技术总结
本实用新型公开了硅烷尾气中硅烷含量的测定装置，其包括氢气钢瓶(1)、氢气钢瓶减压阀(2)、样品钢瓶进气阀(3)、样品钢瓶(4)、样品钢瓶排气阀(5)、硅烷标准气体钢瓶(6)、硅烷标准气体钢瓶减压阀(7)、碱液吸收桶(8)、针型阀(9)、稳压阀(10)、辅助EPC(11)、六通阀(12)、定量管(13)、色谱柱(14)和TCD检测器(15)。本实用新型的优点：1、采用填充多空微球的色谱柱进行硅烷组分与氢气的分离，分离效果好；2、氢气用作吹扫气，充分吹扫进样系统，防止硅烷尾气在进样系统中遇空气发生分解，堵塞六通阀(12)、定量管(13)等。
技术研发人员：刘淑萍;曹忠;宗凤云;李辉;赫兰英;刘宇奇;周大勇
受保护的技术使用者：内蒙古神舟硅业有限责任公司;上海空间电源研究所
文档号码：201621122487
技术研发日：2016.10.14
技术公布日：2017.04.26