玻璃基板翘曲度测量仪用的定位装置的制作方法

文档序号:15436146发布日期:2018-09-14 22:13阅读:142来源:国知局

本公开涉及玻璃基板测量定位领域,具体地,涉及一种玻璃基板翘曲度测量仪用的定位装置。



背景技术:

目前在高次代玻璃基板的生产过程中,因玻璃基板尺寸大,为保证玻璃基板平整度,大都在生产过程中会检测玻璃基板的整板翘曲;目前玻璃基板翘曲度测量仪使用的定位块为位置固定的矩形块,在玻璃基板翘曲度测量的过程中,该正在测量中的玻璃基板会与定位块接触并产生挤压,从而导致该玻璃基板局部变形影响测量结果的真实性。



技术实现要素:

本公开的目的是提供一种玻璃基板翘曲度测量仪用的定位装置,该定位装置可以提高翘曲度测量结果的真实性。

为了实现上述目的,本公开提供一种玻璃基板翘曲度测量仪用的定位装置,该定位装置包括用于承载待测量玻璃基板的定位平台,以及设置于该定位平台上的第一定位结构和第二定位结构,该第一定位结构用于定位所述待测量玻璃基板的第一边缘,该第二定位结构用于定位所述待测量玻璃基板的与该第一边缘相垂直的第二边缘,并且所述第一定位结构具有沿垂直于所述第一边缘的方向伸缩的第一伸缩端,所述第二定位结构具有沿垂直于所述第二边缘的方向伸缩的第二伸缩端。

可选地,所述第一定位结构包括用于固定到所述定位平台上的第一连接座,以及安装到该第一连接座上的第一伸缩件,该第一伸缩件具有所述第一伸缩端,所述第二定位结构包括用于固定到所述定位平台上的第二连接座,以及安装到该第二连接座上的第二伸缩件,该第二伸缩件具有所述第二伸缩端。

可选地,所述第一伸缩件和所述第二伸缩件的结构相同,所述第一连接座和所述第二连接座的结构相同。

可选地,所述第一伸缩件和所述第二伸缩件均形成为伸缩气缸或电动缸,所述伸缩气缸和所述电动缸的伸缩杆的端部作为所述第一伸缩端和所述第二伸缩端。

可选地,所述第一伸缩件和所述第二伸缩件的外壳均形成为贴合于所述定位平台上的正六面体,所述第一连接座和所述第二连接座均形成为具有水平板和竖直板的L型连接板,该水平板可拆卸地连接到所述定位平台上,并且该水平板贴合所述定位平台设置,该竖直板可拆卸地连接到正六面体对应的一个平面上,并且该竖直板贴合所述正六面体的平面设置。

可选地,所述正六面体的各个平面的垂度小于或等于0.3mm,所述正六面体的各个平面的平整度小于或等于0.01mm,所述L型连接板的垂度小于或等于0.3mm,所述L型连接板的平整度小于或等于0.01mm。

可选地,所述定位平台上形成有向下凹陷的凹槽,所述第一定位结构和所述第二定位结构设置在所述凹槽中。

可选地,所述定位平台上沿平行于所述第二边缘的方向间隔设置有多根凸棱,以在相邻的所述凸棱之间形成有凹陷区,并且每个凸棱沿平行于所述第一边缘的方向延伸,所述凹槽位于所述凹陷区内。

可选地,所述第一伸缩端和所述第二伸缩端均设置有接触垫块,并且该接触垫块的硬度小于所述定位平台的硬度。

可选地,所述第一定位结构具有沿平行于所述第一边缘的方向间隔设置的两个,所述第二定位结构具有沿平行于所述第二边缘的方向间隔设置的两个。

通过上述技术方案,在玻璃基板翘曲度测量前,可以控制该第一定位结构的第一伸缩端和第二定位结构的第二伸缩端均处于伸出状态,随后将待测量玻璃基板放置在定位平台上,并使得待测量玻璃基板的第一边缘和第二边缘分别抵顶到第一伸缩端和第二伸缩端上,完成对玻璃基板的精准定位。然后,控制该第一伸缩端和该第二伸缩端均处于缩回状态,以使得待测量玻璃基板的第一边缘和第二边缘分别与第一伸缩端和第二伸缩端脱离接触,随后即可进行对玻璃基板翘曲度的测试操作。因此,本公开提供的定位装置能够彻底避免待测量玻璃基板因与定位块接触并产生挤压从而导致玻璃基板局部变形影响结果的真实性的情况,降低翘曲度重复测量的频次,提高检验效率。

本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

附图是用来提供对本公开的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与下面的具体实施方式一起用于解释本公开,但并不构成对本公开的限制。在附图中:

图1是根据本公开的一示例性实施方式提供的玻璃基板翘曲度测量仪用的定位装置的立体示意图,其中该第一伸缩端和第二伸缩端均处于伸出状态;

图2是图1中的A部的局部放大图;

图3是图1中的B部的局部放大图;

图4是根据本公开的一示例性实施方式提供的玻璃基板翘曲度测量仪用的定位装置的俯视示意图,其中该第一伸缩端和第二伸缩端均处于伸出状态;

图5是图4中的C部的局部放大图;

图6是图4中的D部的局部放大图。

附图标记说明

1定位平台 11第一定位结构 110第一伸缩端

111第一连接座 112第一伸缩件 12第二定位结构

120第二伸缩端 121第二连接座 122第二伸缩件

13水平板 14竖直板 15凹槽

16凸棱 17凹陷区 18接触垫块

具体实施方式

以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是,此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开,并不用于限制本公开。

在本公开中,在未作相反说明的情况下,使用的方位词如“前、后”通常是相对于第一伸缩端和第二伸缩端朝向玻璃基板伸缩的方向而言的,具体地,第一伸缩端和第二伸缩端朝向靠近玻璃基板伸出的方向为“前方”,第一伸缩端和第二伸缩端朝向远离玻璃基板缩回的方向为“后方”,该“内、外”通常是相对于相应部件的内和外。

如图1至图6所示,本公开提供一种玻璃基板翘曲度测量仪用的定位装置,该定位装置可以包括用于承载待测量玻璃基板的例如由大理石制成的定位平台1,以及设置于该定位平台1上的第一定位结构11和第二定位结构 12,该第一定位结构11用于定位待测量玻璃基板的第一边缘,该第二定位结构12用于定位待测量玻璃基板的与该第一边缘相垂直的第二边缘,并且第一定位结构11具有沿垂直于第一边缘的方向伸缩的第一伸缩端110,第二定位结构12具有沿垂直于第二边缘的方向伸缩的第二伸缩端120。即,该第一伸缩端110和第二伸缩端120的伸缩方向在定位平台1所在的平面内相互垂直,以对待测量玻璃基板的相邻两边进行精准定位,实现对玻璃基板的整体定位。

这样,在玻璃基板翘曲度测量前,可以控制该第一定位结构11的第一伸缩端110和第二定位结构12的第二伸缩端120均处于伸出状态,随后将待测量玻璃基板放置在定位平台上,并使得待测量玻璃基板的第一边缘和第二边缘分别抵顶到第一伸缩端110和第二伸缩端120上,完成对玻璃基板的精准定位。然后,控制该第一伸缩端110和该第二伸缩端120均处于缩回状态,以使得待测量玻璃基板的第一边缘和第二边缘分别与第一伸缩端110和第二伸缩端120脱离接触,随后即可进行对玻璃基板翘曲度的测试操作。因此,本公开提供的定位装置能够彻底避免待测量玻璃基板因与定位块接触并产生挤压从而导致玻璃基板局部变形影响结果的真实性的情况,降低翘曲度重复测量的频次,提高检验效率。

在本公开提供的各种示例性的实施方式中,为了降低对第一定位结构11 和第二定位结构12的安装精度要求,如图1至图6所示,第一定位结构11 可以包括用于固定到定位平台1上的第一连接座111,以及安装到该第一连接座111上的第一伸缩件112,该第一伸缩件112具有第一伸缩端110,第二定位结构12可以包括用于固定到定位平台1上的第二连接座121,以及安装到该第二连接座121上的第二伸缩件122,该第二伸缩件122具有第二伸缩端120。这样,该第一伸缩件112和第二伸缩件122分别通过第一连接座 111和第二连接座121安装到该定位平台1上,可以降低第一伸缩件112和第二伸缩件122的安装精度要求的基础上,保证该第一伸缩端110和第二伸缩端120精准地处于预设位置上。

当然,在其他可能的变形方式中,该第一定位结构11和第二定位结构 12还可以不包括该第一连接座111和第二连接座121,即,该第一伸缩件112 和第二伸缩件122均可以直接安装到定位平台1上,此时该第一伸缩件112 和第二伸缩件122需要较高的安装精度才可以保证第一伸缩端110和第二伸缩端120处于预设位置上。

在本公开提供的各种示例性的实施方式中,为了简化该定位装置的整体结构,降低定位装置的生产和使用成本,如图1至图6所示,第一伸缩件112 和第二伸缩件122的结构相同,第一连接座111和第二连接座121的结构相同。

需要说明的是,此处的“第一伸缩件112和第二伸缩件122的结构相同”是指该第一伸缩件112和第二伸缩件122均可以通用于第一定位结构11和第二定位结构12中,从而简化该定位装置的整体结构,相应地,“第一连接座111和第二连接座121的结构相同”是指该第一连接座111和该第二连接座121均可以通用于第一定位结构11和第二定位结构12,进而进一步地简化该定位装置的整体结构,降低定位装置的生产和使用成本。但是,第一伸缩件112和第二伸缩件122的结构相同,并且第一连接座111和第二连接座 121的结构相同,并不代表第一定位结构11和第二定位结构12的安装方式完全相同,该第一定位结构11和第二定位结构12的安装方式分别依据其对玻璃基板的第一边缘和第二边缘的定位来设定。

当然在其他的变形方式中,该第一伸缩件112和该第二伸缩件122的结构也可以不相同,相应地,在其他的变形方式中,该第一连接座111和第二连接座121的结构也可以不相同。

进一步地,为简化该定位装置的整体结构,第一伸缩件112和第二伸缩件122均形成为伸缩气缸或电动缸,伸缩气缸和电动缸的伸缩杆的端部作为第一伸缩端110和第二伸缩端120。具体地,如图1至图6所示,当第一伸缩件112和第二伸缩件122均形成为伸缩气缸时,该伸缩气缸的端部作为该第一伸缩端110和第二伸缩端120。相应地,为了配合该伸缩气缸的工作,该定位平台1上可以形成有气体通道,从而便于外部的动力气源经由该气体通道流入至伸缩气缸内部,进而分别驱动该第一伸缩端110和第二伸缩端 120的伸缩动作。

当第一伸缩件112和第二伸缩件122均形成为电动缸时,该电动缸的伸缩杆的端部作为该第一伸缩端110和第二伸缩端120。此时通过控制伺服电机的工作精准控制该第一伸缩端110和第二伸缩端120的伸缩动作。

进一步地,为简化该定位装置的整体结构,如图2和图3所示,第一伸缩件112和第二伸缩件122的外壳均形成为贴合于定位平台1上的正六面体,第一连接座111和第二连接座121均形成为具有水平板13和竖直板14的L 型连接板,该水平板13可拆卸地连接到定位平台1上,并且该水平板13贴合定位平台1设置,该竖直板14可拆卸地连接到正六面体对应的一个平面上,并且该竖直板14贴合正六面体的平面设置。具体地,在本公开提供的实施方式中,该正六面体形成为高度与该竖直板14相同的正方体结构。因此,通过该L型连接板和外壳形成为正六面体的第一伸缩件112和第二伸缩件122的协同配合,可以保证该第一伸缩件112和第二伸缩件122精准地设定在预设位置,最终实现第一伸缩端和第二伸缩端的位置摆正。

进一步地,为了保证第一伸缩件112和第二伸缩件122精准地安装于定位平台的预设位置上,正六面体的各个平面的垂度小于或等于0.3mm,正六面体的各个平面的平整度小于或等于0.01mm,L型连接板的垂度小于或等于0.3mm,L型连接板的平整度小于或等于0.01mm。以此方式,可以保证第一伸缩件112和第二伸缩件122的精准安装到定位平台的预设位置上,保证第一定位结构11和第二定位结构12自身的位置定位准确,从而能够确保待测量玻璃基板的位置定位准确。

由于该第一伸缩端110和第二伸缩端120能够在定位平台1上往复伸缩,并且玻璃基板承托于该定位平台1,在本公开提供的各种示例性的实施方式中,为了方便第一定位结构11的第一伸缩端110和第二定位结构12的第二伸缩端120的高度与放置于定位平台1上的玻璃基板大致相同,如图2、图 3、图5和图6所示,定位平台1上形成有向下凹陷的凹槽15,第一定位结构11和第二定位结构12设置在凹槽15中。因此,通过在定位平台1上设置有凹槽15,并将该第一定位结构11和第二定位结构12部分地容纳于该凹槽15中,这样易于保证第一伸缩端110和第二伸缩端120的高度大致和放置在定位平台上的玻璃基板的高度相同,从而方便该第一伸缩端110和第二伸缩端120实现对玻璃基板的精准定位。

由于该待测量玻璃基板的板面面积较大,当待测量玻璃基板放置在定位平台1上后,待测量玻璃基板和定位平台1之间可能滞留一定的空气,造成对玻璃基板翘曲度测量的影响,为了避免这一情况,如图2、图3、图5和图6所示,定位平台1上沿平行于第二边缘的方向间隔设置有多根凸棱16,以在相邻的凸棱16之间形成有凹陷区17,并且每个凸棱16沿平行于第一边缘的方向延伸,凹槽15位于凹陷区17内。即,该第一定位结构11和第二定位结构12位于相邻的凸棱16之间,并且每个凹陷区17也沿平行于第一边缘的方向延伸。这样,当待测量玻璃基板放置到定位平台1上后,待测量玻璃和定位平台1之间的滞留的空气可以经由该凹陷区17排出,从而避免对玻璃基板翘曲度测量造成影响,保证测量结构的精准性。另外,通过将该凹槽15设置在凹陷区17上,也易于保证第一伸缩端110和第二伸缩端120 的高度大致与放置在定位平台上的玻璃基板的高度相同,进而方便第一定位结构11和第二定位结构12对玻璃基板的精准定位。

在本公开提供的各种示例性的实施方式中,为了避免第一伸缩端110和第二伸缩端120对待测量玻璃基板造成污染和磨损,如图1至图6所示,第一伸缩端110和第二伸缩端120均设置有接触垫块18,例如通过将该接触垫块18通过螺栓安装到第一伸缩端110和第二伸缩端120上,并且该接触垫块18的硬度小于定位平台1的硬度。这样通过采用洁净的材质制成该接触垫块18,并且该接触垫块18的硬度小于该定位平台1的硬度,从而能够避免对待测量玻璃基板造成污染和磨损。

在本公开提供的各种示例性的实施方式中,为了提高该定位装置的定位精度,如图1和图6所示,第一定位结构11具有沿平行于第一边缘的方向间隔设置的两个,第二定位结构12具有沿平行于第二边缘的方向间隔设置的两个。即,沿待测量玻璃基板的第一边缘间隔设置的两个第一定位结构11,以及沿待测量玻璃基板的第二边缘间隔设置的两个第二定位结构12之间的连线共同围成L形结构,以实现对待测量玻璃基板的精准定位。

综上,本公开提供的定位装置通过第一伸缩件和第二伸缩件的伸缩功能,在通过对待测量玻璃基板进行接触定位后,又能脱离对待测量玻璃基板的接触,从而保证玻璃基板翘曲度测量过程免受定位装置的干涉影响,提高了测量结果的真实性和测量的工作效率,并且结构合理简单,操作方便,安全系数高,具有极大的推广适应性和经济便利性。

以上结合附图详细描述了本公开的优选实施方式,但是,本公开并不限于上述实施方式中的具体细节,在本公开的技术构思范围内,可以对本公开的技术方案进行多种简单变型,这些简单变型均属于本公开的保护范围。另外需要说明的是,在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征,在不矛盾的情况下,可以通过任何合适的方式进行组合,为了避免不必要的重复,本公开对各种可能的组合方式不再另行说明。

此外,本公开的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合,只要其不违背本公开的思想,其同样应当视为本公开所公开的内容。

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