一种非接触式电容复合电极型位移传感器及测量仪的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种非接触式电容复合电极型位移传感器及测量仪，属于位移型传感 器技术及测量仪技术，特别适用于位移、厚度和振动的测量。
【背景技术】
[0002] 非接触式电容微位移传感器的应用十分广泛，其进行位移测量的原理方法和仪器 也很多。如电容运算法、电容谐振法、电容调频法、电容调幅法、电容调脉宽法等等,通过变 换将被测位移转换为电量输出。以电容运算法测量仪为例：该仪器的测量原理是以电容运
【主权项】
1. 一种非接触式电容复合电极型位移传感器及测量仪，其特征在于：该位移传感器由 外屏蔽电极壳及其壳内的测量电极、内屏蔽电极、电路板、电缆接头构成。其特征在于内屏 蔽电极与测量电极之间加设了复合电极。在该传感器上端设有气嘴接头，该气嘴与传感器 内腔及电极间隙构成气路通道。电极所连接的电路板主要包括热敏元件、压力敏感元件和 湿敏元件组成。
【专利摘要】本发明公开了一种非接触式电容复合电极型位移传感器及测量仪，特别适用于位移和厚度的测量。所述的传感器由外屏蔽电极壳、测量电极、复合电极、内屏蔽电极、电路板、电缆接头构成。并在该传感器上端设有气嘴接头，该气嘴与传感器内腔及电极间隙构成气路通道。电路板主要包括热敏元件、压力敏感元件和湿敏元件。所述的测量仪包括标准信号发生器电路，负反馈运算放大器，单片机数据处理及控制电路，显示电路系统构成。本发明具有被测位移仅仅与仪器的结构参数有关，而与被测物体所在介质环境的变化无关的特点。因此它几乎不受外界环境介质对位移测量的影响。提高仪器的稳定性、重复性、分辨力和线性度更好，测量范围更宽，应用范围广泛。
【IPC分类】G01B7-06, G01H11-06, G01B7-02
【公开号】CN104654995
【申请号】CN201310578632
【发明人】鞠洪建
【申请人】大连康赛谱科技发展有限公司
【公开日】2015年5月27日
【申请日】2013年11月15日