一种石英舟温度在线检测监控装置的制作方法

本实用新型属于光伏电池生产领域，尤其涉及光伏电池生产过程的扩散、退火工序石英舟温度在线检测监控装置。

背景技术：

随着低压技术、倒片机技术、石英舟加工技术的发展，扩散、退火工艺由以前的常压500片/舟，逐步被1000片/舟所取代，更有部分设备制造商已往1200片/舟发展。

随着每舟产量的加大，同时工艺时间逐步减短，工艺完后的石英舟及硅片从高温炉管带出的热量越来越集中，往往导致冷却存储位上各待冷却的满载石英舟之间互相烤炙。达到设定冷却时间后，被烤炙的满载石英舟传出离线机台，温度仍处于80度以上高温，极易造成生产员工搬运石英舟时烫伤，石英舟/硅片损坏。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于：提供一种石英舟温度在线检测监控装置，以解决石英舟被传出离线机台时，其温度得不到监控，容易造成生产员工烫伤，石英舟/硅片损坏的技术问题。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种石英舟温度在线检测监控装置，包括机架，机架上安装有传送台，传送台上设有用于盛装石英舟的滑台；传送台下方设有用于检测石英舟温度的红外探头；传送台的传送末端设有净化台，净化台上设有自带蜂鸣器的温控仪，且温控仪与红外探头电连接。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

本实用新型的主要改进点在于，机架，机架上传送台、滑台、红外探头的设置，以及设置于传送台传送末端的净化台、自带蜂鸣器的温控仪的设置，通过温控仪与红外探头电连接实现了在石英舟被传出离线机台时，对其温度进行实时监控，若石英舟的温度高于温控仪的预设值，则蜂鸣器立即发出声音报警，提示生产员工，这样就避免了生产员工烫伤，石英舟/硅片损坏的技术问题。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型所涉及的电气原理图。

具体实施方式

本说明书中公开的所有特征，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均可以以任何方式组合。本申请的主要改进点在于结构，安装设计，其内所涉及的编程内容参考现有技术很容易实现，因此不再赘述。

下面结合图1～图2对本实用新型作详细说明。

一种石英舟温度在线检测监控装置，包括机架5，机架5上安装有传送台6，传送台6上设有用于盛装石英舟7的滑台8；传送台6下方设有红外探头1，实时监测冷却完成后传出的石英舟7(硅片)温度；传送台6的传送末端设有净化台9，净化台9上设有自带蜂鸣器4的温控仪2，且温控仪2与红外探头1电连接。其中，该蜂鸣器4的设定位置可选择净化台靠近传送台6(上下料台)位置，也可选择设定与机架5上，便于员工抬舟前观察石英舟温度与接收报警信息(温控仪2自带显示器)。

上述装置所涉及的电路如下所述：

温控仪2的信号输入端连接红外探头1，温控仪2的输出端通过继电器3连接蜂鸣器4。红外探头1反馈温度检测信号给温控仪2，温控仪自带设定温度报警(参数自定义设置，比如设定报警温度为35℃)，当红外探头测试温度高于设定温度时，温控仪2AL常开端口闭合，继电器3线圈得电，常开触点闭合，蜂鸣器4得电，提供声音报警。

虽设置了工艺完成后石英舟及硅片的冷却时间；但垂直分布上法人5～7个冷却架，仍会存在相互烤炽的情况。冷却架分1#至5#，1#在最低位置，依次5#最高位置。假设2#冷却架有一还有5分钟就冷却完成的工艺后的石英舟及硅片；另一炉管(反应腔室一般4至5个，独立的)刚有一舟工艺完成出来的石英舟及硅片，刚从反应腔室出来温度接近400度；机械抓手将这个400度的舟及硅片放到冷却架1#，就会造成1#位置对2#位置的一种烤炙情况。

工艺运行过程描述：操作员工将插满硅片的石英舟抬到传送台(上下料台)，放到滑台上，设置自动运行，将滑台连带石英舟送入净化台。净化台机械抓手将插满硅片的石英舟，自动送到空闲的炉管(反应腔室)对应的桨(运送硅片及石英舟进炉管的机构)上，桨将硅片及石英舟运送进炉管进行扩散或退火工艺(工艺温度700度至850度左右)，工艺结束后。桨将硅片或舟从炉管取出，放到冷却架(净化台内一机构)进行冷却。由于净化台的冷却架是垂直分布的5～7个暂存架，先后工艺完后放入冷却架的石英舟及硅片之间会存在相互烤炙的情况(虽设定冷却时间，但无法避免)。冷却时间到之后净化台机械抓手将工艺后的硅片及石英舟抓取下来，放入滑台，然后滑台传出到净化台之外的传送台，便于操作员工将石英舟及硅片抬舟。由于不可避免互相烤炙因素，某系石英舟传出机台后，温度接近90度，很容易造成烫伤，故加装了此报警机构。

本实用新型未详细阐述的部分属于本领域公知技术，本领域技术人员根据已有的描述已能够在不付出创造性劳动的前提下进行实施，因此，不再赘述。