玻璃基板翘曲度测量仪用的定位装置的制作方法

文档序号:15436146发布日期:2018-09-14 22:13阅读:来源:国知局
技术总结
本公开涉及一种玻璃基板翘曲度测量仪用的定位装置,该定位装置包括用于承载待测量玻璃基板的定位平台,以及设置于该定位平台上的第一定位结构和第二定位结构,该第一定位结构用于定位待测量玻璃基板的第一边缘,该第二定位结构用于定位待测量玻璃基板的与该第一边缘相垂直的第二边缘,第一定位结构具有沿垂直于第一边缘的方向伸缩的第一伸缩端,第二定位结构具有沿垂直于第二边缘的方向伸缩的第二伸缩端。因此,通过第一伸缩件和第二伸缩件的伸缩功能,在对待测量玻璃基板进行接触定位后,能脱离对待测量玻璃基板的接触,以保证玻璃基板翘曲度测量过程免受定位装置的干涉影响,提高测量结果的真实性,降低翘曲度重复测量的频次,提高检验效率。

技术研发人员:彭开峰;李兆廷;石志强;李震;李俊生
受保护的技术使用者:芜湖东旭光电科技有限公司;东旭光电科技股份有限公司
技术研发日:2018.02.09
技术公布日:2018.09.14

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