一种降低力矩的微机械陀螺仪正交误差补偿结构的制作方法

文档序号:11371826阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种降低力矩的微机械陀螺仪正交误差补偿结构,补偿结构位于质量块(7)内部空腔中,所述补偿结构包括:动齿(2)、动齿(4)、动齿(5)、动齿(7)、定齿(3)、定齿(6)、连接件(10);实现了结构设计合理,简单的实现了补偿正交误差,并且降低了力矩,避免产生不良影响的技术效果。

技术研发人员:王志;周骏;王龙峰;山永启;雷龙海
受保护的技术使用者:四川知微传感技术有限公司
文档号码:201621414279
技术研发日:2016.12.22
技术公布日:2017.09.15

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