双振镜多幅面切换激光刻蚀机的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及激光刻蚀技术领域，尤其涉及双振镜多幅面切换激光刻蚀机。
【背景技术】
[0002]用于刻蚀显示触摸屏ITO薄膜、玻璃基底或PET基底的银浆激光刻蚀设备的运动驱动机构多采用二维振镜头和F- Θ透镜组组合，这种激光刻蚀设备刻蚀速度快，效率高，但是，由于刻蚀产品对线宽有一定的要求，使得二维振镜头和F- Θ透镜组组合的刻蚀幅面受到限制。一般情况下，F-Θ透镜组所刻蚀的幅面大，其刻蚀的线宽就宽，同时，F-Θ透镜组的焦距就大。如果加大刻蚀幅面，其刻蚀的线宽也会变宽，往往不能满足客户对线宽的要求。所以现有采用二维振镜头和F- Θ透镜组组合的激光刻蚀设备的刻蚀幅面都比较小。加工一块大的材料要实行多次拼接刻蚀，生产效率低；同时，多次刻蚀的拼接往往会使产品的良品率降低。
[0003]专利号为CN201220003814的多振镜头激光刻蚀机，包括机架、控制系统、计算机系统、激光发生器、吸附平台、二维振镜头、两个交叉的直线运动平台和F-Θ透镜组，控制系统、计算机系统和激光发生器都安装在机架上，激光发生器的激光头、二维振镜头和F- Θ透镜组安装在吸附平台上方，激光发生器的激光头的激光出光孔与二维振镜头的激光进光孔同心，F- Θ透镜组安装在二维振镜头下部，两个交叉的直线运动平台运动方向相互垂直，激光发生器、二维振镜头和F-Θ透镜组各有多件，多件激光发生器的激光头、二维振镜头和F-θ透镜组组合后并排安装。此多振镜头激光刻蚀机，加工速度快，生产效率高。
[0004]虽然专利号为CN201220003814的多振镜头激光刻蚀机加工速度快，生产效率高，但是，在实际生产过程中，生产厂家的产品刻蚀线宽往往有多种要求，在要求线宽比较窄的产品中，使用较小幅面的二维振镜头和F-θ透镜组组合；要求线宽比较宽的产品中，使用较大幅面的二维振镜头和F-θ透镜组组合，以最高效率满足不同线宽的要求。专利号为CN201220003814的多振镜头激光刻蚀机的多件激光发生器的激光头、二维振镜头和F- Θ透镜组组合后并排安装，而且安装后其间的距离不能调节，无法更换不同幅面的二维振镜头和F- Θ透镜组组合，不能实现一台设备对不同线宽及幅面的产品的生产要求。
【发明内容】
[0005]本实用新型的目的是提供一种双振镜多幅面切换激光刻蚀机，此双振镜多幅面切换激光刻蚀机，能实现一台设备对不同线宽及幅面的产品的生产要求，设备适应性好，利用率高,生产成本低。
[0006]为了达到上述目的，本实用新型的双振镜多幅面切换激光刻蚀机，包括机架、控制系统、计算机系统、激光发生器、吸附平台、二维振镜头、两个交叉的直线运动平台、升降台和F- Θ透镜组，控制系统、计算机系统和激光发生器都安装在机架上，升降台、激光发生器的激光头、二维振镜头和F- Θ透镜组安装在吸附平台上方，激光发生器的激光头的激光出光孔与二维振镜头的激光进光孔同心，F-θ透镜组安装在二维振镜头下部，激光发生器的激光头、二维振镜头和F-θ透镜组安装在升降台上，两个交叉的直线运动平台运动方向相互垂直，激光发生器、二维振镜头和F- Θ透镜组各有两件，两件激光发生器的激光头、二维振镜头和F- Θ透镜组组合后并排安装，其特征在于:在一件激光发生器的激光头、二维振镜头和F-θ透镜组下方安装直线导轨。
[0007]因为本实用新型双振镜多幅面切换激光刻蚀机，在一件激光发生器的激光头、二维振镜头和F- Θ透镜组下方安装直线导轨，此件激光发生器的激光头、二维振镜头和F- Θ透镜组就可以沿直线导轨移动，使两件激光发生器的激光头、二维振镜头和F- Θ透镜组之间的距离改变而适应不同幅面F-θ透镜组，再通过升降台调节F-θ透镜组与吸附平台之间的距离，使聚焦后的激光能对吸附平台上的工件进行刻蚀加工。这样就能实现一台设备对不同线宽及幅面产品的生产要求，设备适应性好，利用率高，生产成本低。
[0008]所述的双振镜多幅面切换激光刻蚀机，其特征在于:沿直线导轨方向安装限位装置。限位装置的作用是用来每次更换F-θ透镜组时，调节两件激光发生器的激光头、二维振镜头和F-θ透镜组之间的距离时定位方便。
[0009]生产过程中，如果要刻蚀不同线宽或幅面的产品，只需要更换F-θ透镜组，再调节升降台的高度，使聚焦后的激光能对吸附平台上的工件进行刻蚀加工；同时调节安装在直线导轨的激光发生器的激光头、二维振镜头和F-θ透镜组之间的距离，使两组F-θ透镜组所刻蚀的边界能对接。
[0010]所述的机架为金属结构件或大理石构件，是整个双振镜多幅面切换激光刻蚀机的支撑与连接部件，控制系统、计算机系统和激光发生器都安装在机架上。
[0011]所述的控制系统包括电气系统及其操作控制软件。
[0012]所述的计算机系统包括计算机主机、显示器、键盘和鼠标，其中计算机主机的主板上安装有运动控制卡。计算机系统同控制系统一起控制双振镜多幅面切换激光刻蚀机工作，显示器的作用是用于显示操作控制软件的界面。
[0013]所述的直线运动平台为伺服电机或直线电机驱动的运动部件。
[0014]所述的激光发生器发出的激光波长为266nm、1064nm、532nm或355nm。
[0015]所述的二维振镜头内有两个高速伺服振动电机，每个高速伺服振动电机的轴上安装有激光反射镜片，两个高速伺服振动电机交叉安装。
[0016]所述的F- Θ透镜组为一组镜片组，其作用是将经过二维振镜头的不同角度激光光束聚焦到一个平面上，所以能对置于吸附平台上的工件进行刻蚀加工。
[0017]所述的吸附平台的内部为空腔，上面表设置多个与空腔连通的小孔，吸附平台的侧面或下部开有与空腔相连通的通孔，其中，至少有一个通孔与真空装置或抽风装置连接；真空装置或抽风装置工作使工件吸附于吸附平台，使工件平展于吸附平台，保证刻蚀质量。
[0018]所述的升降台为竖立安装的运动平台，一件激光发生器的激光头、二维振镜头和F-θ透镜组安装在升降台上，另一件激光发生器的激光头、二维振镜头和F-θ透镜组与升降台之间安装有直线导轨。
[0019]本实用新型的双振镜多幅面切换激光刻蚀机，能实现一台设备对不同线宽及幅面的产品的生产要求，设备适应性好，设备利用率高，生产成本低。
【附图说明】
[0020]图1是本实用新型实施例的结构示意图。