1.一种三维共聚焦的微束x射线衍射仪,其特征在于,所述衍射仪包括:x射线源系统(1),x射线滤波片(9),毛细管x光会聚透镜(10),毛细管x光半透镜或平行束透镜(11),x射线能谱探测器(12),测角仪(13),三维样品台(14),控制系统(15)和计算机(8);其中,待测样品置于所述三维样品台(14)上;所述x射线滤波片(9)安装在所述x射线源系统(1)和所述毛细管x光会聚透镜(10)之间;所述x射线源系统(1)和所述毛细管x光会聚透镜(10)安装在所述测角仪(13)一侧,所述毛细管x光会聚透镜(10)将来自所述x射线源系统(1)的x射线会聚成微束x射线,所述微束x射线的中心线与所述三维样品台(14)表面的夹角为θ1;所述x射线能谱探测器(12)和毛细管x光半透镜或平行束透镜(11)安装在所述测角仪(13)另一侧,所述x射线能谱探测器(12)的中心线与所述毛细管x光半透镜或平行束透镜(11)的轴线重合并与所述三维样品台(14)表面的夹角为θ2;所述毛细管x光会聚透镜(10)的后焦点与所述毛细管x光半透镜或平行束透镜(11)的前焦点重合,构成探测微元,所述探测微元位于所述测角仪(13)的圆心上,样品的待测点也位于所述探测微元处;所述x射线能谱探测器(12)与所述计算机(8)电连接;所述控制系统(15)分别与所述测角仪(13),所述三维样品台(14)和所述计算机(8)电连接。
2.如权利要求1所述的一种三维共聚焦的微束x射线衍射仪,其特征在于,所述x射线源系统(1)包括焦斑直径为30~100μm,功率为30~50w的微焦斑x射线管,配置温控装置和散热风扇或焦斑直径为1mm,功率为0.8~3kw的点光源x射线管,配置循环水冷却系统。
3.如权利要求1所述的一种三维共聚焦的微束x射线衍射仪,其特征在于,所述x射线能谱探测器(12)选用sdd高计数的x射线能谱探测器或2dx射线面探测器。
4.如权利要求1所述的一种三维共聚焦的微束x射线衍射仪,其特征在于,所述测角仪(13)采用θ-θ结构,由高精度伺服电机或步进电机控制。
5.如权利要求1所述的一种三维共聚焦的微束x射线衍射仪,其特征在于,所述测角仪(13)轴上装配有编码器,以构成闭环反馈系统。
6.如权利要求1所述的一种三维共聚焦的微束x射线衍射仪,其特征在于,x射线经由所述毛细管x光会聚透镜(10)照射在所述样品上的x射线束斑直径为0.05~0.8mm,所述样品的待测点到毛细管x光会聚透镜(10)的距离为毛细管x光会聚透镜(10)的后焦距。
7.如权利要求1所述的一种三维共聚焦的微束x射线衍射仪,其特征在于,从样品待测点出射的发散x射线经由所述毛细管x光半透镜或平行束透镜(11)会聚后进入x射线能谱探测器(12),所述样品的待测点到毛细管x光半透镜或平行束透镜(11)的距离为毛细管x光半透镜或平行束透镜(11)的前焦距。
8.如权利要求1所述的一种三维共聚焦的微束x射线衍射仪,其特征在于,具备三维共聚焦的微区x射线衍射分析和三维共聚焦的微区能量色散x射线荧光分析两种分析模式。