一种镀层的X荧光测试装置的制作方法

本实用新型涉及检测设备领域，尤其涉及一种镀层的X荧光测试装置。

背景技术：

镀层材料的分析是指对镀层和膜的厚度与组分的分析，常用的分析方法有湿化学分析、辉光放电、发射光谱分析(GD-OES)和XRF等。湿化学分析须选择适当的溶剂溶解选定的层，逐层溶解后再进行测定，方法准确但费时费力，特别是溶剂的选择也非易事。GD-OES方法用惰性原子逐层轰击及剥离试样表层，再用发射光谱测定之。这种方法可以实现剖面或逐层分析，但测量的重复性并不理想。X荧光法(XRF)可以非破坏性完成组分和厚度的同时测定，厚度的测量范围视材料和元素而定，通常为1nm-100um。X荧光法分析镀层与常规定量分析相比较，被测元素的特征X射线荧光强度不仅与薄膜中待测元素和基材的组成有关，而且与薄膜的厚度有关，现有的采用X荧光法(XRF)对镀层进行测试的装置，存在直观性、准确性等较差的问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的就在于提供一种镀层的X荧光测试装置，以解决上述问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是这样的：一种镀层的X荧光测试装置，包括测试光路和成像光路，其中，

所述测试光路包括X-ray光管、所述X-ray光管上方设置有X-ray光管压块、下方设置有反射镜，并设置有用于安装反射镜的反射镜安装轴，在所述反射镜下方安装有准直器，所述准直器下方设置有近景LED灯；

所述成像光路包括探测器，所述探测器位于所述反射镜的一侧，还包括固定透镜镜组、可动透镜镜组和CCD，还包括线性步进电机A、直线导轨A、线性步进电机B和直线导轨B，所述线性步进电机A输出转动力矩，驱动固定在可动透镜镜组架上的丝杆螺母A移动，从而带动可动透镜镜组在直线导轨A上移动；所述线性步进电机B输出转动力矩，驱动固定在固定透镜镜组架上的丝杆螺母B移动，从而带动固定透镜镜组在直线导轨B上移动；

所述测试光路和成像光路系统在反射镜以下共轴；

还包括防创板结构，所述防创板结构包括防创板，所述防创板位于整个装置的底部，所述防创板上方设置固定板，所述固定板上设置有光电开关。

作为优选的技术方案：还设置有用于固定反射镜的反射镜压片。

作为优选的技术方案：所述近景LED灯上还设置有近景LED灯罩。

作为优选的技术方案：所述防创板与固定板通过螺钉结构连接。

作为优选的技术方案：所述光电开关通过光电开关支架固定在固定板上。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：

1.整个光路系统包括成像光路和测试光路，两路光学系统在反射镜以下是共轴的，保证X-ray荧光测试点与成像系统中心点为同一点，能实现直观、准确的测试效果；

2.采用两套照明系统，能实现不论近景照明系统还是远景照明系统消除了全景和近景拍摄时的光线不均匀、亮斑、阴影等现象；

3.在安全上采用防创板设计方式，使得仪器具有很高的可靠性；防创板采用四个光电开关方式，防创板上任意一点接触样品，都能触发四个光电开关至少一个动作，使移动停止，结构简单，性能可靠。

附图说明

图1为本实用新型实施例的主视图(A-A剖图)；

图2为本实用新型实施例的仰视图；

图3为右侧视图；

图4为图2的B-B剖视图；

图5为图1的C-C剖视图

图中：1、X-ray光管压块；2、螺钉；3、远景LED灯；4、垫片；5、防创板挡光片；6、远景LED灯支架；7、反射镜；8、X-ray光管；9、CCD；10、丝杆螺母B；11、近景LED灯罩；12、探测器；13、防创板螺柱；14、准直器；15、反射镜安装轴；16、反射镜压片；17、近景LED灯；18、直线导轨B；19、线性步进电机B；20、准直器座；21、固定透镜镜组；22、线性步进电机A；23、可动透镜镜组；24、直线导轨A；25、丝杆螺母A；26、光电开关；27、防创板；28、固定板；29、光电开关支架；30、远景灯窗口；31、照明区域。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型作进一步说明。

实施例1：

参见图1-5，一种镀层的X荧光测试装置，包括测试光路和成像光路，其中，

所述测试光路包括X-ray光管8、所述X-ray光管8上方设置有X-ray光管压块1、下方设置有反射镜7，并设置有用于安装反射镜7的反射镜安装轴15，还设置有用于固定反射镜7的反射镜压片16，在所述反射镜7下方安装有准直器14，所述准直器14下方设置有近景LED灯17，近景LED灯17上还设置有近景LED灯罩11；

所述成像光路包括探测器12，所述探测器12位于所述反射镜7的一侧，还包括固定透镜镜组21、可动透镜镜组23和CCD9，还包括线性步进电机A22、直线导轨A24、线性步进电机B19和直线导轨B18，所述线性步进电机A22输出转动力矩，驱动固定在可动透镜镜组23架上的丝杆螺母A25移动，从而带动可动透镜镜组23在直线导轨A24上移动；所述线性步进电机B19输出转动力矩，驱动固定在固定透镜镜组21架上的丝杆螺母B10移动，从而带动固定透镜镜组21在直线导轨B(18)上移动；

还包括防创板结构，所述防创板结构包括防创板27，所述防创板27位于整个装置的底部，所述防创板27上方设置固定板28，所述固定板28上设置有光电开关26；

所述防创板27与固定板28通过螺钉结构连接，

具体而言，本装置的防创板结构，在防创板27面积范围内任意一点与样品接触，测试平面与放样平面(如图3)之间的上、下移动即停止；光电开关26通过光电开关支架29固定在固定板28上，防创板27上四角有四个防创板螺柱13，螺钉2透过固定板28上的过孔，通过垫片30与防创板27上的防创板螺柱13连接固定，防创板27能通过防创板螺柱13在固定板28过孔上下移动，由于垫片30大于固定板28过孔，因此防创板27不至于掉下来，由于防创板螺柱13与固定板28过孔间隙较大，防创板27也可进行倾斜；由于防创板27的防创板螺柱13位于防创板27的四角，且防创板27固定有防创板挡光片5，防创板27任意位置与样品接触必然导致防创板27倾斜或上下移动，可使其上四个防创板挡光片5中至少有一个防创板挡光片5发生移动遮挡光电开关26相对面的光柱，从而发出信号脉冲测试平面与放样平面之间的上、下移动即停止。

整个光路系统包括成像光路和测试光路，两路光学系统在反射镜7以下是共轴的，保证X-ray荧光测试点与成像系统中心点为同一点，能较好的实现直观、准确的测试效果；

从X荧光通过X-ray光管8发出的X荧光射线通过反射镜7上的小孔及穿过准直器座20上的准直器14(铅玻璃)的4个微孔中的一个微孔，打到测试平面样品表面，二次射线进入探测器中，经信号处理，检测出样品的成分。测试点的影像通过准直器14(铅玻璃)，经反射镜7反射及通过固定透镜镜组21、可动透镜镜组23，将影像成像在CCD9的靶面上，影像的中心位置即是样品测量点的位置。图5中线性步进电机A22输出转动力矩，驱动固定在可动透镜镜组23架上的丝杆螺母A25移动，从而带动可动透镜镜组23在直线导轨A24上移动，两个光电开关26的位置分别对应放样平面及测试平面的清晰影像，

本装置有两套照明系统，如图3和图4所示，近景LED灯17发光角度为150度，四颗灯珠的重叠照明区域如图4中的照明区域31，可将观察区域均匀照明，近景LED灯罩11为散射板材料，能光照均匀，无明暗现象；远景LED灯3为一含三颗灯珠的灯带，布局如图2所示，LED的发光角度为140度，远景灯窗口30确定了光照的范围，三个方向照明的重叠区域如图3的照明区域31所示。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。