一种降低力矩的微机械陀螺仪正交误差补偿结构的制作方法

文档序号:11371826阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种降低力矩的微机械陀螺仪正交误差补偿结构,其特征在于,补偿结构位于质量块(8)内部空腔中,所述补偿结构包括:

第一动齿(2)、第二动齿(4)、第三动齿(5)、第四动齿(7)、第一定齿(3)、第二定齿(6)、连接件(10);第一动齿(2)位于动齿(4)上方,第一动齿(2)的一端和第二动齿(4)的一端均与质量块(8)的左侧内壁连接,第一定齿(3)一端与连接件(10)连接,第一定齿(3)另一端延伸至第一动齿(2)与第二动齿(4)之间;第三动齿(5)位于第四动齿(7)上方,第三动齿(5)的一端和第四动齿(7)的一端均与质量块(8)的右侧内壁连接,第二定齿(6)一端与连接件(10)连接,第二定齿(6)另一端延伸至第三动齿(5)与第四动齿(7)之间;其中,第一动齿(2)、第二动齿(4)、第三动齿(5)、第四动齿(7)与质量块(8)具有相同电位,第一定齿(3)、第二定齿(6)与连接件(10)具有相同电位,第一动齿(2)、第二动齿(4)、第三动齿(5)、第四动齿(7)、质量块(8)与第一定齿(3)、第二定齿(6)、连接件(10)之间具有一电压VDC

2.根据权利要求1所述的降低力矩的微机械陀螺仪正交误差补偿结构,其特征在于,补偿结构为导体,且连接件(10)固定在衬底上。

3.根据权利要求1所述的降低力矩的微机械陀螺仪正交误差补偿结构,其特征在于,第一动齿(2)与第一定齿(3)之间的间距、第二动齿(4)和第一定齿(3)之间的间距、第三动齿(5)与第二定齿(6)之间的间距、第四动齿(7)和第二定齿(6)之间的间距均相等。

4.根据权利要求1所述的降低力矩的微机械陀螺仪正交误差补偿结构,其特征在于,第一定齿(3)、第二定齿(6)、第一动齿(2)、第四动齿(7)的厚度相同,第二动齿(4)、第三动齿(5)的厚度相同,第一定齿(3)的厚度大于第二动齿(4)的厚度。

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