技术总结
本实用新型公开了一种三氟化氮泄漏浓度检测装置，包括喷头，所述喷头包括主体，所述主体内部开有中心通道和弧形通道，且中心通道和弧形通道连通，所述中心通道和弧形通道内腔表面粘附催化剂层，所述主体内部加装加热杆，且主体外侧加装温度检测装置，所述喷头外侧加装催化剂支架，且喷头左端通过导管与进气管连接，所述催化剂支架通过壳体的内部支架固定安装在反应腔，所述反应腔右端固定安装渗透膜，所述渗透膜右侧壳体内部为检测腔，所述检测腔内部加装三氟化氮浓度检测装置，所述检测腔右侧通过尾管与尾气处理装置连接，该实用新型装置较以往装置具有预热时间短，检测结果准确性高，灵敏度高等特点。
技术研发人员：周爱芬
受保护的技术使用者：洛阳高昌机电科技有限公司
文档号码：201620708445
技术研发日：2016.07.07
技术公布日：2016.11.30