一种半导体电阻率测试机构的制作方法

本实用新型涉及半导体电阻率测试领域，尤其涉及一种半导体电阻率测试机构。

背景技术：

随着科技的创新，半导体材料得到长足的发展，电路板以及半导体器件也得到了不断发展与提高，电路板以及半导体器件不断出现性能更好的产品。当然电路板以及半导体器件的发展，也使得对半导体材料的质量和工艺提出了更高的要求，对半导体材料的电阻率检测是不可或缺的关键步骤。

通常电子器件在生产制造过程中，均是流水作业，或者大量生产的。在对半导体材料进行检测时通常也需要一定的空间和环境，常用的半导体电阻率测试仪是移动式的，这样虽然方便携带，但是在每次使用中需要找到一个良好的固定位置，来进行检测，并且还要便于操作，便于待测元件进行操作。在检测完成后需要将半导体电阻率测试仪有地方放置，便于后续使用，如果放置不当会造成仪器损坏。在对半导体材料进行电阻率测试时，有的半导体材料或半导体材料的延伸产品存放在湿度较大的环境，造成了半导体材料不适合测试，如果对这样的半导体材料，或半导体材料的延伸品测试，是不满足要求的。

技术实现要素：

为了克服上述现有技术中的不足，本实用新型提供一种半导体电阻率测试机构，包括：操作台，操作台顶部设有操作台面，操作台底部设有支腿；

操作台内部设有PC机安置柜，半导体电阻率测试仪安置柜以及第一半导体材料安置柜，第二半导体材料安置柜；操作台的侧部设有电源线通孔；

PC机安置柜，半导体电阻率测试仪安置柜，第一半导体材料安置柜，第二半导体材料安置柜均设有柜门；

第一半导体材料安置柜内部设有用于放置半导体材料的多层安置架以及用于对安置架上半导体材料进行加热烘干的第一加热丝；

第一半导体材料安置柜的门框设有第一方形凸沿，第一方形凸沿向第一半导体材料安置柜外部凸出，第一半导体材料安置柜的柜门设有第一门板，第一门板的边部设有与第一方形凸沿相适配的第一方形凹沿；第一方形凹沿卡合在第一方形凸沿上；第一门板上设有两个把手；

操作台面安置有显示器，用于检测半导体电阻率的半导体电阻率测试仪以及温湿度检测仪；

PC机安置柜内部安置有PC主机，PC主机与显示器连接；

半导体电阻率测试仪安置柜的底部铺设有防震垫。

优选地，半导体电阻率测试仪包括：单片机，10/100M网络接口，USB接口，RJ45网口，RS232串口，半导体电阻率测试仪内置Linux操作系统；10/100M网络接口，console口，USB接口，RJ45网口，RS232串口分别与单片机连接；

PC主机设有console口，USB接口，RJ45网口，RS232串口，CPU，主板，内存，硬盘，人机交互装置以及PC电源；USB接口，RJ45网口，RS232串口，CPU，内存，硬盘均设置在主板上，console口，USB接口，RJ45网口，RS232串口，内存，硬盘以及人机交互装置分别与CPU连接；

PC机安置柜内设有路由器；

半导体电阻率测试仪和PC主机分别连接路由器，半导体电阻率测试仪和PC主机通过路由器通信连接，使半导体电阻率测试仪检测的数据信息传送至PC主机，PC主机将检测的半导体电阻率数据信息存储在硬盘中，并通过显示器显示。

优选地，温湿度检测仪设置有RS232接口以及USB接口，温湿度检测仪支持Modbus协议；

温湿度检测仪与路由器连接，并通过路由器与PC主机通信连接，温湿度检测仪将检测的环境温度和湿度信息传送至PC主机，PC主机将检测的温度和湿度信息存储在硬盘中，并通过显示器显示。

优选地，第二半导体材料安置柜内部设有用于放置半导体材料的多层安置架以及用于对安置架上半导体材料进行加热烘干的第二加热丝；

第二半导体材料安置柜的门框设有第二方形凸沿，第二方形凸沿向第二半导体材料安置柜外部凸出，第二半导体材料安置柜的柜门设有第二门板，第二门板的边部设有与第二方形凸沿相适配的第二方形凹沿；第二方形凹沿卡合在第二方形凸沿上；第二门板上设有两个把手。

优选地，第一方形凹沿的内部贴敷有密封胶条；

方形凸沿的外部贴敷有密封胶条；

防震垫采用海绵材料制作；

第一半导体材料安置柜的内壁贴敷有隔热材料；

操作台上设有用于控制第一加热丝开关的第一加热丝控制开关，用于控制第二加热丝开关的第二加热丝控制开关。

优选地，第一半导体材料安置柜的柜门与第一半导体材料安置柜的门框通过卡扣相互扣合连接；

或，第一半导体材料安置柜的柜门与第一半导体材料安置柜的门框通过过盈配合连接。

优选地，第一半导体材料安置柜和第二半导体材料安置柜内部分别设有加热器控制装置；

加热器控制装置包括：温度传感器，继电器，接触器，电源开关；

温度传感器设置有RS232接口以及USB接口，支持Modbus协议；

温度传感器与路由器连接，并通过路由器与PC主机通信连接温度传感器将检测的半导体材料安置柜内温度信息传送至PC主机，PC主机将检测的温度信息存储在硬盘中，并通过显示器显示；

PC主机设有用于控制第一加热丝控制启停的第一加热丝模块和用于控制第二加热丝控制启停的第二加热丝控制模块；

第一加热丝模块通过继电器连接接触器线圈，控制接触器吸合；

第一加热丝通过接触器常开触点连接电源开关，并通过电源开关连接电源；

第二加热丝模块通过继电器连接接触器线圈，控制接触器吸合；

第二加热丝通过接触器常开触点连接电源开关，并通过电源开关连接电源。

优选地，操作台的支腿底部设有万向轮。

从以上技术方案可以看出，本实用新型具有以下优点：

半导体材料，或半导体材料的延伸产品存放在湿度较大的环境，需要测试时，可以把半导体材料，或半导体材料的延伸产品放置到第一半导体材料安置柜内，开启第一加热丝对放置到第一半导体材料安置柜内的半导体材料，或半导体材料的延伸产品进行烘干，达到除湿的效果。

显示器，半导体电阻率测试仪以及温湿度检测仪均安置到操作台面上，这样便于对半导体材料，或半导体材料的延伸产品进行测试，而且通过显示器和半导体电阻率测试仪观测测试数据，同时PC主机可以储存测试数据，便于后续查询。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型的技术方案，下面将对描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为半导体电阻率测试机构整体示意图；

图2为第一半导体材料安置柜和柜门配合示意图。

具体实施方式

为使得本实用新型的目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本具体实施例中的附图，对本实用新型中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而非全部的实施例。基于本专利中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利保护的范围。

本实用新型提供了一种半导体电阻率测试机构，如图1和图2所示，包括：操作台1，操作台1顶部设有操作台面2，操作台1底部设有支腿3；

操作台1内部设有PC机安置柜4，半导体电阻率测试仪安置柜5以及第一半导体材料安置柜6，第二半导体材料安置柜7；操作台1的侧部设有电源线通孔8；

PC机安置柜4，半导体电阻率测试仪安置柜5，第一半导体材料安置柜，第二半导体材料安置柜均设有柜门；第一半导体材料安置柜6内部设有用于放置半导体材料的多层安置架以及用于对安置架上半导体材料进行加热烘干的第一加热丝；第一半导体材料安置柜6的门框设有第一方形凸沿64，第一方形凸沿64向第一半导体材料安置柜6外部凸出，第一半导体材料安置柜的柜门设有第一门板61，第一门板61的边部设有与第一方形凸沿64相适配的第一方形凹沿62；第一方形凹沿62卡合在第一方形凸沿64上；第一门板61上设有两个把手63；

操作台面2安置有显示器31，用于检测半导体电阻率的半导体电阻率测试仪32以及温湿度检测仪33；PC机安置柜4内部安置有PC主机，PC主机与显示器31连接。半导体电阻率测试仪安置柜5的底部铺设有防震垫，使得在放置半导体电阻率测试仪时，可以起到对半导体电阻率测试仪的保护作用，避免仪器因放置不当造成损坏。

半导体材料，或半导体材料的延伸产品存放在湿度较大的环境，需要测试时，可以把半导体材料，或半导体材料的延伸产品放置到第一半导体材料安置柜6内，开启第一加热丝对放置到第一半导体材料安置柜6内的半导体材料，或半导体材料的延伸产品进行烘干，达到除湿的效果。

显示器31，半导体电阻率测试仪32以及温湿度检测仪33均安置到操作台面2上，这样便于对半导体材料，或半导体材料的延伸产品进行测试，而且通过显示器31和半导体电阻率测试仪32观测测试数据，同时PC主机可以储存测试数据，便于后续查询。温湿度检测仪33可以测试环境温度和湿度，如果环境温度和湿度不满足测试要求，可以通过环境调节设备对环境温湿度进行调节。操作台1的支腿底部设有万向轮，便于移动。

本实施例中，半导体电阻率测试仪32包括：单片机，10/100M网络接口，USB接口，RJ45网口，RS232串口，半导体电阻率测试仪32内置Linux操作系统；10/100M网络接口，console口，USB接口，RJ45网口，RS232串口分别与单片机连接；

PC主机设有console口，USB接口，RJ45网口，RS232串口，CPU，主板，内存，硬盘，人机交互装置以及PC电源；USB接口，RJ45网口，RS232串口，CPU，内存，硬盘均设置在主板上，console口，USB接口，RJ45网口，RS232串口，内存，硬盘以及人机交互装置分别与CPU连接；

PC机安置柜4内设有路由器；半导体电阻率测试仪32和PC主机分别连接路由器，半导体电阻率测试仪32和PC主机通过路由器通信连接，使半导体电阻率测试仪32检测的数据信息传送至PC主机，PC主机将检测的半导体电阻率数据信息存储在硬盘中，并通过显示器31显示。

这样，显示器31，半导体电阻率测试仪32以及温湿度检测仪33通过路由器组成局域网，可以数据互通，当然还可以通过其他方式通信，比如蓝牙，WIFI等方式。

本实施例中，温湿度检测仪33设置有RS232接口以及USB接口，温湿度检测仪33支持Modbus协议；

温湿度检测仪33与路由器连接，并通过路由器与PC主机通信连接，温湿度检测仪33将检测的环境温度和湿度信息传送至PC主机，PC主机将检测的温度和湿度信息存储在硬盘中，并通过显示器31显示。

本实施例中，第二半导体材料安置柜7内部设有用于放置半导体材料的多层安置架以及用于对安置架上半导体材料进行加热烘干的第二加热丝；

第二半导体材料安置柜7的门框设有第二方形凸沿，第二方形凸沿向第二半导体材料安置柜7外部凸出，第二半导体材料安置柜的柜门设有第二门板，第二门板的边部设有与第二方形凸沿相适配的第二方形凹沿；第二方形凹沿卡合在第二方形凸沿上；第二门板上设有两个把手；

本实施例中，第一方形凹沿62的内部贴敷有密封胶条；方形凸沿64的外部贴敷有密封胶条；防震垫采用海绵材料制作；第一半导体材料安置柜6的内壁贴敷有隔热材料；操作台1上设有用于控制第一加热丝开关的第一加热丝控制开关9，用于控制第二加热丝开关的第二加热丝控制开关10；

第一半导体材料安置柜的柜门与第一半导体材料安置柜6的门框通过卡扣65相互扣合连接；或，第一半导体材料安置柜的柜门与第一半导体材料安置柜6的门框通过过盈配合连接。

这样可以起到给第一半导体材料安置柜6和第二半导体材料安置柜7提供良好的密封性能。

本实施例中，第一半导体材料安置柜6和第二半导体材料安置柜7内部分别设有加热器控制装置；加热器控制装置包括：温度传感器，继电器，接触器，电源开关；温度传感器设置有RS232接口以及USB接口，支持Modbus协议；温度传感器与路由器连接，并通过路由器与PC主机通信连接温度传感器将检测的半导体材料安置柜内温度信息传送至PC主机，PC主机将检测的温度信息存储在硬盘中，并通过显示器31显示；

PC主机设有用于控制第一加热丝控制启停的第一加热丝模块和用于控制第二加热丝控制启停的第二加热丝控制模块；第一加热丝模块通过继电器连接接触器线圈，控制接触器吸合；

第一加热丝通过接触器常开触点连接电源开关，并通过电源开关连接电源；第二加热丝模块通过继电器连接接触器线圈，控制接触器吸合；第二加热丝通过接触器常开触点连接电源开关，并通过电源开关连接电源。用户可以通过PC主机分别控制第一加热丝和第二加热丝的启停。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

本实用新型的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”“第四”等如果存在是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本实用新型的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。