固支梁T型结直接加热在线式已知频率微波相位检测器的制作方法

文档序号:12658243阅读:来源:国知局
技术总结
本发明的固支梁T型结直接加热在线式已知频率微波相位检测器由六端口固支梁耦合器,微波相位检测器和直接加热式微波功率传感器构成;六端口固支梁耦合器由共面波导,介质层,空气层和固支梁构成;共面波导在SiO2层上,固支梁的下方沉积介质层,并与空气层,固支梁共同构成耦合电容,两个固支梁之间的共面波导长度为λ/4;六端口固支梁耦合器的第一端口到第三端口和第四端口以及第一端口到第五端口、第六端口的功率耦合度相同,待测信号经六端口固支梁耦合器的第一端口输入,由第三端口和第五端口输出到直接加热式微波功率传感器,由第四端口和第六端口输出到微波相位检测器,由第二端口输出到下级处理电路;实现了对已知频率信号的0‑360°相位在线检测。

技术研发人员:廖小平;闫浩
受保护的技术使用者:东南大学
文档号码:201710052690
技术研发日:2017.01.24
技术公布日:2017.06.13

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