基于共享振镜SLM在线激光缺陷检测装备及方法与流程

文档序号:16544209发布日期:2019-01-08 20:43阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种基于共享振镜SLM在线激光缺陷检测装备及方法,装备用于对打印设备进行在线缺陷检测,它包括能实现扫描范围全覆盖的激光超声发射系统以及激光超声接收系统,激光超声发射系统包括第一激光器、扩束镜、准直器以及用于保证扫描范围全覆盖增材制造打印层的第一振镜组件和平场聚焦镜,第一振镜组件为打印设备中的振镜组件。本发明振镜采用打印机自带的振镜系统,只需在打印激光器和检测激光器之间设置光路切换开关即可,检测系统可以省去发射系统中的振镜,不仅能有效降低设备的制造成本,还能免去打印机自带的振镜对检测系统需要的振镜造成的安装上的不便,不会带来多组振镜相互干涉的问题。

技术研发人员:丁辉;李家奇;晏井利
受保护的技术使用者:东南大学
技术研发日:2018.09.28
技术公布日:2019.01.08
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