多分辨率光谱仪的制作方法

文档序号:11684542阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种多分辨率光谱仪,其特征在于,包括:

入射狭缝,布置用于接收入射光束;

准直装置,布置用于对来自入射狭缝的光束进行准直;

色散装置,布置用于对经过准直装置准直的光束进行分色,以形成具有不同波长的多个子光束;

成像装置和阵列式光子探测器,所述成像装置布置用于将所述多个子光束分别成像在所述阵列式光子探测器上,所述阵列式光子探测器用于将成像到其上的多个子光束的光信号转换成电信号,所述电信号用于形成光谱图;

其中,所述入射狭缝具有第一狭缝部分和第二狭缝部分,所述第二狭缝部分具有比第一狭缝部分更大的宽度。

2.根据权利要求1所述的多分辨率光谱仪,其特征在于,所述色散装置布置成将所述多个子光束在第一方向上分离开,所述阵列式光子探测器具有多列探测单元,其中每列探测单元沿着与第一方向垂直的第二方向布置。

3.根据权利要求2所述的多分辨率光谱仪,其特征在于,所述多个子光束中的每个子光束在所述阵列式光子探测器上形成的图案包括分别对应于第一狭缝部分和第二狭缝部分的第一图案部分和第二图案部分,所述第二图案部分具有比第一图案部分更大的宽度。

4.根据权利要求3所述的多分辨率光谱仪,其特征在于,光谱图中的每条谱线由一列探测单元中的所有探测单元所获得的电信号的叠加输出而生成。

5.根据权利要求3所述的多分辨率光谱仪,其特征在于,所述阵列式光子探测器具有沿着第二方向依次布置的第一区域和第二区域,所述第一图案部分形成于所述第一区域中,所述第二图案部分形成于所述第二区域中,所述光谱图包括第一子光谱图和第二子光谱图,所述第一子光谱图中的每条谱线由一列探测单元中处于第一区域中的探测单元所获得的电信号的叠加输出而生成,所述第二子光谱图中的每条谱线由一列探测单元中处于第二区域中的探测单元所获得的电信号的叠加输出而生成。

6.根据权利要求2所述的多分辨率光谱仪,其特征在于,所述狭缝还包括第三狭缝部分,所述第三狭缝部分具有比第二狭缝部分更大的宽度。

7.根据权利要求6所述的多分辨率光谱仪,其特征在于,所述多个子光束中的每个子光束在所述阵列式光子探测器上形成的图案包括分别对应于第一狭缝部分、第二狭缝部分和第三狭缝部分的第一图案部分、第二图案部分和第三图案部分,所述第二图案部分具有比第一图案部分更大但比第三图案部分更小的宽度。

8.根据权利要求7所述的多分辨率光谱仪,其特征在于,所述阵列式光子探测器具有沿着第二方向依次布置的第一区域、第二区域和第三区域,所述第一图案部分、第二图案部分和第三图案部分分别形成于所述第一区域、第二区域和第三区域中,所述光谱图包括第一子光谱图、第二子光谱图和第三子光谱图,所述第一子光谱图中的每条谱线由一列探测单元中处于第一区域中的探测单元所获得的电信号的叠加输出而生成,所述第二子光谱图中的每条谱线由一列探测单元中处于第二区域中的探测单元所获得的电信号的叠加输出而生成,所述第三子光谱图中的每条谱线由一列探测单元中处于第三区域中的探测单元所获得的电信号的叠加输出而生成。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的多分辨率光谱仪,其特征在于,所述入射狭缝具有宽度渐变的形状。

10.根据权利要求1至8中任一项所述的多分辨率光谱仪,其特征在于,所述准直装置包括准直透镜或凹面反射镜,所述色散装置包括分色光栅,所述成像装置包括会聚透镜或凹面反射镜。

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