一种使用卧式干涉仪进行球面镜面型检测的方法与流程

本发明属于光学零件检测领域，涉及一种使用卧式干涉仪检测球面镜面型的方法。

背景技术：

对于光电类产品，成像质量是判别一套光学系统优劣的重要指标，每一块光学零件的面型指标是保证最终成像质量好坏的决定性因素。目前，球面镜和平面反射镜主要依靠干涉仪检测数据作为判定单块光学零件面型质量的依据。

在某些光学系统中，某球面镜口径较大，且所镀膜层易发生形变，如图1所示，在使用卧式干涉仪测试时，待测球面镜受自身重力影响，导致所测值非真实值。在生产过程中，由于这种球面镜数量较少，若购买高精度立式干涉仪成本较高，所以为降低成本，并满足测试结果的准确性，提高生产效率，本发明提供了一种使用卧式干涉仪检测该种球面镜面型的方法。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种在无立式干涉仪条件下，球面镜面型受自重影响较大时，使用卧式干涉仪进行准确面型测试的检测方法。

为了实现以上目的，本发明提出了一种使用卧式干涉仪检测球面镜面型的方法，通过45°反射镜折转光路，消除测试过程中球面镜面型受自身重力的影响。具体步骤如下：

步骤1：打开卧式干涉仪测试软件，在卧式干涉仪前端安装测试标准镜头；

步骤2：校正标准镜头光束中心；

步骤3：将用于固定待测球面镜的支撑工装置于可前后左右平移、上下升降的调整机构上；

步骤4：将平面发射镜置于支撑工装上，前后移动调整调整机构，使标准镜头光束能够会聚于平面发射镜上；

步骤5：将待测球面镜置于支撑工装上，位于平面发射镜的正上方，距平面发射镜的距离为待测球面镜的曲率半径r；

步骤6：调整平面发射镜角度，使标准镜头光束经过平面发射镜和待测球面镜后能够返回并出现在卧式干涉仪的测试界面中；

步骤7：固定平面发射镜角度，在前后、左右、上下三个方向移动调整机构，并带动待测球面镜和待测球面镜整体移动；通过在卧式干涉仪的测试界面观察发射光束的反射像，使卧式干涉仪发射的光束经平面发射镜和待测球面镜后能够原路返回，满足测试条件；

步骤8：固定调整机构位置，通过卧式干涉仪测试软件进行待测球面镜面型检测。

有益效果

本发明提供了一种在无立式干涉仪条件下，球面镜面型受自重影响较大时，进行准确检测面型的方法，通过45°平面反射镜折转光路，消除测试过程中球面镜面型受自身重力的影响。本发明有效保证测试数据的准确性，降低科研成本，所使用工装仪器均为常用仪器，成本低，效率高。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是使用卧式干涉仪检测球面镜面型光路图。

图2是本发明检测球面镜面型测试光路图。将45°平面反射镜置于三维调整机构上，待测球面镜置于45°反射镜上方。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

本发明的目的在于提供一种在无立式干涉仪条件下，球面镜面型受自重影响较大时，使用卧式干涉仪进行准确面型测试的检测方法。

为了实现以上目的，本发明提出了一种使用卧式干涉仪检测球面镜面型的方法，通过45°反射镜折转光路，消除测试过程中球面镜面型受自身重力的影响。具体步骤如下：

步骤1：打开卧式干涉仪测试软件，在卧式干涉仪前端安装测试标准镜头；

步骤2：校正标准镜头光束中心；

步骤3：将用于固定待测球面镜的支撑工装置于可前后左右平移、上下升降的调整机构上；

步骤4：将平面发射镜置于支撑工装上，前后移动调整调整机构，使标准镜头光束能够会聚于平面发射镜上；

步骤5：将待测球面镜置于支撑工装上，位于平面发射镜的正上方，距平面发射镜的距离为待测球面镜的曲率半径r；

步骤6：调整平面发射镜角度，使标准镜头光束经过平面发射镜和待测球面镜后能够返回并出现在卧式干涉仪的测试界面中；

步骤7：固定平面发射镜角度，在前后、左右、上下三个方向移动调整机构，并带动待测球面镜和待测球面镜整体移动；其中通过调整机构前后(图2中x方向)平移微调焦距，使反射像变小变圆变亮，更满足测试条件，而通过上下(图2中y方向)升降调整机构调整反射像y方向，通过左右(图2中z方向)平移调整机构调整反射像z方向；通过在卧式干涉仪的测试界面观察发射光束的反射像，使卧式干涉仪发射的光束经平面发射镜和待测球面镜后能够原路返回，满足测试条件；

步骤8：固定调整机构位置，通过卧式干涉仪测试软件进行待测球面镜面型检测。

尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

技术特征：

技术总结
本发明提供了一种在无立式干涉仪条件下，球面镜面型受自重影响较大时，进行准确检测面型的方法，通过45°平面反射镜折转光路，消除测试过程中球面镜面型受自身重力的影响。本发明有效保证测试数据的准确性，降低科研成本，所使用工装仪器均为常用仪器，成本低，效率高。

技术研发人员：孙昕晣;张永强;李传凯;董续勇;赵建辉;何兴飞
受保护的技术使用者：中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所
技术研发日：2017.12.18
技术公布日：2018.05.15