基于声光效应的声波探测器及系统的制作方法

文档序号:20911141发布日期:2020-05-29 13:03阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于声光效应的声波探测器,其特征在于,所述声波探测器包括:衬底和多个折射部,多个所述折射部周期设置在所述衬底的一侧;

每个所述折射部均分别包括:第一金属层、半导体层和第二金属层,所述第一金属层靠近所述衬底设置,所述半导体层设置在所述第一金属层远离所述衬底的一侧,所述第二金属层设置在所述半导体层远离所述第一金属层的一侧,所述半导体层的材料为声光材料。

2.根据权利要求1所述的基于声光效应的声波探测器,其特征在于,所述第一金属层、所述半导体层和所述第二金属层的形状均为圆盘形。

3.根据权利要求2所述的基于声光效应的声波探测器,其特征在于,所述第一金属层、所述半导体层和所述第二金属层的圆心处于同一条直线。

4.根据权利要求2所述的基于声光效应的声波探测器,其特征在于,所述半导体层的直径不小于所述第一金属层和所述第二金属层的直径。

5.根据权利要求1所述的基于声光效应的声波探测器,其特征在于,所述半导体层的材料为二氧化碲。

6.根据权利要求1所述的基于声光效应的声波探测器,其特征在于,所述第一金属层和所述第二金属层的材料均为贵金属。

7.根据权利要求1所述的基于声光效应的声波探测器,其特征在于,所述第一金属层和所述第二金属层的材料为:银、金、钌、铑、钯、锇、铱和铂中任意一种或多种。

8.根据权利要求1所述的基于声光效应的声波探测器,其特征在于,所述衬底的材料为二氧化硅。

9.一种基于声光效应的声波探测系统,其特征在于,所述声波探测系统包括:波长检测装置和权利要求1-8任意一项所述的基于声光效应的声波探测器,所述波长检测装置用于检测所述波长检测装置的共振波长。


技术总结
本发明涉及一种基于声光效应的声波探测器及系统,具体而言,涉及声波检测领域。本申请中的声波探测器在检测声波的时候,将该声波探测器设置在光照条件下,由于该半导体层的材料为声光材料,所以在声波的作用下该半导体层的光学折射率会发生改变,进而使得该第一金属层和第二金属层之间的耦合发生改变,从而改变该第一金属层和第二金属层之间的共振波长,通过该第一金属层和第二金属层之间共振波长的改变,以及改变的共振波长和声波的对应关系,可以直接得到待测声波,由于本申请是通过光学共振表征声波的,所以可以减少声波的损耗,使得对声波的测量更加准确。

技术研发人员:不公告发明人
受保护的技术使用者:西安柯莱特信息科技有限公司
技术研发日:2020.01.20
技术公布日:2020.05.29
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