0中，由于第三对侧面电极60c、一对主面电极80、一对槽底电极70位于与中立面14相比靠一方侧的区域16内，因此在检测时所产生的第二电场EF2的方向一致。因此，即使为上文所述的这种导通关系，也不会产生电荷损失。
[0083]在图11所示的检测部40 (第三振动臂41)中，第一外侧面电极62a以及第二外侧面电极62b分别被设为接地电极。在图11中，外侧面电极62被形成于第一外侧面13a与第二外侧面13b及第二主面12上，将该外侧面电极62设为接地电极。
[0084]如图11所示，由于即使将外侧面电极62设为接地电极，第一、第二对侧面电极60a、60b与一对槽底电极70中所产生的电场的方向也与图4相同，因此不会产生电荷损失。而且，通过被接地的外侧面电极62 (包括第一外侧面电极62a以及第二外侧面电极62b)能够对第一内侧面电极6la、第二内侧面电极6Ib以及一对槽底电极70进行屏蔽,从而能够降低外部噪声的不良影响。
[0085]6.电子设备以及移动体
[0086]图12概要地图示了作为电子设备的一个具体示例的智能手机101。在智能手机101中组装有具有振动片10的陀螺传感器1000。陀螺传感器1000能够对智能手机101的姿态进行检测。实施所谓的动作感应。陀螺传感器1000的检测信号能够向例如微型计算机芯片(MPU) 102进行供给。MPU102能够根据动作感应而执行各种处理。另外，动作感应也能够利用于移动式电话机、移动式游戏机、游戏控制器、车辆导航系统、定位设备、头戴式显示器、平板式计算机等各种电子设备中。
[0087]图13概要地图示了作为电子设备的另一具体示例的数码照相机(以下称之为“照相机”)103。在照相机103中组装有具有振动片10的陀螺传感器1000。陀螺传感器1000能够对照相机103的姿态进行检测。陀螺传感器1000的检测信号能够向手抖补正装置104进行供给。手抖补正装置104能够根据陀螺传感器1000的检测信号而使例如镜头组105内的特定的镜头移动。这样便能够进行手抖补正。另外，手抖补正也能够在数码摄像机中被利用。
[0088]图14概要地图示了作为移动体的一个具体示例的汽车106。在汽车106中组装有具有振动片10的陀螺传感器1000。陀螺传感器1000能够对车身107的姿态进行检测。陀螺传感器1000的检测信号能够向车身姿态控制装置108进行供给。车身姿态控制装置108能够根据例如车身107的姿态而对悬架的软硬进行控制，并对各个车轮109的制动器进行控制。另外，姿态控制能够用于双足步行机器人或飞机、直升机等各种移动体中。
[0089]另外，虽然如上文所述对本发明的实施方式进行了详细说明，但本领域技术人员应该能够很容易地理解如下内容，即，能够实施实质上不脱离本发明的新事项以及效果的多种改变。因此，这种改变例全都被包含在本发明的保护范围内。例如，虽然在上述实施方式以及改变例中，对作为振动片的形成材料而使用了水晶的示例进行了说明，但也能够使用水晶以外的压电体材料。例如，能够使用氮化铝(AlN)或铌酸锂(LiNb03)、钽酸锂(LiTaO3)、锆钛酸铅(PZT)、四硼酸锂(Li2B4O7)、兰克赛(La3Ga5S114)等氧化物基板，在玻璃基板上层叠氮化铝或五氧化二钽(Ta2O5)等压电体材料而构成的层叠压电基板，或者压电陶瓷等。此外，在说明书或附图中至少一次与更广义或同义的不同用语一起记载的用语，在说明书或附图的任意位置处均能够被替换为该不同用语。此外，陀螺传感器1000或振动片10、智能手机101、照相机103、汽车106等的结构以及动作也并不限定于本实施方式中所说明的内容，能够实施各种改变。
[0090]符号说明
[0091]10振动片;11第一主面；12第二主面；13外侧面；13a第一外侧面；13b第二外侧面；20基部；30驱动部；31第一振动臂；32第二振动臂；40检测部；41第三振动臂；42第四振动臂；50槽部；51槽底；52内侧面；52a第一内侧面；52b第二内侧面；60 —对侧面电极；60a第一对侧面电极；60b第二对侧面电极；60c第三对侧面电极；61内侧面电极；61a第一内侧面电极；61b第二内侧面电极；62外侧面电极；62a第一外侧面电极；62b第二外侧面电极；62c第三外侧面电极；60d第四外侧面电极；70 —对槽底电极；71第一槽底电极；72第二槽底电极；80—对主面电极；81第一主面电极；82第二主面电极；101、103电子设备；106移动体；1200检测电路。
【主权项】
1.一种振动片，其特征在于， 具备检测部，所述检测部包括压电体的第一主面以及相对于所述第一主面而处于所述压电体的背面的第二主面，和对所述第一主面与所述第二主面进行连接的外侧面，并且所述检测部沿着与所述第一主面交叉的方向进行振动， 所述检测部具备: 槽部，其在从被设置于所述第一主面上的开口起的深度方向上，于超过所述第一主面与所述第二主面之间的中立面的位置处具有槽底； 内侧面电极，其被设置于面向所述槽部内的内侧面上； 外侧面电极，其被设置于所述外侧面上； 一对槽底电极，其面向所述槽部内并在与所述中立面相比靠所述槽底侧处互相隔开间隔而设置。
2.如权利要求1所述的振动片，其特征在于， 所述外侧面包括第一外侧面与第二外侧面， 所述内侧面具有在所述槽部的宽度方向上被设置于一侧的第一内侧面以及被设置于另一侧的第二内侧面， 在所述第一外侧面与所述第一内侧面之间具有所述压电体， 在所述第二外侧面与所述第二内侧面之间具有所述压电体， 所述振动片具备被设置于所述第一内侧面上的第一内侧面电极和被设置于所述第一外侧面上的第一外侧面电极，以及 被设置于所述第二内侧面上的第二内侧面电极和被设置于所述第二外侧面上的第二外侧面电极， 所述一对槽底电极具备与所述第一内侧面电极导通的第一槽底电极和与所述第二内侧面电极导通的第二槽底电极。
3.如权利要求2所述的振动片，其特征在于， 所述第一外侧面电极以及所述第二外侧面电极中的至少一方被设置于从所述第一主面至所述中立面的范围内。
4.如权利要求2或3所述的振动片，其特征在于， 所述第一外侧面电极与所述第二内侧面电极被导通，所述第二外侧面电极与所述第一内侧面电极被导通。
5.如权利要求2或3所述的振动片，其特征在于， 所述检测部具备在所述第二主面上隔开间隔而被形成的第一主面电极以及第二主面电极， 所述第一主面电极与所述第一槽底电极被导通，所述第二主面电极与所述第二槽底电极被导通。
6.如权利要求5所述的振动片，其特征在于， 包括:第三外侧面电极，其在所述第一外侧面上被设置于从所述中立面至所述第二主面的范围内，并与所述第一主面电极导通；和 第四外侧面电极，其在所述第二外侧面上被设置于从所述中立面至所述第二主面的范围内，并与所述第二主面电极导通。
7.如权利要求2所述的振动片，其特征在于， 所述第一外侧面电极以及所述第二外侧面电极分别为接地电极。
8.一种角速度传感器，其特征在于，具备: 权利要求1至3中任一项所述的振动片； 检测电路，其根据所述振动片的沿着与所述第一主面交叉的方向的振动而对角速度进行检测。
9.一种电子设备,其特征在于， 具备权利要求8所述的角速度传感器。
10.一种移动体，其特征在于， 具备权利要求8所述的角速度传感器。
【专利摘要】本发明涉及一种振动片、角速度传感器、电子设备以及移动体。振动片包括在压电体的厚度方向(Z)上对置的第一主面(11)以及第二主面，并且具有在检测时沿着厚度方向(Z)进行振动的检测部。检测部具有：槽部，其在从被形成于第一主面上的开口起的深度方向上，于超过第一主面与第二主面之间的中立面的位置处具有槽底；内侧面电极，其被设置于面向槽部内的内侧面上；外侧面电极，其被形成于隔着压电体而与内侧面对置的外侧面上；一对槽底电极，其面向槽部并在与中立面相比靠槽底侧处互相隔开间隔而设置。
【IPC分类】G01C19-5621, G01C19-5607, G01C19-5614
【公开号】CN104596491
【申请号】CN201410601643
【发明人】松尾敦司
【申请人】精工爱普生株式会社
【公开日】2015年5月6日
【申请日】2014年10月30日
【公告号】US20150114126