一种XRD三维晶体学重构三轴样品台、扫描电子显微镜的制作方法

文档序号:20542717发布日期:2020-04-28 19:50阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种xrd三维晶体学重构三轴样品台,其特征在于,所述的xrd三维晶体学重构三轴样品台设置有:

圆形样品台底座;

圆形样品台底座中心开有一螺纹孔,圆形样品台底座与旋转台通过螺纹孔用螺栓连接;

旋转台与样品台底座间设有滚动轴承,旋转台侧壁设有涡轮;样品台底座上通过螺栓固定有第一电机,第一电机通过涡轮与旋转台连接;

旋转台两端通过螺栓固定有对称放置的第一立柱和第二立柱;

第一立柱和第二立柱中心偏上位置开孔,在两孔中插入一摇篮杆;

摇篮杆中部通过螺栓固定有第三电机,第三电机上端通过轴承与载物台连接;载物台设置有一圆台,圆台中心设置有一圆孔,圆孔接入xrd样品。

2.如权利要求1所述的xrd三维晶体学重构三轴样品台,其特征在于,所述在xrd设备上嵌装有3个分别控制第一电机、第二电机和第三电机不同旋钮。

3.如权利要求1所述的xrd三维晶体学重构三轴样品台,其特征在于,所述圆形样品台底座四周设有四个螺纹孔;圆形样品台底座通过四个螺纹孔与xrd设备连接。

4.如权利要求1所述的xrd三维晶体学重构三轴样品台,其特征在于,所述第一立柱外壁上通过螺栓固定有第二电机,摇篮杆端部卡接有带轮,第二电机通过皮带与带轮连接。

5.一种如权利要求1所述的xrd三维晶体学重构三轴样品台配合使用的扫描电子显微镜。


技术总结
本实用新型属于材料衍射三维重构技术领域,公开了一种XRD三维晶体学重构三轴样品台、扫描电子显微镜,设置有圆形样品台底座;圆形样品台底座中心开有一螺纹孔,圆形样品台底座与旋转台通过螺纹孔用螺栓连接;旋转台与样品台底座间设有滚动轴承,旋转台侧壁设有涡轮;样品台底座上通过螺栓固定有第一电机,第一电机通过涡轮与旋转台中的滚动轴连接;旋转台两端通过螺栓固定有对称放置的第一立柱和第二立柱;第一立柱和第二立柱中心偏上位置开孔,在两孔中插入一摇篮杆;摇篮杆中部通过螺栓固定有第三电机,第三电机上端通过轴承与载物台连接。本实用新型便于放置与拆卸样品,可以在扫描电子显微镜中使用,能够得到更为普遍的应用。

技术研发人员:吴桂林;范津铭;黄天林;黄晓旭
受保护的技术使用者:重庆大学
技术研发日:2019.06.10
技术公布日:2020.04.28
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