1.一种斜入射式原子束显微装置，主要包括储气罐(1)、气管(2)、由腔体I(3-1)和腔体II(3-2)连接成的真空腔体(3)、喷射头(4)、分流器(5)、菲涅尔波带片I(6)、小孔(7)、菲涅尔波带片II(8)、探测器(9)、样品(10)、样品台(11)、位移台(12)、计算机(13)、抽气口I(14)、真空泵组I(15)、抽气口II(16)，真空泵组II(17)，xyz为三维坐标系，定义喷射头(4)出口中心与分流器(5)入口中心的连线为z轴方向，所述腔体I(3-1)和腔体II(3-2)通过分流器(5)连接，腔体II(3-2)通过抽气口I(14)连接真空泵组I(15)，腔体I(3-1)通过抽气口II(16)连接真空泵组II(17)；喷射头(4)位于腔体I(3-1)内，喷射头(4)通过气管(2)与真空腔体(3)外的储气罐(1)连接，喷射头(4)出口与分流器(5)的入口相对，所述菲涅尔波带片I(6)、小孔(7)、菲涅尔波带片II(8)、探测器(9)、样品(10)、样品台(11)、位移台(12)均位于腔体II(3-2)内，菲涅尔波带片I(6)位于分流器(5)后方，位移台(12)能够三维移动，探测器(9)、位移台(12)分别电缆连接计算机(13)，当气体原子从储气罐(1)通过气管(2)传输至喷射头(4)并以自由射流形式射入腔体I(3-1)，原子束流的一部分进入分流器(5)入口并通过分流器(5)进入腔体II(3-2)，喷射头(4)内径为10微米，分流器(5)内径为150微米，喷射头(4)和分流器(5)距离为20毫米，
其特征是：所述小孔(7)的中心位于喷射头(4)出口中心与分流器(5)入口中心的连线的延长线上，所述小孔(7)位于菲涅尔波带片I(6)和菲涅尔波带片II(8)之间，小孔(7)孔径为10微米，原子束流能够依次通过分流器(5)、菲涅尔波带片I(6)、小孔(7)、菲涅尔波带片II(8)后射到样品(10)表面，样品(10)固定于样品台(11)上且位于菲涅尔波带片II(8)后方，样品台(11)固定于位移台(12)，样品(10)表面与z轴方向呈45度角，探测器(9)位于样品(10)表面的一侧，探测器(9)的原子入口与样品(10)表面呈45度角，探测器(9)能够探测被样品(10)表面反射的原子。