用于半导体测试的定位清洁装置的制作方法

本实用新型涉及一种半导体测试设备的零部件，尤其涉及一种用于半导体测试的定位清洁装置。

背景技术：

在dfn2510系列产品等半导体器件的电性能测试中，由于产品引脚较多，采取平面设计方式，产品下压时引脚和测试探针存在误差，容易导致引脚与测试探针接触不良。同时，测试探针采用刀片式接触产品引脚的方式，产品引脚直接触测试探针的前端部分；前端部分与产品引脚频繁接触，导致引脚的脏污易粘连并堆积在前端部分测试针尖端处，脏污长期堆积导致产品引脚不能良好的与测试探针尖端接触，最终导致测试产品失效，需要把测试探针取下清洗，造成设备维修频繁，非生产时间增加，导致生产效率降低。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种用于半导体测试的定位清洁装置，能对产品进行定位，确保产品引脚与测试探针的接触可靠性和精确性，同时能在产品测试间隙对测试探针上的脏污进行吹扫清洁，确保连续、有效生产。

本实用新型是这样实现的：

一种用于半导体测试的定位清洁装置，包括中空结构的定位块，定位块的一个面上形成有与产品结构相匹配的定位槽，定位块安装在测试座上，使定位槽位于测试探针的上方；定位块的侧部形成有进气孔并外接供气设备，定位块的另一个面上形成有面向测试探针的吹气孔，进气孔、定位块的中空腔体和吹气孔形成吹气通道。

所述的定位槽和吹气孔的尺寸均不小于测试探针，且测试探针位于定位槽和吹气孔在测试座上的投影范围内。

所述的定位块上形成有定位槽的一面贴合在测试座上。

本实用新型能通过定位槽对产品进行定位，确保产品引脚与测试探针的接触可靠性和精确性，同时能在产品测试间隙通过吹气通道对测试探针上的脏污进行吹扫清洁，确保连续、有效生产，避免测试探针频繁清洗的问题，减少降低维护时间，提高测试良率和生产效率。

附图说明

图1是本实用新型用于半导体测试的定位清洁装置的结构示意图；

图2是本实用新型用于半导体测试的定位清洁装置的安装示意图。

图中，1定位块，11定位槽，12进气孔，13吹气孔，2测试座，21测试探针。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明。

请参见附图1和附图2，一种用于半导体测试的定位清洁装置，包括中空结构的定位块1，定位块1的一个面上形成有与产品结构相匹配的定位槽11，定位块1安装在测试座2上，使定位槽11位于测试探针21的上方；定位块1的侧部形成有进气孔12并外接供气设备，定位块1的另一个面上形成有面向测试探针21的吹气孔13，进气孔12、定位块1的中空腔体和吹气孔13形成吹气通道。

所述的定位槽11和吹气孔13的尺寸均不小于测试探针21，且测试探针21位于定位槽11和吹气孔13在测试座2上的投影范围内，确保定位和吹气功能不影响测试探针21的测试功能。

所述的定位块1上形成有定位槽11的一面贴合在测试座2上，确保吹气孔13向测试探针21的有效吹气。

本实用新型的工作原理是：

将定位块1通过螺栓等固定件安装在半导体测试装置的测试座2上时，定位块1的吹气孔13包围在测试探针21外侧，产品在电性能测试下压时，通过与产品上测试部位相匹配的定位槽11对产品进行定位，确保测试部位的引脚与定位槽11正下方的测试探针21的可靠接触，实现测试功能。在进气孔12上安装电磁阀，电磁阀通过气管路连接供气源，在完成一件产品的测试后，抬起该产品，电磁阀打开吹气，气体从进气孔12进入定位块1的中空腔体内，并从吹气孔13吹向测试探针21，从而清洁测试探针21上的脏污，避免了脏污的积累。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用于限定本实用新型的保护范围，因此，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种用于半导体测试的定位清洁装置，其特征是：包括中空结构的定位块(1)，定位块(1)的一个面上形成有与产品结构相匹配的定位槽(11)，定位块(1)安装在测试座(2)上，使定位槽(11)位于测试探针(21)的上方；定位块(1)的侧部形成有进气孔(12)并外接供气设备，定位块(1)的另一个面上形成有面向测试探针(21)的吹气孔(13)，进气孔(12)、定位块(1)的中空腔体和吹气孔(13)形成吹气通道。

2.根据权利要求1所述的用于半导体测试的定位清洁装置，其特征是：所述的定位槽(11)和吹气孔(13)的尺寸均不小于测试探针(21)，且测试探针(21)位于定位槽(11)和吹气孔(13)在测试座(2)上的投影范围内。

3.根据权利要求1所述的用于半导体测试的定位清洁装置，其特征是：所述的定位块(1)上形成有定位槽(11)的一面贴合在测试座(2)上。

技术总结
本实用新型公开了一种用于半导体测试的定位清洁装置，包括中空结构的定位块(1)，定位块的一个面上形成有与产品结构相匹配的定位槽(11)，定位块安装在测试座(2)上，使定位槽位于测试探针(21)的上方；定位块的侧部形成有进气孔(12)并外接供气设备，定位块的另一个面上形成有面向测试探针的吹气孔(13)，进气孔、定位块的中空腔体和吹气孔形成吹气通道。本实用新型能通过定位槽对产品进行定位，确保产品引脚与测试探针的接触可靠性和精确性，同时能在产品测试间隙通过吹气通道对测试探针上的脏污进行吹扫清洁，确保连续、有效生产，避免测试探针频繁清洗的问题，减少降低维护时间，提高测试良率和生产效率。

技术研发人员：卢红平;赵云峻;张鸿;卢发生
受保护的技术使用者：上海泰睿思微电子有限公司
技术研发日：2020.08.04
技术公布日：2021.04.06