技术特征：
技术总结
一实施方式的光透射性膜的缺陷检查方法中，向具有光透射性的被检查膜(S)照射作为照明光的直线偏振光，利用摄像装置隔着直线偏振板(12B)对被检查膜进行拍摄，由此对作为被检查膜的光透射性膜的缺陷进行检查，直线偏振板(12B)以其吸收轴(A12B)相对于与直线偏振光的振动面正交的方向而交叉的状态配置于被检查膜与摄像装置(13)之间，其中，在向被检查膜照射直线偏振光时，透过被检查膜以及直线偏振板而向摄像装置入射的入射光的最大强度波长与摄像装置的最大灵敏度波长之差为50nm以下。
技术研发人员：佐藤景子;穴见喜久美
受保护的技术使用者：住友化学株式会社
技术研发日：2016.05.30
技术公布日：2018.01.19