1.一种固支梁T型结直接加热在线式已知频率微波相位检测器由六端口固支梁耦合器(1)，微波相位检测器(2)，第一直接加热式微波功率传感器(3-1)和第二直接加热式微波功率传感器(3-2)级联构成；其中，六端口固支梁耦合器(1)的第一端口(1-1)到第三端口(1-3)、第四端口(1-4)以及第一端口(1-1)到第五端口(1-5)、第六端口(1-6)的功率耦合度分别相同，待测信号经六端口固支梁耦合器的第一端口(1-1)输入，由第三端口(1-3)和第五端口(1-5)分别输出到第一直接加热式微波功率传感器(3-1)和第二直接加热式微波功率传感器(3-2)，由第四端口(1-4)和第六端口(1-6)输出到微波相位检测器(2)，由第二端口(1-2)输出到下级处理电路；
其中，六端口固支梁耦合器(1)的结构以其中心线左右对称设置，由共面波导(8)，介质层(10)，空气层(12)和固支梁(11)构成；共面波导(8)制作在SiO2层(7)上，SiO2层(7)制作在Si衬底(6)上，固支梁(11)的锚区(9)制作在共面波导(8)上，固支梁(11)的下方沉积介质层(10)，并与空气层(12)、固支梁(11)共同构成耦合电容结构，两个固支梁(11)之间的共面波导(8)长度为λ/4。
2.如权利要求1所述的固支梁直接加热在线式已知频率微波相位检测器，其特征在于直接加热式微波功传感器(3)由Si衬底(6)，SiO2层(7)，共面波导(8)，半导体臂(16)，金属臂(17)，终端电阻(22)构成；微波功率从输入端口输入，通过共面波导(8)输入到终端电阻(22)被转化成热量；半导体臂(16)和金属臂(17)构成热电偶，根据Seebeck效应，通过测量输出电极(15)的热电势可知输入微波功率大小。