技术特征:
技术总结
本发明涉及一种二维位移测量装置,包括:激光器,用于输出偏振激光;分光移频模块,用于将偏振激光进行分光并实现差动移频,形成至少三束光,且三束光频率不同;汇聚模块,用于对至少三束光进行汇聚后入射至待测目标上,且接收被待测目标散射返回的激光,使返回的激光进入激光器,以对激光器的输出激光的光强进行调制;信号检测模块,设置于从激光器出射的偏振激光的光路上,用于对激光器输出激光的光强进行检测并转换为电信号;信号处理模块,与所述信号检测模块连接,用于对信号检测模块输出的电信号进行处理及计算,获得离面位移及面内位移。本发明还提供一种位移测量方法。本发明提供的二维位移测量装置及方法测量精度高。
技术研发人员:谈宜东;郭波;朱开毅;卢悦越;张书练
受保护的技术使用者:清华大学
技术研发日:2017.04.25
技术公布日:2017.07.14