本实用新型涉及FPD检测技术领域，具体涉及一种氙灯分色照明检测装置。
背景技术：
在FPD检测领域中，由于基板上不同工艺会导致制程图案呈现颜色上的差异(简称膜色差异)，检测设备如果采用同一种波长的光就会不适应该变化，导致错检或漏检。闪光氙灯由于其高亮度，高稳定性，长寿命和小体积等特点而广泛应用用工业检测中。其拥有较宽的光谱，当遇到上述膜色差异的制程图案后，不能有效得到最佳信噪比的图案，降低检出的遗漏以及错误率。氙灯可以产生极强的瞬时功率，获得极强的瞬时光输出，同时具有低功耗、体积小等优点，脉冲氙灯是一种良好的仪用替代光源。针对脉冲氙灯发光过程中，其光斑面积小、亮度高、脉冲闪烁的特性，及其辐射强度仅次于激光，基于脉冲氙灯光斑的这些特点，其在测量分析仪器中有着广泛的应用。
CN205642614U公开一种氙灯光线检测装置，其包括光线接收部、光线传输管、过滤部及感光头；所述光线接收部呈喇叭口结构；所述光线传输管的接收端位于所述光线接收部的底部的中心，所述光线传输管的出光端连接于所述过滤部的入口，所述光线传输管为玻璃管，所述玻璃管的侧壁设有全反射膜；所述过滤部内设有多层过滤片；所述感光头设置于所述过滤部的出口，所述感光头与检测装置连接。本实用新型氙灯光线检测装置用于检测氙灯老化试验机内特定波长的光线，检测准确。但是存在以下缺陷：一、基板工艺不同会影响波长在基板上的图案的呈现；二、氙灯拥有较宽光谱，设备对不同光谱的光吸收程度不同会导致成像的偏差。
技术实现要素：
针对现有FPD检测领域中，由于基板的工艺不同而导致颜色的差异，当使用同一种波长容易导致检测设备检测时出现漏检或者错检的技术缺陷。本实用新型提供一种新的氙灯分色照明检测装置，该氙灯分色照明检测装置利用同一套光源实现不同色光成像的性能。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来现的：
一种氙灯分色照明检测装置，包括工控机、时序控制器、光源装置以及成像系统，所述工控机的输出端L0与时序控制器的输入端电连接，所述时序控制器的输出端L1、L2和L3分别与光源装置的输入端以及成像系统的输入端电连接；
所述光源装置包括光源装置1、光源装置2以及光源装置3，所述光源装置包括氙灯、镜组以及光纤，所述镜组设置在镜组套内，所述镜组包括准直镜、滤光镜、二向色镜组、聚焦镜组，所述二向色镜组包括二向色镜1和二向色镜2，所述聚焦镜分为聚焦镜B、聚焦镜G和聚焦镜R；
所述成像系统包括相机、成像镜组以及基板，所述成像镜组包括中继镜头、分光棱镜物镜、照明镜，所述中继镜头与分光棱镜的A端通过套接管连接在一起，所述分光棱镜的B端与物镜通过物镜外套连接在一起。
作为进一步的改进，所述光源装置1、光源装置2和光源装置3组成和结构相同。
作为进一步的改进，所述光源装置的氙灯、准直镜、滤光镜、二向色镜组以及聚焦镜R处于同一横向轴线位置。
作为进一步的改进，所述光源装置的二向色镜组与横向轴线位置呈45度。
作为进一步的改进，所述聚焦镜B与二向色镜1处于同一竖直轴线位置，聚焦镜G与二向色镜2处于同一竖直轴向位置。
作为进一步的改进，所述照明镜与分光棱镜处于同一水平位置。
作为进一步的改进，所述成像系统包括成像系统1、成像系统2和成像系统3。
作为进一步的改进，所述成像系统1、成像系统2和成像系统3的组成和结构相同。
作为进一步的改进，所述光源装置1、光源装置2和光源装置3的光纤分别有3个接口，3个接口分别接收R光、G光、B光，再将光纤射出的光源分别耦合进成像系统1、成像系统2和成像系统3。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：
效果一，本实用新型有三种光源检测模式，分别是单色控制模式、双色控制模式以及白光控制模式，可以满足工艺制程对不同色光敏感性不同来响应调整，确保采集到的图像清晰精确；
效果二，本实用新型将工控机与时序控制装置来调节光源的耦合，减少了人工成本，也使得采集到的图像精确无误；
效果三，闪光氙灯由于其高亮度，高稳定性，长寿命和小体积等特点而广泛应用用工业检测中。其拥有较宽的光谱，本实用新型设计出一套分光合光的控制系统，提高了检测灵敏度，有效降低漏检率。
附图说明
图1为本实用新型整体结构框图；
图2为光源装置成像图；
图3为三色分光合光系统图；
图4为本实用新型成像系统图；
图中，
1-氙灯，2-准直镜，3-滤光镜，4-聚焦镜B，5-聚焦镜G，6-二向色镜1，7-二向色镜2，8-聚焦镜R，9-光纤，10-合光；
11-氙灯1，12-氙灯2，13-氙灯3，14-光源装置1，15-光源装置2，16-光源装置3；
21-准直镜1，22-准直镜2，23-准直镜3；
31-滤光镜1，32-滤光镜2，33-滤光镜3；
41-聚焦镜B1，42-聚焦镜B2，43-聚焦镜B3；
51-聚焦镜G1，52-聚焦镜G2，53-聚焦镜G3；
61-二向色镜1-1，62-二向色镜1-2，63-二向色镜1-3；
71-二向色镜2-1，72-二向色镜2-2，73-二向色镜2-3；
81-聚焦镜R1，82-聚焦镜R2，83-聚焦镜R3；
811-光源B-1，812-光源G-2，813-光源R-3，821-光源G-1，822-光源R-2，823-光源B-3，831-光源R-1，832-光源B-2，833-光源G-3；
91-光纤1，92-光纤2，93-光纤3；
01-成像系统1，02-成像系统2，03-成像系统3，04-基板，011-相机，012-中继镜头，013-照明镜，014-分光棱镜，015物镜；
001-合光1，002-合光2，003-合光3。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
下面通过具体的实施例子并结合附图对本实用新型做进一步的详细描述。
实施例
一种氙灯分色照明检测装置，如图1，为本实用新型整体结构框图，包括工控机、时序控制器、光源装置以及成像系统，所述工控机的输出端L0与时序控制器的输入端电连接，所述时序控制器的输出端L1、L2和L3分别与光源装置的输入端以及成像系统的输入端电连接；工控机接收到外部工作台发出的位置信息后，发出位置触发信号给时序控制器，时序控制器向氙灯发出开关信号，向相机发出图像采集信号。通过时序控制器的控制，可实现灵活多变的采图模式。
优选的，三色控制模式：如果工艺制程对某种色光敏感性不确定，则可采用三色控制模式进行优选。时序控制器轮流发出触发信号TX-1，TX-2，TX-3，触发闪光氙灯1，氙灯2，氙灯3顺序打开。相机在每个光源触发闪光时同步采图，即在TX-1触发时，TC-1、TC-2、TC-3同步触发三个相机采集图像。然后TX-2触发时，TC-1、TC-2、TC-3同步触发三个相机采集图像。最后在TX-3触发时，TC-1、TC-2、TC-3同步触发三个相机采集图像。这样即可实现在同一个位置(闪光和曝光时间足够短时，一般是微秒级，基板的扫描导致的位置偏差可以忽略)处每个相机能获得R、G、B三种照明的图像。在做检测时可优选最佳信噪比的图像，从而提高对工艺的适应性。
优选的，单色控制模式：如果确定了工艺制程对某种色光敏感，假设为G光。根据图示，则时序控制器首先发出触发信号TX-1，闪光氙灯-1打开，时序控制器发出同步触发信号TC-2触发相机-2同步采集图像，其他相机不触发，则相机-2得到G光图像。触发控制器然后发出触发信号TX-2，闪光氙灯-2打开，时序控制器发出同步触发信号TC-1触发相机-1同步采集图像，其他相机不触发，则相机-1得到G光图像。触发控制器最后发出触发信号TX-3，闪光氙灯-3打开，时序控制器发出同步触发信号TC-3触发相机-3同步采集图像，其他相机不触发，则相机-3得到G光图像。如果要得到其他B或R的单幅图像，可同理类推。这是第二个模式：单色控制模式。
优选的，白光控制模式：如果工艺制程对色光不敏感，按照图示说明，时序控制器同时发出触发信号TX-1，TX-2，TX-3，触发闪光氙灯-1，氙灯-2，氙灯-3同时打开。相机同步采图，即在发出闪光触发的同时发出相机触发TC-1、TC-2、TC-3。同步触发三个相机采集图像。这样即实现了白光模式，即每个相机能获得R、G、B三种照明的叠加图像。提供最佳信噪比的图像，从而提高检测灵敏度。
如图2所示，为光源装置成像图，所述光源装置包括氙灯1、镜组以及光纤9，所述镜组设置在镜组套内，所述镜组包括准直镜2、滤光镜3、二向色镜组、聚焦镜组，所述二向色镜组包括二向色镜1-6和二向色镜2-7，所述聚焦镜分为聚焦镜B4、聚焦镜G5和聚焦镜R8。所述氙灯1、准直镜2、滤光镜3、二向色镜组以及聚焦镜R8处于同一横向轴线位置，所述光源装置的二向色镜组与横向轴线位置呈45度，聚焦镜B4与二向色镜1-6处于同一竖直轴线位置，聚焦镜G5与二向色镜2-7处于同一竖直轴向位置，耦合得到合光10。
如图3所示，为三色控制模式光源成像图，所述光源装置包括光源装置1-14、光源装置2-15以及光源装置3-16，所述光源装置1、光源装置2和光源装置3组成和结构相同，所述光源装置包括氙灯1、镜组以及光纤9，所述镜组设置在镜组套内，所述镜组包括准直镜2、滤光镜3、二向色镜组、聚焦镜组，所述二向色镜组包括二向色镜1-6和二向色镜2-7，所述聚焦镜分为聚焦镜B4、聚焦镜G5和聚焦镜R8。所述氙灯1、准直镜2、滤光镜3、二向色镜组以及聚焦镜R8处于同一横向轴线位置，所述光源装置的二向色镜组与横向轴线位置呈45度，聚焦镜B4与二向色镜1-6处于同一竖直轴线位置，聚焦镜G5与二向色镜2-7处于同一竖直轴向位置。
氙灯1-11出的光经过准直镜1-21准直后经过滤光镜1-31后入射到二向色镜1-1-61上，分光反射后的一部分经过聚焦镜B1-41后聚焦形成蓝光光斑.分光后透射的一部分再经过二向色镜2-1-71后，又形成两束光，其反射的一部分光经过聚焦镜G1-51后聚焦形成绿光光斑，其透射后的光经过聚焦镜R1-81后聚焦形成红光光斑。
优选的，滤光组1的作用是滤掉436nm以下的紫外光和650nm以上的红外光。
优选的，二向色镜1-1-61的作用是反射蓝光，透过红绿光。至于各二向色镜的透过或反射带宽可根据实际情况调整
氙灯2-12出的光经过准直镜2-22准直后经过滤光镜2-32后入射到二向色镜1-2-62上，分光反射后的一部分经过聚焦镜B2-42后聚焦形成红光R-1光斑.分光后透射的一部分再经过二向色镜2-2-72后，又形成两束光，其反射的一部分光经过聚焦镜G2-52后聚焦形成绿光G-1光斑，其透射后的光经过聚焦镜R2-82后聚焦形成红光R-2光斑，二向色镜1-2的作用是透过反射蓝绿光而透过红光。
氙灯3-13出的光经过准直镜3-23准直后经过滤光镜3-33后入射到二向色镜1-3-63上，分光反射后的一部分经过聚焦镜B3-43后聚焦形成绿光G-1光斑，分光后透射的一部分再经过二向色镜2-3-73后，又形成两束光，其反射的一部分光经过聚焦镜G3-53后聚焦形成绿光G-1光斑，其透射后的光经过聚焦镜R3-83后聚焦形成红光R-3光斑。
三个光源分光后形成的色光，经过三根三合一光纤9错开耦合，即每根三合一光纤分别耦合不同光源形成的R、G、B光源。该示例中，三合一光纤-1的三个输入端耦合光源B-1-811、光源G-2-812、光源R-3-813，通过光纤1-91形成合光1-001。三合一光纤-2的三个输入端耦合光源G-1-821、光源R-2-822、光源B-3-823，通过光纤2-92形成合光2-002。三合一光纤-3的三个输入端耦合光源R-1-831、光源B-2-832、光源G-3-833，通过光纤3-93形成合光3-003。
如图4所示，本实用新型成像系统图，所述成像系统包括相机011、成像镜组以及基板04，所述成像镜组包括中继镜头012、分光棱镜014，物镜015、照明镜013，所述中继镜头012与分光棱镜014的A端通过套接管连接在一起，所述分光棱镜014的B端与物镜015通过物镜外套连接在一起。所述照明镜013与分光棱镜014处于同一水平位置，所述成像系统包括成像系统1-01、成像系统2-02和成像系统3-03。所述成像系统1-01、成像系统2-02和成像系统3-03的组成和结构相同。经光源装置耦合分别将得到的合光1-001、合光2-002和合光3-003分别输入三个成像系统照明成像，经过相机采集图像，当然该控制不只限于上述三种模式，基于时序控制的次序，可还可实现任意的双色光模式，比如RG,RB或GB模式，以便适应更加复杂的工艺制程。具体的工作工程可基于上述三种模式简单的推理，在此不再详述。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当理解本实用新型并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施例的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文所述构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本实用新型的精神和范围，则都应在本实用新型所附权利要求的保护范围内。