一种晶圆双面宏观观测装置及系统的制作方法

本实用新型涉及晶圆检测技术领域，尤指一种晶圆双面宏观观测装置及系统。

背景技术：

半导体行业的igbt(insulatedgatebipolartransistor，绝缘栅双极型晶体管)，mosfet(metaloxidesemiconductorfield-effecttransistor，金氧半场效晶体管)，以及麦克风器件，通常会使用超薄晶圆，对于特定器件，芯片厚度需要减薄到100-200μm，甚至到80μm。当晶圆磨到当前厚度后，后续的各项加工处理均较为困难，特别是对于8寸以上的大硅片，极易破碎，操作难度更大。

现有的晶圆宏观观测装置，通常采用真空吸附原理，例如真空吸附观测装置，由真空吸盘，旋转及翻转机构组成。通过真空吸盘吸附作用，将待观测晶圆置于吸盘上，再经由旋转及翻转机构运动，实现晶圆的宏观观测。

通常晶圆观察也能够通过边缘夹持型观测装置，通过多点沿晶圆径向夹持固定晶圆，再进行翻转与旋转运动。

但上述两种宏观观测装置针对薄化晶圆时，真空吸盘对薄化，翘曲晶圆吸附效果较差，进行翻转及旋转这些大范围的非晶圆面水平面运动，容易造成晶圆滑落，从而发生碎片。而且真空吸附本身需与晶圆面接触，容易造成晶圆污染；而边缘夹持装置，是沿晶圆径向夹持，对于薄化晶圆，其径向承载力极弱，因此，边缘径向夹持容易造成晶圆变形脱落，甚至破片。

上述两种晶圆宏观观测装置及晶圆固定方式，均对于超薄、高翘曲晶圆具有较大破坏性，晶圆观察时的可靠性较低。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种晶圆双面宏观观测装置，晶圆的周向承载力较大，减小了固定晶圆时，晶圆损坏的可能，增加了晶圆观察时的可靠性。

本实用新型提供的技术方案如下：

一种晶圆双面宏观观测装置，包括：基座，所述基座上设有第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板与所述第二支撑板之间设有翻转盘，所述翻转盘通过连接轴连接于所述第一支撑板或所述第二支撑板上，所述翻转盘沿所述连接轴的轴线方向转动连接于所述第一支撑板与所述第二支撑板；所述翻转盘上设有旋转盘，所述旋转盘沿其轴线方向转动连接于所述翻转盘，所述旋转盘的轴线垂直于所述翻转盘的轴线，所述翻转盘上设有用于驱动所述旋转盘转动的旋转机构；所述旋转盘上设有开合机构，所述开合机构内设有用于将晶圆压紧于所述旋转盘的按压板，所述按压板沿所述旋转盘的周向方向设置于所述旋转盘上；所述翻转盘上开设有第一观察开口，所述旋转盘上开设有第二观察开口。

本技术方案中，通过沿旋转盘轴线方向设置的按压板的设置，晶圆能够沿周向夹持，晶圆的周向承载力较大，减小了固定晶圆时，晶圆损坏的可能，增加了晶圆观察时的可靠性；同时翻转盘上的第一观察开口，与旋转盘上第二观察开关的设置，便于用户从晶圆的背面观测晶圆，继而实现以晶圆的各个角度的观测，增加了用户的体验度。

进一步，所述第一支撑板和/或所述第二支撑板上设有用于驱动所述连接轴转动翻转机构，所述翻转机构包括：连接轮，所述连接轮设置于所述连接轴，所述连接轮的轴线与所述连接轴的轴线重合；翻转电机，所述翻转电机设置于所述第一支撑板或第二支撑板；电机轮，所述电机轮设置于所述翻转电机的输出端，所述电机轮的轴线平行于所述连接轮的轴线；连接皮带，所述连接皮带的一端套设于所述连接轮外侧，所述连接皮带的另一端套设于所述电机轮的外侧；所述翻转电机启动以带动所述连接轴沿其轴线方向转动。

本技术方案中，通过翻转电机与连接皮带的设置，即可带动连接在连接轮上的连接轴的转动，继而实现了翻转盘的翻转，同时通过翻转电机的设置，实现了翻转盘的自动化翻转，方便了用户进行操作。

进一步，所述翻转盘上设有定位销，所述定位销跟随所述翻转盘沿所述连接轴的轴线方向旋转；第一支撑板或所述第二支撑板上设有用于感应所述定位销的翻转原点传感器。

本技术方案中，当定位销转动至翻转原点传感器的位置时，定位销能够遮蔽返翻转原点传感器的对射信号，当前状态下，代表连接轴回到原点位置。

进一步，当所述翻转原点传感器感应到所述定位销时，所述翻转盘与所述水平面之间设有预设夹角；所述连接轴上设有复位齿轮，所述第一支撑板和/或所述第二支撑板上设有与所述连接齿轮啮合的编码连接轮，所述编码连接轮上设有编码器，所述编码器的轴线与所述编码连接轮的轴线重合。

本技术方案中，当连接轴旋转时，连接轴能够通过连接齿轮带动编码连接轮旋转，从而记录了连接轴的旋转角度，便于翻转原点传感器感应到定位销时，翻转机构能够继续翻转翻转盘，减小了翻转盘翻转时造成的累积误差。

进一步，所述旋转机构包括：旋转齿轮，所述旋转齿轮设置于所述旋转盘的外侧；啮合齿轮，所述啮合齿轮设置于所述翻转盘上，所述啮合齿轮啮合于所述旋转齿轮；旋转电机，所述旋转电机连接于所述啮合齿轮，用于带动所述啮合齿轮沿其轴线方向旋转；所述旋转电机启动以带动所述旋转齿轮旋转。

本技术方案中，通过旋转电机即可带动啮合齿轮旋转，继而带动旋转齿轮旋转，实现了旋转盘的旋转，便于用户全方位地观察晶圆。

进一步，所述开合机构还包括：转动轴，所述转动轴水平设置于所述旋转盘上；转动杆，所述转动杆套设于所述转动轴上，所述转动杆沿所述转动轴的轴线方向转动连接于所述转动轴，所述按压板设置于所述转动杆远离所述转动轴的一端；扭簧，所述扭簧套设于所述转动轴的外侧，所述扭簧的一端抵接于所述旋转盘的外侧，所述扭簧的另一端抵接于所述转动杆或所述按压板，用于将所述按压板压向所述晶圆。

本技术方案中，通过转动杆以及扭簧的设置，按压板即可存在将晶圆压紧在旋转盘上的按压力，实现了晶圆的压紧。

进一步，所述开合机构还包括连杆，所述连杆的一端铰接于所述按压板，所述连杆的另一端铰接于所述旋转盘；所述按压板铰接于所述转动杆；所述连杆、按压杆和转动杆形成平面四杆机构。

本技术方案中，通过连杆的设置，以及平面四杆机构的设置，减小了按压板在转动杆转动过程中的转动角度，方便了用户将晶圆安装于旋转板。

进一步，所述翻转盘上还设有推拉机构，所述推拉机构包括：推块，所述推块用于抵接于所述转动杆；推拉电机，所述推拉电机沿所述旋转盘的轴线方向设置于所述翻转盘上，所述推拉电机启动以带动所述推块沿靠近或远离所述转动杆的方向运动。

本技术方案中，通过推块以及推拉电机的设置，实现了转动杆的自动开关，方便了用户进行操作。

进一步，还包括晶圆传感器，所述晶圆传感器的发射端设置于所述旋转盘，所述晶圆传感器的接收端设置于所述翻转盘；当所述晶圆放置于所述旋转盘上时，所述晶圆传感器的发射端与接收端分别位于所述晶圆的两侧；所述晶圆传感器的发射端及接收端的连接线穿过所述旋转盘的中心。

本技术方案中，通过晶圆传感器的设置，减小了晶圆被碰撞的可能，实现了旋转盘上的晶圆的自动感应，增加了观测装置的自动化程度，减小了晶圆损坏的可能。

本实用新型的目的之一还在于提供一种晶圆双面宏观观测系统，包括一种晶圆双面宏观观测装置，还包括上位系统与手持端。

与现有技术相比，本实用新型提供的一种晶圆双面宏观观测装置及系统具有以下有益效果：

1、通过沿旋转盘轴线方向设置的按压板的设置，晶圆能够沿周向夹持，晶圆的周向承载力较大，减小了固定晶圆时，晶圆损坏的可能，增加了晶圆观察时的可靠性。

2、通过翻转电机与连接皮带的设置，即可带动连接在连接轮上的连接轴的转动，继而实现了翻转盘的翻转，同时通过翻转电机的设置，实现了翻转盘的自动化翻转，方便了用户进行操作。

3、当连接轴旋转时，连接轴能够通过连接齿轮带动编码连接轮旋转，从而记录了连接轴的旋转角度，便于翻转原点传感器感应到定位销时，翻转机构能够继续翻转翻转盘，减小了翻转盘翻转时造成的累积误差。

4、通过连杆的设置，以及平面四杆机构的设置，减小了按压板在转动杆转动过程中的转动角度，方便了用户将晶圆安装于旋转板。

附图说明

下面将以明确易懂的方式，结合附图说明优选实施方式，对一种晶圆双面宏观观测装置及系统的上述特性、技术特征、优点及其实现方式予以进一步说明。

图1为本实用新型中一种晶圆双面宏观观测装置立体结构示意图；

图2为本实用新型中一种晶圆双面宏观观测装置中开合结构的局部放大图；

图3为本实用新型中一种晶圆双面宏观观测装置中翻转盘与旋转盘的剖视图；

图4为本实用新型中一种晶圆双面宏观观测装置的正视图；

图5为本实用新型中一种晶圆双面宏观观测装置的俯视图；

图6为本实用新型中一种晶圆双面宏观观测装置的侧视图；

图7为本实用新型中一种晶圆双面宏观观测系统中手持端的结构图。

附图标号说明：100.手持端，101.操纵摇杆，102.人工/自动切换键，103.各轴回原点键，104.180度翻转键，105.开合机构开合键，11.基座，12.第一支撑板，13.第二支撑板，14.电控板，15.编码器，16a/b.连接轴，17.编码连接轮，18.连接齿轮，19.连接轮，20a/b.张紧轮，21.电机轮，22.翻转电机，23.翻转原点传感器，24.定位销，25.晶圆传感器，40.翻转盘，41.旋转电机，42.啮合齿轮，43.旋转原点传感器，44a/b.电机支撑座，45a/b.推拉电机，46a/b.推拉滑块，47a/b.推块，48a/b.推拉原点旗，49a/b.推拉传感器，50a/b.圆导柱，60.旋转盘，61.旋转原点旗，62a/b/c/d.晶圆挡块，63.旋转齿轮，64a.旋转轴承，80a/b.开合机构，81a/b.导轮，82a/b.转动杆，83a/b.按压板，84a/b.扭簧。

具体实施方式

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对照附图说明本实用新型的具体实施方式。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，并获得其他的实施方式。

为使图面简洁，各图中只示意性地表示出了与实用新型相关的部分，它们并不代表其作为产品的实际结构。另外，以使图面简洁便于理解，在有些图中具有相同结构或功能的部件，仅示意性地绘示了其中的一个，或仅标出了其中的一个。在本文中，“一个”不仅表示“仅此一个”，也可以表示“多于一个”的情形。

根据本实用新型提供的一种实施例，如图1和图2所示，一种晶圆双面宏观观测装置，包括基座11，基座11能够放置在底面或工作台上，基座11上设有第一支撑板12和第二支撑板13，第一支撑板12与第二支撑板13之间设有翻转盘40，因此，翻转盘40能够设置在基座11的正上方，翻转盘40能够通过连接轴16a/b连接于第一支撑板12或第二支撑板13上，因此，翻转盘40能够沿连接轴16a/b的轴线进行翻转，实施例中，连接轴16a/b能够水平设置在第一支撑板12或第二支撑板13上，即连接轴16a/b的轴线能够平行于基座11。

翻转盘40上设有旋转盘60，具体的，旋转盘60能够设置在翻转盘40的中心位置，旋转盘60沿其轴线方向转动连接于翻转盘40，旋转盘60的轴线垂直于翻转盘40的轴线，即旋转盘60能够水平放置在翻转盘40上，因此，旋转盘60能够平行于翻转盘40，并跟随翻转盘40的翻转而翻转；翻转盘40上设有用于驱动旋转盘60转动的旋转机构。

旋转盘60上设有开合机构80a/b，开合机构80a/b内设有用于将晶圆压紧于旋转盘60的按压板83a/b，按压板83a/b沿旋转盘60的周向方向设置于旋转盘60上，具体地，按压板83a/b的半径能够比晶圆的直径略小，按压板83a/b能够将晶圆的外边沿压紧在旋转盘60上。

翻转盘40上开设有第一观察开口，旋转盘60上开设有第二观察开口；具体地，即第一观察开口为翻转盘40中部为圆形镂空，第二观察开口为旋转盘60中部为圆形镂空，因此，装载的晶圆能够通过第一观察开口与第二观察开口双面观测。

本实施例中，通过沿旋转盘60轴线方向设置的按压板83a/b的设置，晶圆能够沿周向夹持，晶圆的周向承载力较大，减小了固定晶圆时，晶圆损坏的可能，增加了晶圆观察时的可靠性；同时翻转盘40上的第一观察开口，与旋转盘60上第二观察开口的设置，便于用户从晶圆的背面观测晶圆，继而实现以晶圆的各个角度的观测，增加了用户的体验度。

优选地，如图3所示，旋转盘60上还设有旋转轴承64a，旋转盘60旋转时，旋转轴承64a接触在翻转盘40中间侧壁上，仿照滚珠轴承的结构，减小旋转盘60与翻转盘40之间的摩擦作用。

还包括晶圆传感器25，晶圆传感器25的发射端25a设置于旋转盘60，晶圆传感器25的接收端25b设置于翻转盘40；当晶圆放置于旋转盘60上时，晶圆传感器25的发射端25a与接收端25b分别位于晶圆的两侧；晶圆传感器25的发射端25a及接收端25b的连接线穿过旋转盘60的中心；即发射端25a能够位于旋转盘60的上端，接收端25b能够位于翻转盘40的下端，晶圆放置在旋转盘60上后，晶圆能够阻挡晶圆传感器25的发射端25a向接收端25b发射信号，晶圆传感器25即可感应到信号。

本实施例中，通过晶圆传感器25的设置，减小了晶圆被碰撞的可能，实现了旋转盘60上的晶圆的自动感应，增加了晶圆双面宏观观测装置的自动化程度，减小了晶圆损坏的可能。

当晶圆需要载入到旋转盘60时，会通过晶圆传感器25判断旋转盘60上是否存在晶圆，以免载入时发生晶圆碰撞。当晶圆载入后，会通过晶圆传感器25判断晶圆是否载入成功。当晶圆需要载出后，会通过传感器判断晶圆是否被正确载出。

具体地，由于晶圆传感器25的接收端设置在旋转盘60上，因此晶圆传感器25能够跟随旋转盘60进行旋转，当旋转盘60到达初始位置时，晶圆传感器25的接收端即可接收到发射端的信号。优选地，晶圆传感器25的发射端25a与接收端25b之间的连接线能够与水平面之间形成锐角，方便用户将晶圆传感器25的发射端25a与接收端25b安装在翻转盘40与旋转盘60上。同理，本实施例中，也能够将晶圆传感器25的发射端25a安装在旋转盘60上，晶圆传感器25的接收端25b安装在翻转盘40上。

优选地，旋转盘60上还设有晶圆挡块62a/b/c/d，晶圆挡块62a/b/c/d能够在晶圆圆周外侧，阻止晶圆从旋转盘60上滑落。

优选地，基座11上均布有三颗调平螺丝，基座底面安装在外部平台上，由三颗调平螺丝固定，并调整水平。

根据本实用新型提供的另一种实施例，如图1、图5和图6所示，一种晶圆双面宏观观测装置，本实施例与第一种实施例的区别在于翻转机构的具体结构。

在第一种实施例的基础上，本实施例中，第一支撑板12和/或第二支撑板13上设有用于驱动连接轴16a/b转动翻转机构，即翻转机构能够带动连接轴16a/b沿其轴线方向旋转。

翻转机构包括：

连接轮19，连接轮19能够设置在连接轴16a/b上，且连接轮19的轴线与连接轴16a/b的轴线重合。

翻转电机22，翻转电机22能够设置于第一支撑板12或第二支撑板13，即第一支撑板12上和第二支撑板13上均能够设置一个用于连接轴16a/b翻转的翻转机构，两个翻转机构能够单独存在，也能够同时存在。

电机轮21，电机轮21设置于翻转电机22的输出端，电机轮21的轴线平行于所述连接轮19的轴线，因此，翻转电机22转动能够带动电机轮21转动。

连接皮带，连接皮带的一端套设于连接轮19外侧，连接皮带的另一端套设于电机轮21的外侧。

翻转电机22能够启动以带动连接轴16a/b沿其轴线方向转动。

本实施例中，通过翻转电机22与连接皮带的设置，即可带动连接在连接轮19上的连接轴16a/b的转动，继而实现了翻转盘40的翻转，同时通过翻转电机22的设置，实现了翻转盘40的自动化翻转，方便了用户进行操作。

优选地，第一支撑板12或第二支撑板13上还设有用于抵接于连接皮带的张紧轮20a/b，连接皮带能够通过张紧轮20a/b张紧，保证了连接皮带传输的稳定性。

优选地，翻转盘40上设有定位销24，定位销24能够跟随翻转盘40沿连接轴16a/b的轴线方向旋转；第一支撑板12或所述第二支撑板13上设有用于感应定位销24的翻转原点传感器23。

当定位销24转动至翻转原点传感器23的位置时，定位销24能够遮蔽返翻转原点传感器23的对射信号，当前状态下，代表连接轴16a/b回到原点位置。

根据上述实施例的改进，本实施例中，当翻转原点传感器23感应到定位销24时，翻转盘40与水平面之间设有预设夹角。

连接轴16a/b上设有连接齿轮18，第一支撑板12和/或第二支撑板13上设有与连接齿轮18啮合的编码连接轮17，编码连接轮17上设有编码器15，编码器15的轴线与编码连接轮17的轴线重合。

当翻转原点传感器23被定位销24触发时，然后根据翻转原点传感器23与水平面的位置关系，将翻转盘40转回水平位置，达到精确回原点的目的。该翻转原点传感器23可消除翻转盘40动作时造成的累积误差，使回零角度重复读进一步提高。

本实施例中，当连接轴16a/b旋转时，连接轴16a/b能够通过连接齿轮18带动编码连接轮17旋转，从而记录了连接轴16a/b的旋转角度，便于翻转原点传感器23感应到定位销24时，翻转机构能够继续翻转该翻转盘40，减小了翻转盘40翻转时造成的累积误差。

优选地，翻转电机22上还设有电机编码器，电机编码器与编码器15能够共同作用，翻转盘40的翻转角度控制由编码器15和电机编码器做双向反馈，可以精确的控制翻转电机22运动，从而使翻转角度精度提高。

根据上述实施例的改进，本实施例中，第一支撑板12上还设有旋转原点传感器43，具体的，旋转原点传感器43为u型结构；旋转原点传感器43能够安装在旋转盘60的外侧。

旋转盘60上还设有旋转原点旗61，旋转原点传感器43的对射激光能够穿过旋转原点旗61。本实施例中，旋转原点旗61为半圆环形；旋转盘60旋转过程中，旋转原点旗61会遮蔽旋转原点传感器43，而旋转盘60的另一半不能够被旋转原点传感器43遮蔽。因此，在旋转盘60回原点时，处在旋转原点旗61刚触发旋转原点传感器43的位置，即旋转原点传感器43信号从高位到低位的瞬间，信号能发送给旋转的旋转电机41，继而控制旋转电机41停止运动，达到了旋转盘60回原点的目的。

具体地，第二支撑板13上设有电控板14，电控板14连接本实用新型中各电子器件，如电机，传感器，编码器等。电控板14负责电控。电控板14还对外提供串口，以太网等多种通讯方式，与上位系统相连。同时电控板14还能够与手持端相连，负责收发处理与操作面板之间的通讯。

根据本实用新型提供的又一种实施例，如图1和图5所示，一种晶圆双面宏观观测装置，本实施例与第一种实施例的区别在于旋转机构的具体结构。

在第一种实施例的基础上，本实施例中，旋转机构设置在靠近第二支撑板13的一侧，旋转机构包括：

旋转齿轮63，旋转齿轮63能够设置于旋转盘60的外侧，且旋转齿轮63与旋转盘60同心。

啮合齿轮42，啮合齿轮42设置于翻转盘40上，啮合齿轮42啮合于旋转齿轮63。

旋转电机41，旋转电机41连接于啮合齿轮42，用于带动啮合齿轮42沿其轴线方向旋转。

旋转电机41启动以带动旋转齿轮63旋转。

本实施例中，通过旋转电机41即可带动啮合齿轮42旋转，继而带动旋转齿轮63旋转，实现了旋转盘60的旋转，便于用户全方位地观察晶圆。

根据本实用新型提供的再一种实施例，如图1和图2所示，一种晶圆双面宏观观测装置，本实施例与第一种实施例的区别在于开合机构80a/b的具体结构。

在第一种实施例的基础上，本实施例中，开合机构80a/b还包括：

转动轴(图中未示出)，转动轴能够水平设置于旋转盘60上。

转动杆82a/b，转动杆82a/b套设于转动轴上，转动杆82a/b能够沿转动轴的轴线方向转动连接于转动轴，按压板83a/b设置于转动杆远离转动轴的一端。

扭簧84a/b，扭簧84a/b能够套设于转动轴的外侧，扭簧84a/b的一端抵接于旋转盘60的外侧，扭簧84a/b的另一端抵接于转动杆82a/b或按压板83a/b上，用于将按压板83a/b压向晶圆。

本实施例中，通过转动杆82a/b以及扭簧84a/b的设置，按压板83a/b即可存在将晶圆压紧在旋转盘60上的按压力，实现了晶圆的压紧。

优选地，所述开合机构80a/b还包括连杆(图中未示出)，连杆的一端铰接于按压板83a/b，连杆的另一端铰接于旋转盘60；按压板83a/b铰接于转动杆82a/b；连杆、按压板83a/b和转动杆82a/b形成平面四杆机构。

本实施例中，通过连杆的设置，以及平面四杆机构的设置，减小了按压板83a/b在转动杆82a/b转动过程中的转动角度，方便了用户将晶圆安装于旋转板。

根据上述实施例的改进，本实施例中，翻转盘40上还设有推拉机构，推拉机构包括：

推块47a/b，推块47a/b能够用于抵接于转动杆82a/b。

推拉电机45a/b，推拉电机45a/b沿旋转盘60的轴线方向设置于翻转盘40上，推拉电机45a/b启动能够带动推块47a/b沿靠近或远离转动杆82a/b的方向运动。

本实施例中，通过推块47a/b以及推拉电机45a/b的设置，实现了转动杆82a/b的自动开关，方便了用户进行操作。

具体地，翻转盘40上设有电机支撑座44a/b，推拉电机45a/b能够设置在电机支撑座44a/b上，推拉电机45a/b的输出端设有圆导柱50a/b，圆导柱50a/b远离推拉电机45a/b的一端还设有推拉滑块46a/b，圆导柱50a/b能够支撑推拉滑块46a/b跟随推拉电机45a/b运动；推块47a/b能够固定在推拉滑块46a/b上。

推拉滑块46a/b上设有推拉原点旗48a/b，电机支撑座44a/b上设有推拉传感器49a/b；当推拉原点旗48a/b触发推拉传感器49a/b时，信号能够回馈给推拉电机45a/b，继而控制推拉电机45a/b停止运动，达到回到原点的目的。

在本实施例中，推拉原点旗48a/b为l型，推拉原点旗48a/b能够安装在推拉滑块46a/b顶部；推拉传感器49a/b为u型结构，当推拉电机45a/b控制推拉原点旗48a/b移动到原点位置时，推拉原点旗48a/b能够正好遮蔽推拉传感器49a/b。

具体地，转动杆82a/b上还设有用于推块47a/b抵接的导轮81a/b，当导轮81a/b被推块47a/b推动时，减小了推块47a/b直接抵接转动杆82a/b上的可能，增大了导轮81a/b与推块47a/b之间的接触面积，减小了推块47a/b受到的压强，减小了推块47a/b损坏的可能。

优选地，按压板83a/b的底部镶嵌有特殊特氟龙橡胶，按压板83a/b能直接与晶圆接触。

具体地，由于推拉机构设置在翻转盘40上，而旋转盘60转动之后，推拉机构与开合机构80a/b分离，因此，只有在旋转盘60处于原点状态时，推拉机构才能够与开合机构80a/b进行适配，因此，该观测装置只能够在原点装置装卸晶圆，在其他位置，即用户观测时无法解锁晶圆夹持，保证晶圆的安全。

根据本实用新型提供的一种实施例，如图1至图7所示，一种晶圆双面宏观观测系统，包括上述任意一种实施例所描述的一种晶圆双面宏观观测装置，还包括上位系统与手持端。

具体地，所述晶圆双面宏观观测装置与上位系统以串口，或者以太网方式通信连接。同时，所述晶圆双面宏观观测装置与手持端通信连接。

具体地，手持端100上有一个操纵摇杆101，以及四个操作按键。分别为人工/自动切换键102，各轴回原点键103，180度翻转键104，加持机构开合键105。每个按键或操纵杆对应了观测装置的操作指令，通过串口通讯，将操作转化为观测装置的实际动作。

本系统以如下步骤使用：

s1晶圆双面宏观观测装置接收上位载片信号，即上位机请求将晶圆片载入观测装置。

s2所述晶圆双面宏观观测装置接收到信号后，晶圆双面宏观观测装置通过晶圆传感器判断自身是否已经有载片。

当存在载片时，则回报上位系统错误；当不存在载片时，开始检查装置各轴是否均回到原点，如没有回到原点，则执行各轴回原点指令。

确认各轴回到原点后，晶圆双面宏观观测装置会回馈上位系统准备接受晶圆信号。任何操作有误，则回馈给上位系统错误，请求系统复位。

s3晶圆借由外部装置，载入到晶圆双面宏观观测装置上。

s4所述晶圆双面宏观观测装置执行准备步骤，即通过晶圆传感器判断晶圆是否已经成功载入。载入后夹紧晶圆，并解锁手持端。任何操作有误，则回馈给上位系统错误，请求系统复位。

s5操用户可借由晶圆传感器操纵晶圆双面宏观观测装置，对晶圆执行旋转，翻转，多角度观测晶圆。

在本实施例中，操作者需要在观测装置解锁人工操作平台后，点击人工/自动切换键102，将此时自动模式切换到人工模式，以进行后续操作。手持端100上的操纵摇杆101，可以通过旋转，执行晶圆旋转；可以通过推拉，执行晶圆翻转。180度翻转键104可以就当前晶圆位置进行180度翻转，例如正面检测完毕后，可按此键切换到晶圆背面，并保持同样的翻转角度。开合机构开合键105可以当晶圆双面宏观观测装置在原点位置时，将开合机构打开/闭合。该功能用于晶圆异常，需要人工载出的情况。

s6当观测完毕，晶圆未被载出，且开合机构闭合时，可以点击各轴回原点键103，将晶圆双面宏观观测装置回归原点。回归原点后，可点击人工/自动切换键102，将人工模式切换到自动模式。

s7当晶圆双面宏观观测装置检测到切换到自动模式时，晶圆双面宏观观测装置将手持端锁定。同时检查各轴是否在原点，以及晶圆是否正常装载。检测无误后，将夹持装置打开，并回馈上位系统准备载出晶圆。

s8晶圆借由外部装置，载出晶圆双面宏观观测装置，同时晶圆双面宏观观测装置准备继续s1步骤。

应当说明的是，上述实施例均可根据需要自由组合。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。