技术总结
本实用新型涉及对材料的显微技术领域，一种斜入射式原子束显微装置，包括储气罐、气管、由腔体I和腔体II连接成的真空腔体、喷射头、分流器、菲涅尔波带片I、小孔、菲涅尔波带片II、探测器、样品、样品台、位移台、计算机、抽气口I、真空泵组I、抽气口II，真空泵组II，小孔的中心位于喷射头出口中心与分流器入口中心的连线的延长线上，小孔位于菲涅尔波带片I和菲涅尔波带片II之间且孔径为10微米，原子束流依次通过分流器、菲涅尔波带片I、小孔、菲涅尔波带片II后射到样品表面，样品固定于样品台，样品台固定于位移台，样品表面与z轴呈45度角，探测器位于样品表面一侧、且原子入口与样品表面呈45度角，探测器探测被样品表面反射的原子。
技术研发人员：张向平;赵永建
受保护的技术使用者：金华职业技术学院
技术研发日：2018.06.16
技术公布日：2019.04.09