一种晶圆检测装置的制作方法

本实用新型属于晶圆检测技术领域，具体涉及一种晶圆检测装置。

背景技术：

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品，在晶圆制造完成之后，晶圆测试是一步非常重 要的测试，晶圆测试是通过探针与晶圆上接点相接触，测试其电气特性，判断其是否符合出 厂标准。

原有的晶圆检测装置在已知晶圆大小的情况下，无法精确确定晶圆的位置和倾斜角度，从而导致无法通过相机准确观察晶圆四个角的位置，导致检测速率降低，给使用人员带来诸多不便。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种晶圆检测装置，以解决上述背景技术中提出原有的晶圆检测装置在已知晶圆大小的情况下，无法精确确定晶圆的位置和倾斜角度，从而导致无法通过相机准确观察晶圆四个角的位置，导致检测速率降低，给使用人员带来诸多不便的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆检测装置，包括滑动组件、支撑组件和旋转组件，所述滑动组件包括底座、光源底座、光源支撑板、光源固定板、背光源、传送带和第一电机，所述底座的内侧壁设有转轴，所述转轴与所述底座固定连接，所述传送带与所述底座通过所述转轴滑动连接，所述光源底座位于所述传送带的上表面，且与所述传送带固定连接，所述第一电机的输出端转动连接所述转轴，所述光源底座的上端设有所述光源支撑板，所述光源支撑板与所述光源底座固定连接，所述光源固定板位于所述光源支撑板的顶端，且与所述光源支撑板固定连接，所述光源固定板的上表面设有所述背光源，所述背光源与所述光源固定板固定连接，所述第一电机与外部电源电性连接，所述支撑组件包括电动推杆、连接板和相机，所述光源底座的上表面左侧设有电动推杆，所述电动推杆与所述光源底座固定连接，所述连接板位于所述电动推杆的顶端，且与所述电动推杆固定连接，所述连接板的右端设有所述相机，所述相机与所述连接板固定连接，所述旋转组件包括安装柱、第二电机、支撑板和第三电机，所述底座的上表面右侧设有所述安装柱，所述安装柱与所述底座固定连接，所述第二电机位于所述安装柱的内侧壁，且与所述安装柱固定连接，所述第二电机的输出端转动连接所述支撑板，所述支撑板的外侧壁设有所述第三电机，所述第三电机与所述支撑板固定连接，所述支撑板的上表面设有方形板，所述第三电机的输出端转动连接所述方形板，所述方形板的上表面设有晶圆，所述晶圆与所述方形板固定连接，所述第二电机和所述第三电机与外部电源电性连接。

优选的，所述第三电机的数量为八个，分别位于所述支撑板的外侧壁。

优选的，所述底座的上表面右侧开设圆形槽，所述安装柱的底端嵌于所述圆形槽内。

优选的，所述相机的数量为四个，四个所述相机分别投射于晶圆四个角的位置。

优选的，所述光源底座的形状为长方体，所述传送带的宽度比所述光源底座的宽度宽。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：在已知晶圆大小的情况下，可通过红外线发射管和红外线接收器，相机能够精确确定晶圆的位置和倾斜角度，从而通过相机准确观察晶圆四个角的位置，提高检测速率，通过电动推杆的伸缩，进而便于控制连接板和相机的高度，再通过启动第二电机和第三电机，控制支撑板和方形板的旋转，便于控制晶圆旋转的角度，改善了原有的晶圆检测装置功能单一的情况，给使用人员带来其他方面的效益。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的左视结构示意图；

图3为本实用新型中的底座俯视图；

图4为本实用新型中的晶圆俯视图；

图5为本实用新型中的背光源内部结构示意图；

图中：10、滑动组件；11、底座；12、光源底座；13、光源支撑板；14、光源固定板；15、背光源；16、传送带；17、第一电机；20、支撑组件；21、电动推杆；22、连接板；23、相机；30、旋转组件；31、安装柱；32、第二电机；33、支撑板；34、第三电机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆检测装置，包括滑动组件10、支撑组件20和旋转组件30，滑动组件10包括底座11、光源底座12、光源支撑板13、光源固定板14、背光源15、传送带16和第一电机17，底座11的内侧壁设有转轴，转轴与底座11固定连接，传送带16与底座11通过转轴滑动连接，光源底座12位于传送带16的上表面，且与传送带16固定连接，第一电机17的输出端转动连接转轴，光源底座12的上端设有光源支撑板13，光源支撑板13与光源底座12固定连接，光源固定板14位于光源支撑板13的顶端，且与光源支撑板13固定连接，光源固定板14的上表面设有背光源15，背光源15与光源固定板14固定连接，第一电机17与外部电源电性连接，支撑组件20包括电动推杆21、连接板22和相机23，光源底座12的上表面左侧设有电动推杆21，电动推杆21与光源底座12固定连接，连接板22位于电动推杆21的顶端，且与电动推杆21固定连接，连接板22的右端设有相机23，相机23与连接板22固定连接，旋转组件30包括安装柱31、第二电机32、支撑板33和第三电机34，底座11的上表面右侧设有安装柱31，安装柱31与底座11固定连接，第二电机32位于安装柱31的内侧壁，且与安装柱31固定连接，第二电机32的输出端转动连接支撑板33，支撑板33的外侧壁设有第三电机34，第三电机34与支撑板33固定连接，支撑板33的上表面设有方形板，第三电机34的输出端转动连接方形板，方形板的上表面设有晶圆，晶圆与方形板固定连接，第二电机32和第三电机34与外部电源电性连接。

本实施方案中，电动推杆21型号为DTZ06，第一电机17型号为Y355M2-2，第二电机32型号为5IK120RGN-CF，第三电机34型号为130小电机，第一电机17、第二电机32和第三电机34分别与外部电源电性连接，连接板22的右端设有相机23，相机23的右端设有红外线发射管，支撑板33的上表面设有八个红外线接收器，底座11的内侧壁设有转轴，传送带16与底座11通过转轴滑动连接，第一电机17的输出端转动连接所述转轴，红外线发射管发出的红外线投射到红外线接收器，通过集成线路内的微电脑处理后的信号发送给脉冲电磁阀，电磁阀接受信号后按指定的指令控制第一电机17停止转动，四个相机23的位置准确定位晶圆四个角的位置，便于通过四个相机23观察晶圆四个角的位置，从而精确确定晶圆的位置和倾斜角度，若红外线接收器没有接收到红外线，则电磁阀控制第一电机17转动，第一电机17的输出端带动转轴转动，进而带动传送带16的传动，便于四个相机23自动定位晶圆四个角的位置，提高检测效率，电动推杆21外接遥控接收器，通过遥控接收器能够控制电动推杆的伸缩，进而便于控制相机23的高度，通过外部电源带动第二电机32的启动，再通过第二电机32的输出端转动连接支撑板33，从而实现支撑板33的旋转，通过外部电源带动第三电机34的启动，再通过第三电机34的输出端转动连接方形板，从而实现晶圆的旋转。

进一步的，第三电机34的数量为八个，分别位于支撑板33的外侧壁。

本实施例中，通过第三电机34的输出端转动连接所述方形板，从而带动晶圆的旋转。

进一步的，底座11的上表面右侧开设圆形槽，安装柱31的底端嵌于圆形槽内。

本实施例中，通过底座11上表面右侧开设的圆形槽，便于安装柱31的固定。

进一步的，相机23的数量为四个，四个相机23分别投射于晶圆四个角的位置。

本实施例中，通过相机23投射晶圆四个角的位置，便于精确确定晶圆的位置和倾斜角度

进一步的，光源底座12的形状为长方体，传送带16的宽度比光源底座12的宽度宽。

本实施例中，在滑动过程中，传送带16上表面设有光源底座12，通过传送带16的作用，便于传送带16带动光源底座12的传动。

本实用新型的工作原理及使用流程：本实用新型安装好过后，使用人员可将检测装置搬到使用地点，将外部电源开启，通过遥控接收器能够手动控制电动推杆21的伸缩，进而便于控制连接板22的高度，连接板22的右端设有相机23，相机23的右端设有红外线发射管，支撑板33的上表面设有八个红外线接收器，若相机23投射的位置与晶圆四个角的位置不一致，红外线接收器无法接收到红外线，则电磁阀接受信号后按指定的指令控制第一电机17转动，第一电机17的输出端带动转轴转动，进而带动传送带16的传动，传送带16的上表面设有光源底座12，通过传送带16的传动，进而带动光源底座12的滑动，从而便于相机23自动定位晶圆四个角的位置，提高检测效率，若相机23投射的位置与晶圆四个角的位置一致，红外线接收器接收到红外线，则电磁阀控制第一电机17停止转动，四个相机23的位置准确定位晶圆四个角的位置，便于四个相机23观察晶圆四个角的位置，从而精确确定晶圆的位置和倾斜角度，第二电机32的输出端转动连接支撑板33，可通过外部电源带动第二电机32的启动，进而控制支撑板33的旋转，第三电机34的输出端转动连接方形板，可通过外部电源带动第三电机34的启动，进而控制方形板的旋转，从而控制晶圆的旋转。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。