技术总结
本发明提供了光谱共焦检测系统及方法,同步触发直线电机位移平台和光谱共焦位移传感器,以预设的扫描间距、扫描长度及采样频率,直线电机位移平台采集XY轴的坐标值、光谱共焦位移传感器实时同步采集Z轴的坐标值;完成一次采样后,控制直线电机位移平台移动预设的距离,不需要反馈直线电机位移平台移动到位的信号,光谱共焦位移传感器再次进行采样。不仅极大地提高了检测效率,实现对物体快速连续精密扫描,而且尤其适用于精细的二维轮廓与三维形貌的检测。此外,控制精度高、结构简单、运行稳定。
技术研发人员:王俊民;廖福秀;贺佳贵;邹志英
受保护的技术使用者:王俊民
文档号码:201710146983
技术研发日:2017.03.13
技术公布日:2017.05.31