技术总结
本发明公开了一种基于旋转CGH的非圆柱面干涉拼接测量系统及方法,该系统包括菲索平面干涉仪、CGH柱面波转换器、待测非圆柱面、非圆柱面调整装置和精密转台;所述CGH柱面波转换器安装在精密转台上,并位于菲索平面干涉仪和待测非圆柱面之间,所述精密转台控制CGH柱面波转换器转动,使CGH柱面波转换器绕着自身的中心轴线旋转;所述待测非圆柱面安装在非圆柱面调整装置上;所述菲索平面干涉仪的光轴与CGH柱面波转换器的光轴重合,调整非圆柱面调整装置使待测非圆柱面的最佳拟合圆柱轴线与CGH柱面波转换器衍射的柱面波前的焦轴线重合。另外本发明的测量方法能够显著降低非圆柱面离轴子孔径的像差,准确测量非圆柱光学元件的面形误差。
技术研发人员:彭军政;钟金钢
受保护的技术使用者:暨南大学
技术研发日:2018.01.12
技术公布日:2018.07.10