一种光学非接触式压力传感器的制作方法

文档序号:14797527发布日期:2018-06-29 21:44阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种光学非接触式压力传感器,包括由激光器、半反半透镜、第一反射镜、相位补偿板、滤光透镜、第二反射镜和可移动反射镜组成的迈克尔逊干涉系统,及水平支板、第一滑动支杆、第一平行导轨、第一弹簧、第二滑动支杆、第二平行导轨、第二弹簧、固定水平台、CCD相机、信号处理机。水平支板在向下压力作用下导致可移动反射镜向下移动,CCD相机采集到的迈克尔逊干涉系统的干涉条纹变化,通过对条纹信息进行帧间强度相关处理,得到干涉条纹的相位变化值,信号处理机实时解算干涉条纹的相位变化信息最终得到压力值。本发明系统设计独特,采用简单的结构可以达到非接触式检测压力的目的,且具有精度高、响应快及动态范围大等优点。

技术研发人员:刘菲菲;
受保护的技术使用者:孝感锐创机械科技有限公司;
技术研发日:2018.04.04
技术公布日:2018.06.29

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