与进气管(6)连接,所述催化剂支架(2)通过壳体(4)的内部支架固定安装在反应腔(10),所述反应腔(10)右端固定安装渗透膜(3),所述渗透膜(3)右侧壳体(4)内部为检测腔(11),所述检测腔(11)内部加装三氟化氮浓度检测装置(9),所述检测腔(11)右侧通过尾管(12)与尾气处理装置(5)连接。
2.根据权利要求1所述的一种三氟化氮泄漏浓度检测装置,其特征在于:所述催化剂支架(2)包括固定板(202)和催化棒(201),所述催化棒(201)两端与固定板(202)固定连接,所述固定板(202)与壳体(4)内部支架连接,所述催化棒(201)为二氧化锰棒。
3.根据权利要求1所述的一种三氟化氮泄漏浓度检测装置,其特征在于:所述壳体(4)材质为耐高温玻璃,所述渗透膜(3)为三氟化氮渗透膜。
4.根据权利要求1所述的一种三氟化氮泄漏浓度检测装置,其特征在于:所述进气管(6)与喷头(1)之间加装电磁限流阀(7),且进气管(6)和尾管(12)与壳体(4)接触位置均加装密封圈(8)。
5.根据权利要求1所述的一种三氟化氮泄漏浓度检测装置,其特征在于:所述加热杆(104)数量不少于四个且均匀布置在主体(101)内部,所述弧形通道(102)至少为四条且均与中心通道(105)连通,所述温度检测装置(106)至少为四个且均匀环绕主体(101)布置。
6.根据权利要求1所述的一种三氟化氮泄漏浓度检测装置,其特征在于:所述三氟化氮浓度检测装置(9)为环状传感器且内部均匀排布至少四个检测器。