本发明涉及半导体测量领域，并且具体地涉及用于加热头测量的设备和方法。
背景技术：
微电子器件的更高的性能、更低的成本、增大的小型化以及微电子器件的更大的封装密度是半导体产业对于集成电路芯片的制造的当前目标。随着实现这些目标，集成电路芯片按比例缩小，即变得更小。因此，需要设置特定的温度以对集成电路芯片进行测试。一旦设置的温度出现某些异常，就会导致集成电路芯片发生质量问题。
在集成电路芯片的温度测试中，加热头起着非常关键的作用，但其也具有较高的故障率。由于加热头具有不规则的形状，因此难以对加热头的参数进行准确测量。这导致无法及时找到故障原因，从而难以有效地修复加热头。此外，对加热头进行测量的位置、人员以及方法的变化进一步增加了这一难度。
技术实现要素：
鉴于上述问题，本发明提供一种新颖的用于加热头测量的设备和方法，其可以建立标准的测量环境以有效提高测量的可靠性，并且可以消除在测量过程中出现的各种变化从而能够对加热头的参数进行准确测量。
根据本发明的一个方面，提供一种用于加热头测量的设备，包括：基座；支撑杆，所述支撑杆固定在所述基座上；固定机构，所述固定机构安装在所述支撑杆上；托举架，所述托举架具有第一支撑板和第二支撑板，其中，所述第一支撑板安装在所述固定机构上，并且所述第二支撑板用于支撑所述加热头的热交换器盖板；以及可调节式紧固机构，所述可调节式紧固机构与所述第一支撑板相对地安装在所述固定机构上，其中，所述可调节式紧固机构可被调节来将所述加热头的热交换器支架锁紧在所述可调节式紧固机构与所述第一支撑板之间，以便对所述加热头进行测量。
在本发明的一个实施例中，所述设备还包括蒸发器高度测量辅助装置，其具有底板、上盖板以及形成在所述上盖板的侧壁上的多个箱包扣连接块，其中，在所述底板和所述上盖板中形成有用于容纳所述加热头的蒸发器的贯通孔，在所述上盖板中还形成有与所述加热头的导向针对准的接纳孔，其中，所述多个箱包扣连接块用于紧扣在所述加热头的应力传导组件上以便使得所述上盖板与所述应力传导组件彼此相对的外表面重合。
在本发明的另一实施例中，所述多个箱包扣连接块相对于所述上盖板的中心成非对称布置或者对称布置。
在本发明的另一实施例中，所述设备还包括升降机构，所述升降机构安装在所述支撑杆上，用于对所述固定机构进行升降。
在本发明的另一实施例中，所述升降机构为套管，所述套管套装在所述支撑杆上并且能够沿所述支撑杆上下移动。
在本发明的另一实施例中，所述设备还包括：旋转机构，其中，所述第一支撑板和所述可调节式紧固机构通过所述旋转机构安装在所述固定机构上。
在本发明的另一实施例中，所述旋转机构包括固定销以及其中形成有多个插销孔的旋转机构主体，以及所述固定机构中也形成有多个插销孔，其中，所述旋转机构的插销孔与形成在所述固定机构中的多个插销孔中的相应插销孔选择性对准，并且所述固定销被插入到所对准的插销孔中从而调节所述托举架和所述可调节式紧固机构相对于所述固定机构的角度。
在本发明的另一实施例中，所述可调节式紧固机构包括螺钉、紧固垫、旋钮以及与所述第一支撑板相对的具有螺孔的固定板，其中，所述螺钉穿过所述固定板中的螺孔，所述紧固垫设置在所述螺钉靠近所述第一支撑板的一端，以及所述旋钮设置在所述螺钉的另一端。
在本发明的另一实施例中，所述支撑杆具有一个或多个高度限位调节孔，所述设备还包括可调高度限位器，其通过所述支撑杆上的一个或多个高度限位调节孔安装在所述支撑杆上。
在本发明的另一实施例中，所述基座中还形成有用于将所述基座固定在工作台上的基座固定孔。
在本发明的另一实施例中，所述第一支撑板具有用于容纳所述加热头的热交换支架的凸出部分的凹部。
根据本发明的另一个方面，提供一种利用上述设备对加热头进行测量的方法，所述方法包括：将所述加热头的热交换器支架固定在所述可调节式紧固机构与托举架的第一支撑板之间，以及利用第一测量装置测量所述加热头的应力传导组件的高度。
在本发明的一个实施例中，所述方法还包括：将所述蒸发器高度测量辅助装置装配到所述加热头上，以使得所述加热头的蒸发器伸入到所述蒸发器高度测量装置的贯通孔中形成凹槽；利用第二测量装置测量所形成的凹槽的深度，以确定出所述蒸发器的高度。
附图说明
本发明的其它特点、优点和益处通过以下结合附图的详细描述将变得更加显而易见。其中：
图1A-1C分别示出了根据本发明一个实施例的用于加热头测量的设备10的透视图、正视图和后视图；
图2A和2B分别示出了加热头20的透视图和侧视图；
图3A和3B分别示出了根据本发明一个实施例的蒸发器高度测量辅助装置30的透视图和侧视图；
图4示出了按照本发明一个实施例的利用设备10对加热头20进行测量的方法400的流程图。
具体实施方式
下面，将结合附图详细描述本发明的各个实施例。
图1A-1C分别示出了根据本发明一个实施例的用于加热头测量的设备10的透视图、正视图和后视图。如图所示，设备10包括基座110、支撑杆120、固定机构130、托举架140和可调节式紧固机构150。其中，支撑杆120固定在基座110上，固定机构130安装在支撑杆120上。优选地，固定机构130可以为圆盘形。托举架140具有第一支撑板1410和第二支撑板1420，第一支撑板1410和可调节式紧固机构150安装在固定机构130上并且彼此相对。在一个示例中，第一支撑板1410和第二支撑板1420可以形成为“L”形结构。例如，第一支撑板1410和第二支撑板1420可以相互垂直地连接。可选地，第一支撑板1410和第二支撑板1420之间还可以具有弧形连接部分或者其他形状的连接部分。所述其他形状可以是与加热头20的对应部分相匹配的形状。
加热头20可以被放置在托举架140上。图2A和图2B分别示出了加热头20的透视图和侧视图。如图所示，加热头20包括热交换器支架210、热交换器盖板220、应力传导组件230和蒸发器240。
在将加热头20放置在托举架140上时，第二支撑板1420用于支撑加热头20的热交换器盖板220。此外，通过对可调节式紧固机构150进行调节，可以利用第一支撑板1410和可调节式紧固机构150来锁紧加热头20的热交换器支架210，从而将加热头20固定在托举架140上，由此可以对加热头20进行准确测量。
在本发明的一个实施例中，可调节式紧固机构150可以包括固定板1510、螺钉1520、紧固垫1530和旋钮1540。固定板1510与托举架140的第一支撑板1410相对，并且在固定板1510中形成有螺孔。螺钉1520可以穿过固定板1510中的螺孔，并且使紧固垫1530设置在螺钉1520朝向托举架140的一端，而使旋钮1540设置在螺钉1520的另一端。可以通过旋转旋钮1540使紧固垫1530在垂直于固定板1510的方向上移动。例如，可以使紧固垫1530朝向托举架140移动以锁紧热交换器支架210，或者使紧固垫1530背离托举架140移动以松开热交换器支架210。
可选地，在一个实施例中，第一支撑板1410还可以具有凹部，例如，其用于容纳热交换器支架210上的向外凸出的部分或者安装在热交换器支架210上的向外凸出的部件(未示出)。在一个示例中，基座110中还可以形成有基座固定孔，用于将基座110固定在工作台上。
优选地，设备10还可以包括升降机构160。固定机构130可以通过升降机构160安装在支撑杆120上。在一个示例中，升降机构160可以为套管，其套装在支撑杆120上并且能够沿支撑杆120上下移动。这使得通过托举架140和可调节式紧固机构150安装在固定机构130上的加热头20也能够上下移动，从而可以适应各种身高的测量人员。
此外，对于托举架140而言，其第一支撑板1410可以通过旋转机构安装在固定机构130上。而且，可调节式紧固机构150也可以通过旋转机构170安装在固定机构130上。所述旋转机构包括旋转机构主体1710和固定销1720，在旋转机构主体1710中形成有插销孔，相应地，在固定机构130中也形成有多个插销孔。在工作时，可以使旋转机构主体1710中的插销孔与固定机构130中的多个插销孔中的相应插销孔选择性对准，并且将固定销1720插入到所对准的插销孔中，以使旋转机构主体1710相对于固定机构130旋转一定的角度(例如，45度或90度)。由此，可以调节托举架140和可调节式紧固机构150相对于固定机构130的角度，并相应地可以调整加热头20的测量姿态从而使测量人员能够方便地对其进行测量。
如图1A和1C所示，设备10还可以包括可调高度限位器180，用于限定升降机构160的高度调节范围。相应地，支撑杆120上形成有一个或多个高度限位调节孔1210。通过支撑杆120上的一个或多个高度限位调节孔1210，可以将可调高度限位器180安装在支撑杆120的预定位置上，由此可以限制升降机构160的高度调节范围，从而防止加热头20撞击到工作台上。
另外，为了能够对加热头20的蒸发器240进行准确的测量，设备10还可以包括蒸发器高度测量辅助装置30，用于辅助测量加热头20的蒸发器240的高度。图3A和3B分别示出了根据本发明一个实施例的蒸发器高度测量辅助装置30的透视图和侧视图。
如图所示，蒸发器高度测量辅助装置30具有底板310和上盖板320，在底板310和上盖板320中形成贯穿二者的贯通孔330，其在进行蒸发器高度测量时用于容纳加热头20的蒸发器240。此外，在上盖板320的侧壁上形成多个箱包扣连接块340，并且在上盖板320中还形成接纳孔350。在进行测量时，将蒸发器高度测量辅助装置30装配在加热头20上。具体地，将加热头20的导向针(未示出)与接纳孔350对准并插入到其中，而且使多个箱包扣连接块340紧扣在加热头20的应力传导组件230上，从而使加热头20的蒸发器240伸入到贯通孔330中并且使上盖板320与加热头20的应力传导组件230的彼此相对的外表面(即，上盖板320的外表面S1与加热头20的应力传导组件230的外表面P1)重合。多个箱包扣连接块340可以相对于上盖板320的中心是对称布置的。而在优选的实施方式中，多个箱包扣连接块340相对于上盖板320的中心是非对称布置的，这使得在装置30紧扣在应力传导组件230上时不容易发生形变。
参见图4，其示出了按照本发明一个实施例的利用设备10对加热头20进行测量的方法400的流程图。如图4所示，在步骤S410中，将加热头20的热交换器支架210固定在所述可调节式紧固机构与托举架140的第一支撑板1410之间。然后，在步骤S420中，利用第一测量装置(例如，游标卡尺)测量加热头20的应力传导组件230的高度h。在一个实施例中，在可以在应力传导组件230的不同的位置处对高度h进行测量。优选地，在应力传导组件230的四个角部处对高度h进行测量。在一个示例中，可以计算所测量到的应力传导组件230的高度的平均值和方差值。
此外，方法400还可以包括利用蒸发器高度测量辅助装置30对加热头20的蒸发器240进行测量的步骤。具体而言，将蒸发器高度测量辅助装置30装配到加热头20上，以使得蒸发器240伸入到蒸发器高度测量辅助装置30的贯通孔中形成凹槽。然后，利用第二测量装置(例如，千分尺)测量所形成的凹槽的深度，以确定出蒸发器240的高度。由此，能够对蒸发器240的高度进行准确的测量。本领域技术人员应当理解，上面公开的各个实施例可以在不偏离本发明的本质的情况下做出各种变形和改变，这些变形和改变都应落在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应当由所附的权利要求书来限定。