一种磁场强度检测与调节装置的制作方法

1.本实用新型属于玻璃加工设备技术领域，涉及一种磁场强度检测与调节装置。


背景技术：

2.磁控溅射镀膜玻璃是利用真空磁控溅射原理在玻璃表面涂镀一层或多层金属、合金或金属化合物薄膜，以改变玻璃的光学性能，满足某种特定要求的玻璃产品。磁控溅射镀膜生产线过程中，常常需要用到各种各样的交流旋转靶材来对玻璃进行镀膜，而靶材内磁通管的磁场均匀性对于镀膜的均匀性起到决定性的作用，进而影响玻璃的外观，故而在磁控溅射镀膜生产前，对于磁通管磁场强度均匀性的调节尤为重要。
3.我司现有的磁通管结构如图1所示，磁通管包括一圆柱状磁通管本体1，其一侧的外壁上开设有若干调节槽11，磁通管本体1内与调节槽11相对的一侧开设有磁条安装槽12，各调节槽11底部均开设有调节螺孔13，各调节螺孔13均将与其对应的调节槽11与磁条安装槽12导通，调节螺纹孔内可安装调节螺栓；磁通管本体1内于磁条安装槽12周围开设有冷却水道14；磁控溅射镀膜生产前，工作人员会将磁条安装于导轨上，尔后将导轨安装于磁条安装槽12内，再通过于调节螺孔13内安装螺栓对导轨及磁条进行压紧固定，由于各磁条的磁场强度难免存在微小的差异及螺栓的下压深度很难做到一致，故而需通过调节螺栓的下压程度来微调磁条的位置，进而使磁通管本体1各处的磁场强度保持一致性。
4.此前的在调节磁通管本体1的磁场强度均匀性时，大多手持磁通量检测仪于磁条安装槽12周围测量并根据实际情况对螺栓进行调节，但由于检测位置的偏差，很难做到准确检测并对其进行调节，进而给工作人员的调节作业造成极大的不便，使得效率低下，且难以保证产品的质量。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的是针对现有的技术存在的上述问题，提供一种磁场强度检测与调节装置，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种磁场强度检测与调节装置，使得工作人员对磁通管各处磁场强度的检测与调节更为便捷、准确。
6.本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种磁场强度检测与调节装置，其特征在于，包括一支架，所述支架顶端固定有检测筒，所述检测筒由废旧的靶材芯制成，所述检测筒的顶部开设有若干调节窗，所述检测筒一侧的外壁上固定有挡板；所述支架上于检测筒下方固定有滑竿，所述滑竿及挡板的轴线均与检测筒的轴线平行；本装置还包括一检测板，所述检测板的横截面呈圆弧状，所述检测板上固定有磁通量检测仪。
7.检测前，工作人员可将磁通管插入检测管内，且使其各调节槽与调节窗对应、对齐(调节窗是根据调节槽的数量及位置对应开设的)；检测时，检测板一端抵靠于挡板下表面，中部抵靠在滑竿上，且由于滑竿及挡板的轴线均与检测筒的轴线平行，故保证了磁通量检测仪与检测筒的距离始终保持一致，进而保证了检测数据的可靠性；检测板可与滑竿上来回移动，可对检测筒各处的磁通量进行测量，进而使得工作人员可通过磁通量检测仪上反
馈的数据，于各个调节窗内对螺栓进行调节，以调节螺栓对导轨各处压紧程度的调节，使磁通管各处磁场强度尽量一致。有了该装置的辅助，使得工作人员磁通管的检测调节更为便捷、准确。
8.在上述一种磁场强度检测与调节装置中，所述检测板中部的下表面开设有与滑竿适配的滑槽，所述滑槽背面固定有检测探头；所述检测板一端抵靠在挡板上，检测板另一端固定有磁通量检测仪，磁通量检测仪倾斜设置，磁通量检测仪与水平之间的夹角在0
°
到30
°
之间；所述检测探头与磁通量检测仪电连接。
9.于检测板下表面设置滑槽，使得检测板抵靠于滑槽和挡板之间，使其能够稳定地滑动连接于滑竿上；同时，由于磁通量检测仪和检测板需要更换和维护，而这种滑动连接方式恰好使得检测板的拆卸非常便捷。
10.在上述一种磁场强度检测与调节装置中，所述检测板由聚四氟乙烯制成。
11.聚四氟乙烯具有优良的化学稳定性、高润滑不粘性和良好的抗老化耐力，使得检测板于滑竿上滑动更为顺畅。
12.在上述一种磁场强度检测与调节装置中，所述检测筒内壁上设有内衬，所述内衬由聚四氟乙烯制成。
13.为了使磁通管更加方便、准确地插入检测筒内，故于检测筒内壁上设置与磁通管相适配的、由聚四氟乙烯制成的内衬，能有效避免磁通管磨损。
附图说明
14.图1是磁通管的立体结构示意图。
15.图2是本磁场强度检测与调节装置的立体结构示意图。
16.图3是本磁场强度检测与调节装置的俯视图。
17.图4是图3中沿a
‑
a处的截面图。
18.图中，1、磁通管本体；11、调节槽；12、磁条安装槽；13、调节螺孔；14、冷却水道；2、支架；3、检测筒；31、调节窗；32、挡板；33、内衬；4、滑竿；5、检测板；51、磁通量检测仪；52、滑槽；53、检测探头。
具体实施方式
19.以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。
20.本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种磁场强度检测与调节装置，包括一支架2，支架2顶端固定有检测筒3，检测筒3由废旧的靶材芯制成，检测筒3的顶部开设有若干调节窗31，检测筒3一侧的外壁上固定有挡板32；支架2上于检测筒3下方固定有滑竿4，滑竿4及挡板32的轴线均与检测筒3的轴线平行；本装置还包括一检测板5，检测板5的横截面呈圆弧状，检测板5上固定有磁通量检测仪51。
21.检测前，工作人员可将磁通管本体1插入检测管内，且使其各调节槽11与调节窗31对应、对齐(调节窗31是根据调节槽11的数量及位置对应开设的)；检测时，检测板5一端抵靠于挡板32下表面，中部抵靠在滑竿4上，且由于滑竿4及挡板32的轴线均与检测筒3的轴线平行，故保证了磁通量检测仪51与检测筒3的距离始终保持一致，进而保证了检测数据的可
靠性；检测板5可与滑竿4上来回移动，可对检测筒3各处的磁通量进行测量，进而使得工作人员可通过磁通量检测仪51上反馈的数据，于各个调节窗31内对螺栓进行调节，以调节螺栓对导轨各处压紧程度的调节，使磁通管本体1各处磁场强度尽量一致。有了该装置的辅助，使得工作人员磁通管本体1的检测调节更为便捷、准确。
22.检测板5中部的下表面开设有与滑竿4适配的滑槽52，滑槽52背面固定有检测探头53；检测板5一端抵靠在挡板32上，检测板5另一端固定有磁通量检测仪51，磁通量检测仪51倾斜设置，磁通量检测仪51与水平之间的夹角在0
°
到30
°
之间；检测探头53与磁通量检测仪51电连接。于检测板5下表面设置滑槽52，使得检测板5抵靠于滑槽52和挡板32之间，使其能够稳定地滑动连接于滑竿4上；同时，由于磁通量检测仪51和检测板5需要更换和维护，而这种滑动连接方式恰好使得检测板5的拆卸非常便捷。
23.检测板5由聚四氟乙烯制成；聚四氟乙烯具有优良的化学稳定性、高润滑不粘性和良好的抗老化耐力，使得检测板5于滑竿4上滑动更为顺畅。
24.检测筒3内壁上设有内衬33，内衬33由聚四氟乙烯制成；为了使磁通管本体1更加方便、准确地插入检测筒3内，故于检测筒3内壁上设置与磁通管本体1相适配的、由聚四氟乙烯制成的内衬33，能有效避免磁通管本体1磨损。
25.本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。