1.一种基于合成干涉信号偏振态检测技术的纳米测量装置，其特征在于该装置由激光源、偏振片、λ/2波片、第一偏振分光镜、第一λ/4波片、固定镜、第二λ/4波片、移动镜、第三λ/4波片、第一液晶调制器、第二液晶调制器、第二偏振分光镜、第一光电探测器、第二光电探测器组成，上述各部分的连接关系如下：
激光源出射线性偏正光器偏振角为45°，可由偏振片和λ/2波片调整得到，该偏振光经第一偏振分光镜被分成两束：即P偏振光和S偏振光，P偏振光经过第一λ/4波片后变成圆偏振光被发送至固定镜，S偏振光经第二λ/4波片后变成圆偏振光被发送至移动镜，P偏振光经过固定镜反射后通过第一λ/4波片和第一偏振分光镜成为圆偏振光，S偏振光经过移动镜反射后通过第二λ/4波片和第一偏振分光镜成为圆偏振光，两个圆偏振光经第三λ/4波片成为线性偏振光，该线性偏振光经过第一液晶调制器、第二液晶调制器后，通过第二偏振分光镜被分成两束正交的线偏振光P光和S光，由第一光电探测器和第二光电探测器探测其光强IT和IR，改变2个液晶调制器的相位延迟量，再由2个光电探测器探测其光强IT’和IR’，由已测得的光强可以得到移动镜位移量Δx。