LGS声表面波温度传感器的线性温度频率特性测算方法与流程

技术特征：

1.LGS声表面波温度传感器的线性温度频率特性测算方法，包括以下步骤：

步骤1、使用一端带有SMA接头的高温同轴线连接LGS声表面波温度传感器与矢量网络分析仪，带有SMA接头的一端连接矢量网络分析仪，将另一端同轴线拨开成两股，分别连接在器件的两个电极上；调整矢量网络分析，使其包含LGS声表面波温度传感器的瑞利波模式谐振频率点和体波模式谐振频率点；

步骤2、将步骤1所述LGS声表面波温度传感器和热电偶放入加热炉中，测试并记录热电偶显示不同温度下器件的两个模式的谐振频率，用获得的温度频率散点进行二次函数拟合，得到瑞利波模式和体波模式的一阶温度系数x1、x2,记录室温T0时器件瑞利波模式频率及体波模式频率f01、f02，完成对LGS声表面波温度传感器的标定；

瑞利波模式温度频率散点拟合符合：f1＝f01+x1(T-T0)+y1(T-T0)²--------(1)

体波模式温度频率散点拟合符合：f2＝f02+x2(T-T0)+y2(T-T0)²--------(2)

其中f1和f2为不同温度下测得的瑞利波模式和体波模式的频率，f01、f02分别为室温时器件的瑞利波模式频率及体波模式频率，x1、x2分别为两个模式的一阶温度频率系数，y1、y2分别为两个模式的二阶温度频率系数，T为器件所处环境温度，T0为基准温度，即为室温25℃；

1式减去2式可得：

f1-f2≈(x1-x2)(T-T0)+f01-f02-------(3)

当前环境温度可表示为：

步骤3、按照步骤1的方法连接标定好的LGS声表面波温度传感器与矢量网络分析仪，将器件放置于待测环境下，用矢量网络分析仪测试器件的瑞利波模式和体波模式谐振频率，并代入公式4计算，即可获得当前待测环境温度。